更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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使用最大荷重は500N！サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上！
『XST-500N』は、最大荷重500Nまで対応のX軸スライドステージです。 サンプルや下部治具の水平方向（X軸）移動を容易にし、測定の位置合わせの 作業性を向上させます。 センター合わせができないようなサンプルも左右にずらした位置で 固定できます。 【特長】 ■計測スタンド側に取り付け、下部治具の水平方向（X 軸）移動を 容易にする ■サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上 ■左右にずらした位置でサンプルや下部治具を固定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
摩擦レス駆動により、高速エリアスキャン時の測定品質を維持
PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ／APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
ウェーハ・X線検査向け。高速搬送時も0.1µm動作で測定位置精度を維持
・幅132 mm、高さ94mmのコンパクト筐体 ・動作量：400mm、800mmの2タイプ ・コアレスリニアモータ駆動で、最大速度：5000mm/s ・インクリメンタルとアブソリュートエンコーダータイプ：最小動作量は0.1µm ・耐荷重は1000Nあり、”V-857.TTｘ”モーションプラットフォームを用いて固定 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
保持力800Nと5nm分解能により、半導体検査やナノリソグラフィ工程の位置ズレを抑制
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
オートフォーカスや医療機器向けに、狭小スペースでも高再現性位置決めを実現
『L-505』は、DC/ステッピングモータ選択可能な小型リニアステージです。 リニアステージには、フランジモーターを備えた細長いタイプと、 ベルトドライブ(折り畳み式ドライブトレイン)を備えた幅広くコンパクトな タイプ2つのデザインバリエーションをご用意。 また、インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定が可能です。 【特長】 ■トラベルレンジ：13mmまたは26mm ■ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいはDCサーボモータ選択可能 ■速度：15mm/s ■最大荷重：30N ■リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AOI・レーザー検査向け。20ms以下の高速応答でビーム位置ズレをリアルタイム補正
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
科学技術と高い評価を兼ね備えた先進ブランド減速機とモーターの専門製造工場です
サーボ、ステップ、直流モーターなどの伝動システムに合わせて回転速度を低下させ、また出力トルクを高めて負荷慣性質量を低下させることができます。動力をアプリケーションに完全に伝達すると共に、小サイズ、高精度、低バックラッシ、高効率、高出力回転速度、高出力トルク、スムーズな運転及び低騒音などの特性を備えています。 ※詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
科学技術と高い評価を兼ね備えた先進ブランド減速機とモーターの専門製造工場です
サーボ、ステップ、直流モーターなどの伝動システムに合わせて回転速度を低下させ、また出力トルクを高めて負荷慣性質量を低下させることができます。動力をアプリケーションに完全に伝達すると共に、小サイズ、高精度、低バックラッシ、高効率、高出力回転速度、高出力トルク、スムーズな運転及び低騒音などの特性を備えています。 ※詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
科学技術と高い評価を兼ね備えた先進ブランド減速機とモーターの専門製造工場です
サーボ、ステップ、直流モーターなどの伝動システムに合わせて回転速度を低下させ、また出力トルクを高めて負荷慣性質量を低下させることができます。動力をアプリケーションに完全に伝達すると共に、小サイズ、高精度、低バックラッシ、高効率、高出力回転速度、高出力トルク、スムーズな運転及び低騒音などの特性を備えています。 ※詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ウェーハ検査・光学校正向け。高精度回転制御でアライメント精度と再現性を向上
ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。
超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインアップ！
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージ モンブランシリーズ ■真空対応ステージ ■制御装置 ■アクセサリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
科学技術と高い評価を兼ね備えた先進ブランド減速機とモーターの専門製造工場です
サーボ、ステップ、直流モーターなどの伝動システムに合わせて回転速度を低下させ、また出力トルクを高めて負荷慣性質量を低下させることができます。動力をアプリケーションに完全に伝達すると共に、小サイズ、高精度、低バックラッシ、高効率、高出力回転速度、高出力トルク、スムーズな運転及び低騒音などの特性を備えています。 ※詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
取付の違うラインカメラ、産業用カメラ、照明どのように固定していますか？撮像角度、照明の照射角度、どうやって可変させていますか？
ラインスキャン/ラインセンサーカメラ用に開発されたFLEX-L、産業用カメラ/エリアカメラ用に開発されたFLEX-A、画像検査専用の高剛性検査台。検査プラットフォームであり、テスト用固定治具です。 「機器の取付」「角度の調整」「現場設置」をその場で実現。 すべてネジ止めセッティングの設定強度を持ち、ラインカメラ/エリアカメラ、産業用カメラ設営に必要な光学条件調整機構を標準装備します。 弊社独自の取り付け機構でさまざまな固定ネジ位置のカメラ・照明を固定できる画期的な特徴を持ちます。 [意匠登録、意匠出願中] 「専用サイト：画像処理環境.com (Webサイトから販売しています)」
5°と90°で切り換えて使用！はんだ接合強度試験の基板固定用ステージのご紹介
『SJS-100N-L/S』は、最大荷重100Nまで対応のはんだ接合強度試験用 ステージです。 QFPリードやチップ部品などのはんだ接合強度測定に好適。 X方向・Y方向にサンプル位置の微調整が可能です。 アタッチメントの向きを調整し、45度と90度のはんだ接合強度試験が できます。 【特長】 ■はんだ接合強度試験の基板固定用ステージ ■基板取り付け角度を45°と90°で切り換えて使用可能 ■ピッチの小さなリード、微小なチップ部品でもXYテーブルで 微妙な位置の調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゼロプレイボールネジと高剛性構造により、検査・光学工程の位置ズレを抑制
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
誰でも簡単に迅速かつ高精度に！2μmを10秒以内で調整します
『バランスステージ』は、新方式の2軸チルトステージとして、高荷重の 対象物に対し、0～360°の全領域において2μm以内の位置決めを可能にする 製品です。 ユーザー利便性を高めたAPIおよびPCプログラムにより、測定値を入力する だけで設定値が自動計算され、初心者でも容易に操作可能。 また、応力が発生しにくい全面支持構造を採用しており、結合部品の変形 発生を根本的に防止します。 【特長】 ■高精度自動角度調整 ■遠隔角度制御対応 ■特殊環境に適した堅牢な設計 ■ユーザーフレンドリーなアプリによる角度設定 ■多様なセンサーによるリアルタイム調整機能 ■多様な入力デバイスに対応した高い柔軟性 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします
シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造 および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック 回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、 「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 【事業内容】 ■精密位置検出器の製造および販売 ■精密位置測定器の製造および販売 ■精密位置決め機器の製造および販売 ■前略号に付随する一切の業務 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
高さ14mm・中央開口付き。レーザー・光学系の角度位置決めを省スペースで実現
PILine(R)超音波ピエゾモータを採用した『U-651』は、わずか14 mmの高さで、>360 °の回転動作するステージです。 最大速度540 °/sで、0.3 N·mトルク、光学角度エンコーダで、12 µradの最小動作を実現。 φ36 mmの開口で、レーザ光路や配線を通すことも可能。セルフロック機構が通電ゼロでも位置保持。 クロスローラーベアリングで耐荷重は20N。 ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
260mm大開口と300nm偏芯により、XCT・ビームライン用途の回転誤差を低減
本製品は、最大260mmの開口を備えた薄型設計の高精度エアベアリング回転ステージです。 エア浮上ガイドを採用しているため、一般的なメカニカルガイドのような摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのため、スティックスリップや摩擦熱が発生せず、高速駆動と高い回転精度を実現します。 さらに、優れた平面度とわずかな偏心により、高精度な回転位置決めが可能です。 特長： ・大開口260mm、厚さ113mmの薄型設計 ・エアベアリングによる無摩擦回転 ・高い平面度と低偏心による高精度位置決め ・インクリメンタル／アブソリュートエンコーダ対応 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
手動で制御する精密位置決めステージ
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。 主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。 大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。 低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)
MEMS・光学検査向け。ナノ位置補正により測定時の微細ズレを低減し検査品質を安定化
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真直度±0.05µmと390mm/s高速動作により、半導体・光学検査工程の位置誤差を低減
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
レーザー・光学検査向け。微小角度補正により光軸ズレを抑え測定精度を安定化
V-731は、高精度な位置決めと優れた動作安定性を実現するXYリニアモーターステージです。アイアンレス3相リニアモーターを採用し、摩擦やバックラッシュの影響を受けないダイレクトドライブにより、滑らかで高応答な動作を可能にします。 低速域でも安定した走行性能を維持しつつ、高速時でも振動を抑制します。さらに、クロスローラーガイドにより高剛性と高い案内精度を確保。 非接触式のインクリメンタルリニアエンコーダを搭載し、非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形などの影響を受けません。精密な位置決めが求められる多様なアプリケーションに最適な高性能ステージです。
翔栄システムの総合カタログを、限定５様に進呈いたします！ ご希望の方はお早目にお問い合わせください。
翔栄システムの総合カタログを５社様に限りプレゼントいたします！ 総合カタログには非接触センサー（静電容量・渦電流）をはじめ、ピエゾアクチュエーター、ピエゾステージ等が豊富なラインアップで掲載されております。 弊社は精密位置決め技術のプロフェッショナルとして、日本の製造業におけるものづくりをサポートしております。ピエゾを使った位置決め装置に関しては、是非翔栄システムにお任せください。 総合カタログをご希望の方は、お問い合わせフォームよりお申込みください。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ
■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1nm分解能と0.025µm再現性により、レーザー加工や計測工程の位置ズレを抑制
L-731は、高い移動精度と安定性を実現した高精度XYステージです。205 mm × 205 mmの広い移動範囲に対応し、レーザー加工や計測、バイオテクノロジー分野など幅広い用途で高精度な位置決めを実現します。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上で直接位置を測定し、バックラッシュや機械誤差の影響を受けない高精度制御が可能です。さらに、一方向再現性・最大0.025 µmにより、信頼性の高いプロセスを実現します。 クロスローラーガイドを採用することで、高剛性・低摩擦・滑らかな動作を実現。安定した位置決めと長時間運用においても優れたパフォーマンスを発揮します。駆動方式は、低速高トルクに優れるステッピングモーターと、高速・低振動のDCモーターから選択可能。用途に応じた最適なシステム構築ができます。
