Ｒ＆Ｄ向け小型スリットコーター
低粘度～高粘度まで対応可能。１～１０，０００ｃｐｓ。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ：４００×５００ｍｍ
〈精密スリットコーター〉 ・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） ・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） ・低粘度～高粘度まで対応（数cps～10 000cps） 有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂ｅｔｃ
- 企業：ネクス株式会社
- 価格：応相談
