ディップコーター（フィルム精密塗布）
自動精密ディップコーティング装置 約20台の実績
機能性フィルム・有機EL・LCD・半導体デバイス・スマートフォン向け精密部品など実績多数
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
コータ×ブルーオーシャンテクノロジー株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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インナーカップ式スピンコーター
インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
スリットコーター（200mm□用）
実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数cps～10 000cps ・膜厚：0.5～100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10 000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
液晶マスク用スピンコーター
Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
レンタル専用スピンコーター（卓上タイプ）
業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板：Max250mm□
業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
スピンコーター（MAX200mm□）
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
スリットコーター（G6サイズ）
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10 000cp 基板サイズ：G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板：G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース（クリーンルーム内に設置） ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ （インナーカップ方式対応可能） ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器
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- 価格：応相談
レンタル用小型スリットコーター
実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで
レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10 000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
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軽量卓上ダイコーター
省液塗工を実現！１回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタイプ 本体50kg
１．機械サイズがコンパクトで軽量 ２．塗工液の粘度幅が広い 1cps～100 000cps ３．膜厚範囲 1μ～1.5mmt ４．ロールtoロールタイプ、自動機など カスタマイズ仕様に対応 ５．ストライプ塗工（最小塗工幅2mmまで） ６．ダイリップの自動洗浄ユニット ７．２層３層同時塗工ダイ製作可能 ８．Wet on Wet塗工が可能
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- 価格：応相談
ミニスピンコーター（卓上タイプ）
業界初！小型コーター 回転数MAX8 000rpm！
1.小型・軽量 W180×D210×H200mm 約3.5Kg 2.主軸回転数 Max8000rpm 3.ワーク寸法 １インチ・2インチ・50mm□ 4.ワーク固定 内蔵真空ポンプによる真空吸引 5.ユーティリティー AC１００V 2.0A コンセント
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スピンコーター（有機EL用）
装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。
【装置ラインナップ】 スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】 ・10mm□～G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度（数cp～5 000cp）まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、環境に合わせて設計・製作致します。 【テスト対象基板、ワーク】 ・ガラス：10mm□～G6基板サイズ ・ウエハ：2インチ～Φ300mm ・機能性フイルム：MAX400×500mm 塗布材料、粘度 ・各種薬液：レジスト、インク、ペースト、樹脂系 ・粘度：数cp～5 000cp ・膜厚：1～500μm 【主要用途、実例】 ・大学、研究開発機関、産総研 ・半導体、液晶、有機ＥＬ、タッチパネル ・機能性フィルム ・素材、材料開発 ・精密部品、光学部品 ・医薬品、化粧品研究用途
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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卓上スピンコーター
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ10～15０mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約22Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ３００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX９０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
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