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スピンコートによる均一な塗膜生成方法とは

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最終更新日:2022年07月04日

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微妙なズレが、膜厚のムラに繋がる!様々な課題の解決を当社がお手伝いします

『スピンコーター』は、高品質の塗膜を効率よく均一に生成できる手段です。 しかしデリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一に することができなくなり、微妙なズレが膜厚のムラに繋がってしまいます。 こうした問題の解決には、製品自体の性能を上げることなどが有効。 当社では、お客様が抱える様々な課題に対して、長年培ってきた経験を 生かしたお手伝いが可能です。是非ご相談ください。 【解決方法の例】 ■連続運転におけるカップ内温度の上昇による膜厚変化を抑えたい  ⇒スピンドル部をチラー水で冷やす ■基板が薄く模様のように吸着跡がついてしまう  ⇒吸着穴をごく小さくしたり穴位置をずらす ■角基板四隅の不均一な膜厚に困っている  ⇒密閉式試料台を活用する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スピンコートによる均一な塗膜生成方法とは

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ACTIVEはスピンコーター製品を主力に、お客様に合わせた特徴のある製品を設計・製作・販売しております。 アクティブのスピンコーター(スピンコート機)は課題に合わせてサイズが選べ、様々なカスタマイズが可能です。 機器を設置する場所がなかったり、ご予算が限られていたり、お悩みは千差万別です。そんな時、アクティブの小型・卓上スピンコーターなら必ずお役に立てます。 小型・卓上サイズであっても10ステップ・100パターン(事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)と多彩な試験設定が可能です。細かく設定することにより意図する動作環境を作り出すことができます。 スピンコーター本体の操作画面には、リアルタイムで回転数やバキューム圧力が表示され、状況を把握しやすいのも特徴です。 また、ご用途に合う試料台を使用することで能率も上がり求める塗膜を得やすくなる為、試料台もお客様ごとにご提案させていただいております。 まずは課題やご要望をお聞かせください。 ヒアリングを元に、お客様にあったスピンコーターをご提案させていただきます。

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