大型基板用レジストコータ
チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。 大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。 チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、 大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：株式会社ソフエンジニアリング
- Price：応相談
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セミオートレジストコーター
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。 ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。 チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、レジスト塗布装置、塗布装置、塗布ムラ、低価格、フォトリソ工程、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表明処理、ウエハ洗浄装置
- Company：株式会社ソフエンジニアリング
- Price：応相談
