卓上型スプレーコーター
プログラムしたパターンで駆動しながら基板に材料を噴霧する卓上型スプレーコーターです。テーブルは温調タイプも選択可能です。
卓上型のスプレーコーターで、持ち運びが容易です。 テーブルは100℃までの加温制御が可能です。(オプション) スプレー部については、自由に選定が可能です。
- 企業:株式会社イーエッチシー
- 価格:応相談
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プログラムしたパターンで駆動しながら基板に材料を噴霧する卓上型スプレーコーターです。テーブルは温調タイプも選択可能です。
卓上型のスプレーコーターで、持ち運びが容易です。 テーブルは100℃までの加温制御が可能です。(オプション) スプレー部については、自由に選定が可能です。
本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。
低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。 サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。 マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。
9つのステップを持つ9つのプリセット編集可能プログラムのメモリが搭載!
『HO-TH-05』は、研究室で小型基板をスピンコーティングするための 専用卓上システムで、スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。 高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは 薄さを実現でき、スピンヘッドアクチュエータは高精度のDCサーボモーターで、 メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。 また、オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに 吸着保持します。 【特長】 ■チャック径:14mm、22mm、36mm(Oリング外径) ■透明な観察窓付き安全蓋(塗布材料滴下用穴Φ28mm付き) ■不揮発性プログラムメモリ ■ユーザーフレンドリーな設計 ■LCDパネルバックライト電源オン/オフスイッチ ■不活性ガスパージ用の入口と出口、外径8mmチューブ接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。