更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・XY軸の並進移動にて位置決め調整が正確にできます。 ・製品の厚み（高さ）は 25mmです。 ・クロスローラガイドを移動ガイドに採用した高精度で軽量な直動型ステージです。 ・駆動方式に、ファインピッチのマイクロメータヘッド（P=0.25mm）を利用し、微細な調整も可能です。 ・当社製品 小型精密ラボジャッキ RJ-99Mへの搭載接続も可能です。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
200nm以下の偏芯性能により、ウェーハ検査や光学校正工程の測定精度を安定化
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
タッチ・パネルや携帯端末、スイッチの耐久性試験に最適です。検査装置、計測装置の自動プロービング用に！
『携帯端末検査ステージ/QPS-101』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ３軸ステージです。 予め設定したプログラムで、携帯端末のスイッチのOn/Offをマトリクスに行い、機能の動作状態、各種スイッチの耐久試験、機能試験を自動的に行います。 データは制御用PCにCSVファイルとしてハードディスクに保存されますので、試験データ管理も容易です。 携帯電話、スマートフォン、タブレット等、様々な携帯端末にご使用頂けます。 また、機器に搭載されたスイッチの耐久試験、機能の計測試験にもご利用頂けます。 さらに小型化し、繰り返し位置精度を上げ、小型精密製品を検査することも可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大型ワーク検査向け。重量物搬送時も2µm再現性で測定品質を安定化
PI Mag(R)リニアモータとダイレクトエンコーダを組み合わせたV-817は、非接触駆動で発塵を抑え、長期安定性を実現します。 最大負荷600 Nまで対応し、2 µmレベルの位置決め再現性を実現。 動作量は、204, 407, 610, 813 mmの4タイプをラインアップし、ドラッグチェーンや75〜150 mm角M6取付プレートなど豊富なアクセサリで迅速にシステム化できます。 センサーやカメラの組立、精密検査&測定、ウェハー加工&検査、レーザー加工など幅広い産業アプリをサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
NanoRack（ナノラック）サンプルストレッチングステージ
ストレス制御下における、材料の粘着性やクラッキングのナノ測定が可能になりました！ 高歪み、高引張距離の手動引張ステージにより、2軸の引張応力制御が可能です。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
防振・除振・免振・防音のヘルツ株式会社
ヘルツ株式会社は昭和54年（1979年）12月、4個の軟式テニスボールから当社のすべてのパッシブ型空気ばね式防振台の原型となった、卓上型空気ばね式防振台を誕生させました。 21世紀の測定環境に対応する防振や防音の技術開発を絶え間なく続け、科学技術の発展に貢献し続けています。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
キワを探る光学条件、実現には何が必要ですか？光学条件セッティング専用に開発した画像環境専用の実験設備
主柱は再現性のある角度ステップ可変、カメラや照明本体は撮像画像をもとに調整したい部位で調整できるラインスキャンカメラ専用の角度調整機構を搭載。ラインスキャンカメラ応用、欠陥検出の光学条件追求の実績から開発された画像処理環境専用の実験設備、FLEX-Lシリーズです。 産業用カメラ(エリアカメラ)の環境に向けたFLEX-Aシリーズもあります。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
ＲＡ−６０タイプはステージ面φ６０です。この他、ステージ面φ４０，８０，１２０等各種サイズを取り揃えています。
ＺＡ－３００Ｌは、垂直テーブル面を縦方向に移動する大型ステージです。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて移動させる粗動型ステージです。移動量は２２３ｍｍとなります。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学定盤へ接続が可能です。テーブル面にはポール・アングル部品の接続が可能です。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ
・ストローク長は25～200ｍｍ ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内（リニアエンコーダ内臓タイプ） ・耐荷重50kgの高剛性ステージ ・コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能
放射光XRDビームラインからラボ用XRD装置まで幅広く対応
アントンパールのIn-situ X線回折用サンプルステージは、既設/新設の放射光XRDビームラインやラボ用XRD装置本体に取り付けることができる業界トップシェアの高精度温度制御チャンバーです。 最低-190℃から最高2300℃の非常に幅広い温度範囲をカバーする豊富なラインナップがあり、温度、雰囲気、圧力を精密に制御することで実験目的に応じた最適な測定環境を提供します。 【特長】 ・業界トップシェアを誇る高精度の温度制御性能 ・-190℃から2300℃の幅広い温度範囲をカバーする豊富なラインナップ ・2軸回折計または4軸回折計に取り付け可能（適合するXRD装置の機種はお問い合わせください）
ティルト補正付きZ動作により、干渉計や光学測定時の光軸ズレを低減
・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)
当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。
位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。
■位置決めステージ相談はHIWINへ■クロス型・ガントリー型からエアベアリングなど、単軸～多軸位置決めステージを提供します
単軸ステージを組合せたXY2軸ステージやガントリー型、XYZ直交座標ロボット、さらには高精度エアベアリングステージなど、各種標準型のほか、ニーズに合わせたカスタム提案をいたします。 すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザーの競争力を高めるお手伝いをいたします。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
タテ、ヨコ400μmエリアの位置決をフル微動制御で実現！
400マイクロメートル×400マクロメートルのエリアが フル微動制御でスムーズな位置決めを実現した『ナノXYステージ』のご案内です。 【特長】 ・ナノ単位の位置決め精度 ・高速応答 ・高真空中で作動可能 ・省電力 ・振動ノイズが無いスムーズな動き ・コンパクト ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
固定位置の異なるカメラ・照明の固定に苦心していませんか？角度調整、耐荷重、カメラ・照明直接固定を実現した応用テスト台
ラインスキャンカメラ検査環境向けのFLEX-Lシリーズと、産業用カメラ検査環境向けのFLEX-Aシリーズがあります。 カメラや照明のテスト固定に、ブラケットもL金具も不要になります。 カメラの角度、照明の角度の大胆な可変、繊細な微調整を必要とするラインスキャンカメラ特有の難点を克服する専用ステージです。 耐荷重性能も持ち、実機運用も可能です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【型番】 XC4-25CM, XC4-25SM, XC4-40CM, XC4-40SM, XC4-60CM, XC4-60SM 【製品紹介】 ・XYZ軸の移動により3軸の位置決め調整が正確にできます。 ・移動ガイドにすり合わせ式（25CN, 25SM, 40CM, 40SM）、V溝レールとクロスローラ（60CM, 60SM）を採用しており、スムーズに微動調整ができます。 ・CM, SMは、微動調整のマイクロメータヘッドの取付位置が、それぞれ各辺の中央（センタ）, 横（サイド）にあることを示します。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、1軸～5軸の精密ステージ製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
偏芯100nmと平坦度50nmにより、XCTや超精密計測の回転誤差を低減
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダーの位置決めが可能です
・小型・高推力ピエゾモーター使用 アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。 ・2nmの最小ステップ 内蔵オプティカルエンコーダで最小2nm刻みでの動作が可能です。セルフロッキングシステムで電源を切ってもポジションを保持します。 ・3軸用コントローラー コンパクトな3軸用クローズドループコントローラーです。USB接続でWindows10から簡単に設定、操作が行えます。 付属の2種類のプログラムはASCIIコマンド制御、ジョイスティックに対応します。
自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
摩擦レス駆動により、高速エリアスキャン時の測定品質を維持
PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ／APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
