更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
計測機器業界の校正作業では、測定結果の正確性と再現性が重要です。特に回転角度の校正では、ステージの回転精度や安定性が測定結果に直結します。エアベアリング回転ステージ PIglide A-62x は、摩擦のない非接触回転により、低ワブルで滑らかな回転動作を実現し、高精度な角度校正を支えます。 【活用シーン】 ・角度測定器の校正 ・回転角度センサーの校正 ・光学系の調整 【導入の効果】 ・高精度な校正作業の実現 ・測定結果の信頼性向上 ・作業効率の向上
摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ
精密測定の分野では、高精度な位置決めが不可欠です。特に、微細な構造の計測や検査においては、わずかな振動や誤差が測定結果に大きな影響を与えます。A-143 PIglideは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、ナノメートルレベルの精度が求められる計測用途に最適です。 【活用シーン】 ・精密測定機器 ・検査装置 ・光学機器 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・安定した計測環境の構築 ・長期的な運用コストの削減
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
計測や測定、検査では正確な精度が求められます。誤差を減らしたり、正確な位置決めが不可欠です。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、正確な校正作業をサポートします。 【活用シーン】 ・光学計測・検査 ・半導体・電子部品の精密検査 ・センサー・計測機器の校正 【導入の効果】 ・測定誤差の低減と再現性の向上 ・高精度かつ安定した角度位置決め ・長期安定運用による測定信頼性の向上
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
光学業界では、レンズやミラーなどの光学素子の精密な位置調整が、システムの性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な光学検査やアライメントにおいては、微小な角度や位置のずれが、測定結果に大きな影響を与える可能性があります。エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデルは、摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制し、平面度・偏心率200nm以下を実現します。これにより、光学素子の精密な位置調整を可能にし、高精度な光学検査やアライメントをサポートします。 【活用シーン】 ・光学レンズやミラーの角度調整 ・光学素子の精密アライメント ・光学検査システムの構築 【導入の効果】 ・ナノメートル単位の精密な位置決めが可能 ・高精度な光学測定を実現 ・システムの性能向上に貢献
位置ずれを防ぐ、高精度セルフロックステージ
電子部品製造においては、精密な位置決めが求められます。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 精密部品の検査・測定 - 自動化ラインにおける位置決め - 高精度な加工工程 - 長時間固定が必要な用途 【導入の効果】 - 位置ずれによる製品不良の防止 - 作業効率の向上 - 精密な位置決めによる加工精度の向上 - 検査・測定の精度向上
ミクロン単位の位置精度で、検査・計測を確実に。
計測・検査・センシング分野では、測定精度と検査の再現性が品質の信頼性を左右します。特に、検査ヘッドやセンサを正確に位置決めする動作が必要な工程では、位置ズレや揺れが誤差を生み、検査結果のばらつきや誤判定につながる可能性があります。高い精度と安定した繰返し動作が求められる環境では、安定した直線駆動が装置性能の鍵となります。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と滑らかな直線動作を実現し、検査・計測装置の信頼性と効率を向上させます。半導体製造や電子部品の検査など、厳しい精度要求の現場に対応し、安定した測定環境を提供します。 【活用シーン】 ・微小部品・半導体ウェーハ検査装置の位置決め ・自動寸法計測ステージの駆動部 ・センサ移動・追従ステージ ・画像・光学計測機構への組込み ・表面形状評価・幾何公差検査装置 【導入の効果】 ・ミクロン単位で安定した位置制御が可能 ・繰返し誤差を抑制し、検査ばらつきを低減 ・高速動作による測定サイクルの短縮 ・装置停止・再調整を減らし稼働率を最大化
精密測定での位置ズレも回避可能。スリム形状で狭小スペースでも使いやすい！
バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 ストッパー類を排した構造によりスリムな形状を実現し、 省スペース設計の治具や装置にも適しています。 精密測定での位置ズレも回避でき、半導体や電子部品の 生産設備メーカーにも導入実績がある製品です。 【特長】 ■ステージの移動はお手持ちの六角レンチまたは六角ドライバーを使用 ■±15mmの広い移動量で柔軟な位置調整が可能 ■水平方向以外の設置も可能 ■1軸と2軸タイプをラインアップ ■高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍 ★現在、セルフロックステージの特長をわかりやすく紹介した動画を公開中です。 ※製品の詳細は資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
自動車部品の検査工程を加速する、高精度2軸リニアモーターステージ
自動車業界の検査工程では、製品の品質と安全性を確保するために、高精度な位置決めと迅速な検査が求められます。特に、部品の寸法測定や外観検査においては、正確な位置決めが不可欠です。位置決めの精度が低いと、検査結果の信頼性が損なわれ、不良品の発見が遅れる可能性があります。当社のリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動を実現し、検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・自動車部品の寸法測定 ・外観検査などの検査工程 ・組み立て工程における位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の早期発見 ・コスト削減
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・露光装置 ・精密測定 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・生産性の向上
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
半導体製造業界では、高精度な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の摩擦を伴うステージでは、摩耗やバックラッシュによる精度の劣化が課題となっていました。PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体検査装置 ・精密測定装置 ・微細加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・非接触構造による長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。
FPD製造業界の検査工程では、高精度な位置決めが求められます。特に、微細な欠陥の検出や寸法測定においては、正確な位置決めが不良品の発生を抑制し、歩留まり向上に不可欠です。位置精度の低いステージを使用した場合、検査結果の信頼性が損なわれ、正確な評価が困難になる可能性があります。A-143 PIglideは、±0.2 µmの高精度位置決めにより、FPD検査の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの欠陥検査 ・寸法測定 ・位置合わせ 【導入の効果】 ・検査精度向上 ・不良品率の低減 ・生産性の向上
検査精度を、装置性能で底上げする。
エレクトロニクス検査・試験分野では、製品の微細化・高密度化に伴い、検査精度と再現性への要求が年々高まっています。特に、プローブやセンサ、カメラなどの検査ヘッドを正確に位置決めする工程では、わずかなズレや振動が測定誤差や誤判定の原因となり、品質信頼性に大きな影響を与えます。 当社のナノ精度位置決めステージは、高剛性構造による安定した直線動作と優れた繰返し位置決め精度を実現し、エレクトロニクス検査装置に求められる高精度な位置制御を支えます。安定した動作により検査条件のばらつきを抑え、信頼性の高い検査・試験環境の構築に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品・基板の外観検査装置 ・プローブを用いた電気特性検査・接触試験 ・センサ・カメラ位置決め用直線ステージ ・信頼性試験・耐久試験装置の位置決め軸 ・検査工程におけるヘッドの自動位置調整 【導入の効果】 ・検査ヘッドの位置ズレを抑制し、測定精度と再現性を向上 ・動作の安定化により、検査結果のばらつきを低減 ・高精度な直線位置決めにより、誤判定・再検査の削減 ・検査工程の信頼性向上による、品質管理レベルの底上げ
微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ
半導体・センサ・パッケージング分野では、微細化・高集積化の進展により、装置に求められる位置決め精度と動作の安定性は年々厳しさを増しています。特に、ダイボンディングやワイヤーボンディング、検査・測定工程においては、わずかな位置ズレや振動が、接合不良や検査誤判定の原因となり、歩留まり低下につながります。こうした工程では、高精度で再現性の高い直線動作を安定して行える駆動機構が不可欠です。HIWINの単軸リニアモーターステージは、滑らかな直線動作と高い位置決め再現性を兼ね備え、半導体・センサ製造工程における装置性能の安定化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ダイボンディング工程でのチップ位置決め ・ワイヤーボンディング前後の高精度アライメント ・センサ素子・MEMSデバイスの位置決め・検査 ・パッケージ外観検査・寸法測定装置 【導入の効果】 ・微細工程での位置ズレ・ばらつき低減 ・繰返し精度の安定による歩留まり向上 ・高速かつ安定した動作によるタクトタイム短縮 ・装置の安定稼働による再調整・手直し工数の削減
短納期・高速・高精度！実験の効率化を加速
研究機関における実験では、精密な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な調整が必要な実験や、短時間で多くのデータを取得する必要がある場合、ステージの性能が実験の成否を左右します。ボールねじ方式のステージでは、加速度や速度に限界があり、実験の効率を妨げることがあります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、実験の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定 ・自動化された実験装置 ・高速撮像 【導入の効果】 ・実験時間の短縮 ・データ取得量の増加 ・実験精度の向上
高精度な位置決めを実現し、光学アライメント作業を効率化
光学業界のアライメント作業では、レンズやミラーなどの光学部品を正確に配置することが、システムの性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められ、わずかなズレが測定結果や画像品質に大きな影響を与える可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた再現性により、光学アライメント作業の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ、ミラー、プリズムなどの位置決め ・光ファイバーのアライメント ・レーザー加工機の位置決め 【導入の効果】 ・高精度なアライメント作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上
高速フォーカス・高精度検出で、精密検査の精度向上に貢献！
医療機器業界における精密検査では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細な構造を扱う検査においては、わずかなブレや振動が検査結果に大きな影響を与える可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高いサーボ帯域幅により、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、正確な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡検査 ・画像診断装置 ・細胞観察 ・精密測定 【導入の効果】 ・検査精度の向上 ・検査時間の短縮 ・装置の小型化 ・検査結果の信頼性向上
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
FPD検査工程の効率化に貢献する2軸リニアモーターステージ
FPD（フラットパネルディスプレイ）業界の検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、正確な位置制御と安定した動作が不可欠です。不正確な位置決めや遅い動作は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作を実現し、FPD検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの画質検査 ・異物検査 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の削減
高速フォーカス・高精度検出で、パネル検査の品質向上に貢献！
ディスプレイ製造業界のパネル検査においては、高精度な位置決めと高速な焦点調整が求められます。特に、パネルの反りや微細な欠陥の検出においては、正確な位置決めが検査精度を左右する重要な要素となります。従来の検査装置では、位置決め精度や調整速度に課題があり、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性がありました。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高速なサーボ帯域幅により、これらの課題を解決し、検査の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・パネルの表面検査 ・異物検出 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・検査精度の向上
エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現
半導体業界では、ウェーハの品質管理と歩留まり向上のため、高精度な検査が不可欠です。特に、微細な欠陥や異物の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素となります。従来の検査方法では、検査速度や分解能に限界があり、タクトタイムの増加や検査精度の低下を招く可能性がありました。PIglide IS A-311は、エアベアリングとリニアモータの組み合わせにより、高速かつ高精度なウェーハ検査を実現し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面の異物検査 ・パターン寸法測定 ・欠陥検出 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・歩留まりの改善
短納期・高速・高精度を実現するFPD検査用リニアモーターステージ
FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 ・FPDパネルの寸法測定 ・異物・欠陥検査 ・位置決め精度の高い検査工程 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・生産性の向上 ・検査精度の向上
航空機製造の精度と効率を向上させる2軸リニアモーターステージ
航空機製造業界では、部品の精密な位置決めと高品質な組み立てが求められます。特に、航空機の安全性と性能を確保するためには、ミクロン単位の精度での位置決めが不可欠です。不正確な位置決めは、部品の損傷や組み立て不良を引き起こし、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度リップル性能により、航空機製造におけるこれらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・航空機部品の精密加工 ・組み立て工程での位置決め ・検査工程での高精度測定 【導入の効果】 ・製造工程の精度向上 ・作業時間の短縮 ・コストパフォーマンスの向上
位置決め精度が求められる実験に！ストッパー不要で微動なく固定。
研究開発における高精度な実験や検査作業において、試料の位置決めは非常に重要です。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、ストッパー不要で確実な固定を実現。微動なく、高精度な位置決めを可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 研究開発における精密な実験や検査 - 微細加工や組立作業 - 光学顕微鏡や測定機器のステージ - 自動化システムにおける位置決め機構 - 長時間安定した位置決めが必要な用途 【導入の効果】 - 位置決め精度が向上し、実験結果の信頼性が高まります。 - ストッパー操作が不要になり、作業効率が向上します。 - 微動や位置ずれによるミスを防ぎ、作業の安全性を高めます。 - スタイリッシュなデザインで、実験スペースをスッキリと見せることができます。
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
レーザー加工業界では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細加工や精密なパターン形成においては、位置ずれや振動が加工精度に大きく影響します。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、レーザー加工の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・角度依存の微細パターン加工 ・光学部品・精密部品の試作加工 ・レーザー加工プロセス開発・条件検証 【導入の効果】 ・加工精度・加工品質の向上 ・微細加工の再現性向上 ・加工プロセスの信頼性向上
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・レーザー加工 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・高速・高精度動作による生産性向上 ・幅広い分野への対応
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
ロボティクス業界では、精密な位置決めと滑らかな動作が、ロボットアームや精密機器の性能を左右します。特に、高速かつ正確な位置決めが求められる場面では、摩擦やバックラッシュによる誤差は許容されません。PIglide A-121は、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 ・ロボットアームの位置決め ・精密組み立て工程 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる作業効率の向上 ・非接触構造による長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
位置決め精度が格段に向上！ストッパー不要で微動なし！
光学機器の精密な位置決め調整に最適な、アリ溝式ステージ『セルフロックステージ SLXシリーズ』をご紹介します。従来のステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、高精度な調整が難しいという課題がありました。SLXシリーズは、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 光学顕微鏡、画像認識システム、レーザー加工機などの精密機器の調整 - 高精度な位置決めが求められる検査工程 - 長時間安定した位置決めが必要な実験や測定 - 限られたスペースでの設置が必要な場合 【導入の効果】 セルフロック機構により、微動や位置ずれを防止することで、高精度な位置決めを実現します。これにより、製品の品質向上、検査時間の短縮、作業効率の向上に貢献します。また、ストッパー不要のため、操作が簡単になり、作業者の負担軽減にも繋がります。
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
光学業界のアライメント工程では、レンズやミラーなどの光学部品を超精密に位置決めすることが求められます。特に、光軸のずれは、システムの性能を大きく左右するため、高精度な位置決めが不可欠です。従来の摩擦を利用したステージでは、微小な動きの際に摩擦の影響を受け、正確な位置決めが困難でした。PIglide A-121は、摩擦やバックラッシュを排除し、ナノメートル単位の精度で位置決めを実現することで、光学アライメントの課題を解決します。 【活用シーン】 ・光学レンズのアライメント ・ファイバーアライメント ・光ファイバーデバイスの製造 【導入の効果】 ・高精度なアライメントによる光学性能の向上 ・歩留まりの向上 ・生産性の向上
摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。
光学機器業界では、レンズやミラーなどの精密な調整が、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、微細な位置調整が求められる場面では、精度の高いステージングシステムが不可欠です。調整の精度が低いと、光学系の性能が低下し、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。A-143 PIglideは、ナノメートルレベルの精度で位置決めを行い、光学機器の調整作業を効率化します。 【活用シーン】 ・光学レンズの位置調整 ・精密測定器のキャリブレーション ・光ファイバーアライメント 【導入の効果】 ・高精度な調整作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上
