9つのステップを持つ9つのプリセット編集可能プログラムのメモリが搭載！
『HO-TH-05』は、研究室で小型基板をスピンコーティングするための 専用卓上システムで、スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。 高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは 薄さを実現でき、スピンヘッドアクチュエータは高精度のDCサーボモーターで、 メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。 また、オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに 吸着保持します。 【特長】 ■チャック径：14mm、22mm、36mm(Oリング外径) ■透明な観察窓付き安全蓋(塗布材料滴下用穴Φ28mm付き) ■不揮発性プログラムメモリ ■ユーザーフレンドリーな設計 ■LCDパネルバックライト電源オン/オフスイッチ ■不活性ガスパージ用の入口と出口、外径8mmチューブ接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【装置仕様(一部)】 ■操作パネル部：24×4行の英数字 モノクロLCDと16ボタンのキーボード ■回転モーター：ブラシレスDCサーボモーター ■制御メモリー：9ステップ、9プリセット(不揮発性メモリー) ■速度設定：回転数、加速度、減速度 ■回転数範囲：60～9999rpm ■回転数分解能：1rpm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・有機太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。