更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。
グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保護します。 ４）優れた被覆性を有しています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様の素材、用途に応じて、最適な膜種を成膜する。
ICSのコーティング技術の特長は ○基材との密着力が優れている ○摩擦係数が小さい ○アブレシブ摩耗に強い ○焼付きにくい ○フレッチング摩耗に強い ○ピッチングに強い ○特に石油系燃料にたいして腐食に強い ○軟質金属が凝着しにくい ○凝着しにくい樹脂がある 金属表面に硬質セラミックス薄膜を生成し、高機能を付与します。 工具、金型、自動車部品、機械部品、樹脂成型部品などの分野にコーティングの実績があります。 機能性だけでなく装飾目的でコーティング技術を施すことも可能です。 【こんなご要望にお応えします】 ・部品の耐久性を上げたい ・部品の摺動性を高めたい ・部品の耐凝着性を上げたい ※ネット上には出していない資料や情報もございます。 より詳しく知りたい方はPDF資料をご覧いただくか、お気軽に問合せください。
半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。
研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシリーズ】 ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」
低温処理で安定した密着性コーティング！200℃以下の低温処理が可能
■低温処理で安定した密着性（200℃以下の低温処理が可能なためSCM浸炭鋼やSKS、SUJ鋼にも母材硬度低下なしに密着力にすぐれたコーティングが可能 ■高精度コーティングが可能（膜厚精度と再現性にすぐれるため公差の厳しい精密部品に適用可能） ■アークIPのようなドロップレットがなく表面が平滑（相手材への攻撃性が低く良好なトライボロジー特性）
寸法変化のないPVDコーティングへ変更！CVDコーティング以上の耐久性を確保できます！
「コーティングの種類は変更したくないが、寿命を伸ばしたい」との ご要望を頂き解決した事例をご紹介します。 板厚10mm以上のファインブランキングプレスにおける金型は、高荷重が 金型にかかる為、密着力に優れるCVD処理が採用されてきましたが、 1000℃近辺の高温処理が必要な為、金型の精度維持が非常に困難。 寸法調整の為の工数がかかっていました。 そこで当社は寸法変化のないPVDコーティングへの変更を検討。 PVD処理の下地として特殊マイクロディンプル(FSA-50)を処理する事により、 圧縮応力の付加、摩擦力低減、油保持性が高まり、CVDコーティング以上の 耐久性を確保できます。 【問題解決のポイント】 ■PVDコーティング技術は硬度、密着性、耐熱性と大きな飛躍をとげている ・Hv3500以上、耐熱性1200℃の領域に到達している ■これらの物性も限界に近づいてきたと考えられ、下地処理としての マイクロディンプル形成や窒化との複合処理での採用事例が増えている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低炭素社会実現に貢献するPVDコーティング！耐摩耗性や滑り性などが向上！
『Yコート』は、イオンプレーティング法を用いた、セラミックス皮膜の 機能性コーティング処理です。 「耐摩耗・耐かじり性」「滑り性向上」「耐溶着性」「耐熱性」が得られ、 金型の長寿命化や品質の安定化を実現。独自の皮膜除去と再コーティング技術により、 金型のリユースが可能で、省資源化やコストダウンに貢献します。 当カタログでは、Yコート処理の概要をはじめ、硬化処理（タイプK）と Yコート処理を複合した素材硬化処理などについてご紹介しています。 【特長】 ■低温処理（500℃以下）のため素材の寸法変化及び歪みを最小限にできる ■大物処理が可能（処理炉最大寸法：φ750mm × 750mm、重量：360kg） ■独自の皮膜除去と再コーティング技術 ■独自の洗浄技術にて、金型の表面を傷めず、安定した密着を確保 ■省資源化やコストダウンに貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、単層又は多層コーティングし、得られた高硬度、高密着セラミック膜により素材の性能を向上
CVDコーティングとは CVD(Chemical Vapor Deposition)コーティングは化学的な成膜方式で、 大気圧～中真空（100～10-1Pa）の状態において、 ガス状の気体原料を送り込み、 熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えて化学反応を励起・促進して薄膜や微粒子を合成し、 基材・基板の表面に吸着・堆積させ処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせる方法です。 熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、高温度（900～1100℃）で単層又は多層コーティングし、 得られた高硬度、高密着力セラミック膜により素材の性能を飛躍的に向上させます。 CVDコーティングの機能 すべり性／耐薬品性／耐熱性／ 撥水・撥油性／親水性／耐摩耗性／ 電気特性／寸法安定性
【小冊子進呈中！】超高硬度で優れた耐摩耗性を実現するDLCコーティングの用途事例集！切削工具、金型、自動車・機械部品に。
工具・金型・機械部品・自動車部品など、回転・滑り・往復等の機械的相対運動が必要な部品の表面に要求される特性を、すべてを兼ねそなえた表面処理技術がDLCコーテイングです。今なら「DLCコーティング用途事例集」進呈中です。 【DLCコーティングの特長】 ■硬くてなめらか ■無潤滑下で低い摩擦係数 ■摺動時、相手材を磨耗、損傷させない（低相手攻撃性） ■化学的に不活性で安定⇒焼付き、凝着、溶着を起こさない ■腐食性雰囲気中でも侵されない ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧ください。
金型、切削工具、機械部品・エンジン部品に高機能の膜を生成し、長寿命で高付加価値の製品を作ることができます。
弊社標準DLC「Hi-coatδ」は密着が高くはがれにくい膜です。 低摩擦性・耐摩耗性・耐腐食性が向上します。 【特長】 ・大型機による量産対応が可能。 ・用途に応じて最適膜を提供。 ・モータースポーツなどに高性能膜を開発提供。 ・各種測定装置を用意、実用特性確認。 ・ISO9001による品質保証体制。 ■詳しくはPDFをダウンロードしていただくか お気軽にお問い合わせください。
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込み、様々な用途に対応するマルチ薄膜装置
Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） 寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
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・金型・治工具・部品への表面処理の提案。 ・表面処理を実施することにより金型・治工具の寿命向上によりエコロジーな提案ができます。 ・展示内容：ＣＶＤ処理、ＰＶＤ処理、ＤＬＣ処理、金型製作の見本やパンフレット。 トーヨーエイテックは1969年にCVDコーティング「トーヨータイシーコーティング」を発売すると同時に、 我が国で最初にドライコーティングの受託加工を事業化しました。以来、半世紀にわたり、PVD、DLC、PPD等の表面処理技術を進化させ、金型・工具を中心に機械部品から医療機器まで、国内3、000社を超えるお客様にトーヨーブランドの表面処理を幅広くご愛顧いただいております。 トーヨーエイテックは国内最長の歴史を持つ受託コーティングメーカーとして、お客様の製品のパフォーマンスを最大限発揮させる表面処理の提案を目指しおります。 最適な母材の選定や熱処理、必要であれば母材からの一貫加工を含め、ご要望の品質を確保した上で、課題を解決するトータルソリューションとして提案させていただきます。
優れた技術力！高品質の結合スパッタリングターゲットを提供するFHRについてをご紹介
FHR Anlagenbau GmbHは、真空プロセスおよび薄膜技術の分野における 革新的な企業です。 1991年にドイツのドレスデンにおいて薄膜の複数アプリケーション向けに 新しいコンセプトとソリューションの開発と販売を目的として開発と設計に 優れた技術力を持ったエンジニアのグループによって設立されました。 FHRは薄膜技術を提供し、世界中の顧客に幅広い用途向けにカスタマイズ された機器を提供しています。 【FHRテクノロジーポートフォリオに含まれるもの】 ■マグネトロンスパッタリングとCVDによる高度なメタライゼーション技術 ■酸化物および窒化物の堆積のための反応性スパッタリング技術 ■高密度プラズマ源のサポートによる高度なエッチング技術 ■半導体、金属、セラミック、ナノ構造、フォトニック材料の処理と改質の ためのフラッシュランプアニーリング（FLA） ■複雑な3D形状において高度な成膜制御により優れた均一性を持った 単層結合のための原子層堆積（ALD）技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多種多様なラインアップの中から「コスト」「納期」「機能付加」などニーズにあわせた技術を提案
“表面処理”に関する豊富なネットワークを持つ当社では、 お客様が抱える課題解決に向けた表面処理技術の提案が可能です。 耐摩耗、耐凝着、耐食、離型、耐熱、非粘着、装飾などをカバーする 多種多様な技術を用意しており、複数の処理の依頼も窓口一つで完結。 現在、取り扱い技術をピックアップして紹介した資料を進呈中です。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりスグにご覧いただけます。 【掲載技術の一部】 ◎水素フリーDLC（硬度60～70Gpa） ◎大物対応DLC（メートル級のサイズに対応可能） ◎特殊PVD被膜（積層TiALN、AlCrN、AC-ExIIなど） ◎PVD複合被膜（母材表面硬化、表面改質との複合処理が可能） ◎装飾系表面処理加工（金属製品の意匠性向上に） ※表面処理技術の選定でお困りの方は当社までご相談ください。
PFASフリーな撥水撥油コーティング！ 規制を見越して今のうちに代替品のご準備を
◆PFASとは PFASとは、有機フッ素化合物の総称で4700種類以上あると言われています。 全てのPFASが同じ性質を有しているというわけではなく、一部が国際条約の規制物質に指定されております。 ◆PFASフリー撥水撥油コーティング「JCコートPS」 CVD法を用いたDLCコーティングをベースとし 有機フッ素化合物を用いずに撥水撥油機能を付与した受託コーティングです。 【特長】 ・薄膜のため、コーティングを配慮した再設計が不要 ・基材への強固な密着により、剥がれにくく、異物混入の心配なし ・PFAS(有機フッ素化合物)フリーのため、将来的な規制の心配なし PFOA,PFOS、PFCAs、PFHxS 不使用 ◆JCコート 他の種類は？ PFASのうち、すでに規制されているPFOS、PFOAについては含んでおりません。 また、今後規制されるPFCAs、PFHxSについても同様に含まれておりません。 JCコートPSについてのお問い合わせ・試作依頼は下記のお問い合わせフォームよりお願いします。 詳しくはお気軽にお問い合わせください。
【新技術】溶射、CVDと異なる新工法で複雑構造でも全面コーティング可能！ ※ケース別コーティング事例集進呈中
ナラサキ産業は限りなく精密に膜厚コントロールを実現する セラミックスDIPコーティングを開発しました。 多くの材質に対して自由度の増したセラミックスコーティングが 可能になります。 【４つの特長】 ◆形状自由度が高くメーター級での3D形状にもコーティング可能 ◆大半の高機能素材へのコーティング可能 ◆平均 50μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も） 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス（アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど） ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※現在、膜の緻密度のさらなる向上の改良テスト実施中です。 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス膜を駆使し最適化を実現します。 お気軽にお問い合わせ下さい。
