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スキャン品質を維持する高精度XYステージ

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L-731

最終更新日:2026年05月23日

PIジャパン株式会社
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1nm分解能と0.025µm再現性により、レーザー加工や計測工程の位置ズレを抑制

L-731は、高い移動精度と安定性を実現した高精度XYステージです。205 mm × 205 mmの広い移動範囲に対応し、レーザー加工や計測、バイオテクノロジー分野など幅広い用途で高精度な位置決めを実現します。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上で直接位置を測定し、バックラッシュや機械誤差の影響を受けない高精度制御が可能です。さらに、一方向再現性・最大0.025 µmにより、信頼性の高いプロセスを実現します。 クロスローラーガイドを採用することで、高剛性・低摩擦・滑らかな動作を実現。安定した位置決めと長時間運用においても優れたパフォーマンスを発揮します。駆動方式は、低速高トルクに優れるステッピングモーターと、高速・低振動のDCモーターから選択可能。用途に応じた最適なシステム構築ができます。

    アクチュエーターリニアモータ直交ロボット
image_01.png

スキャン品質を維持する高精度XYステージ

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基本情報

・移動範囲:205 mm × 205 mm(8インチ) ・一方向再現性:最大0.025 µm ・最大速度:90 mm/s ・分解能 1 nm のインクリメンタルリニアエンコーダ ・駆動方式:2相ステッピングモーターまたはDCモーター ・ロータリーエンコーダ:20,000インパルス/回転 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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用途/実績例

・レーザー加工 ・計測・メトロロジー ・バイオテクノロジー ・医療分野 ・レーザーマーキング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高い移動精度と安定性・高精度XYステージ L-731

高い移動精度と安定性・高精度XYステージ L-731

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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。

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