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コータ×ネクス株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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コンパクト卓上スピンコーター(最小・最軽量クラス)

R&D小型卓上スピンコーター。 MAX2インチ用軽量コーター。真空ポンプ本体内蔵。機械・装置設定は、簡易操作。

・小型卓上スピンコーター (型式:labo-coat-2) ・安価な価格設定、コンパクト設計  ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ  ・基板吸着テーブル:材質 デルリン *本体標準付属品。形状・サイズは変更可能。 ・吸着方式:真空ポンプ による吸着 *真空ポンプは本体内蔵されてます。 ・独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。  (操作ボタン2箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間 *装置機械操作が苦手な方も安心・簡単に設定可能になっておらます。 ※デモ機の貸出を可能でございます。

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R&D向け小型スリットコーター

低粘度~高粘度まで対応可能。1~10,000cps。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ:400×500mm

〈精密スリットコーター〉  ・搬送駆動:リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター  ・塗布供給方式:シリンジポンプ(独自の社内開発品)  ・精密ステージ:石定盤(平坦度:10μm以下)  ・低粘度~高粘度まで対応(数cps~10 000cps)   有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂etc

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ナノスプレーコーター

薄膜コート。保護膜。MEMS凹凸(トレンチ)コート。

〈ナノスプレーコーター〉 ・防爆仕様 ・塗布液:有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。 ・基板サイズ:200mm□(MAX) ・ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能) ・ノズル圧力:0.5Mpa ・塗布膜厚:1~5µm ・膜厚精度:±3% ・ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル

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小型卓上スピンコーター

【最小・最軽量クラス・簡単操作設定】 出張や移動に最適な軽量ハンディータイプで持ち運び簡単。 本体重量:3.3Kg

・R&D向け 小型卓上スピンコーター ・安価な価格設定、コンパクト設計  ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ  ・基板吸着テーブル:材質デルリン  ※吸着テーブルは、本体標準装備品。(形状:サイズは要相談)  ・吸着方式:真空ポンプによる吸着   ※真空ポンプは本体内蔵 ・独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。  (操作ボタン2箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間  ※機械・装置操作が苦手な方でも簡単ボタン操作設定 ・使用電源1か所、本体のみ。AC100電源 2A ・装置機種:2機種   labo-coat (1インチ用 25mm□)   labo-coat-2(2インチ用 50mm□)   

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ディップコーター

精密DIPコーター。開発機~量産機まで対応。

〈ディップコーター〉 ・光学レンズ・シリコンウエハー・ガラス基材を両面コートする開発向け設備 ・基材サイズ:Φ25mm~370×470mm ・上下、撹拌搬送駆動 ・左右搬送駆動 ・処理槽内薬液循環システム ・装置内部、湿度管理システム

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