平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ・表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ・パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ・ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ・静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ドイツ本社で50年以上にわたり培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください
納期
※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
応用例 ・走査型顕微鏡 ・各種計測／干渉計 ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・画像処理／安定化 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション ・ナノポジショニング
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
