200nm以下の偏芯性能により、ウェーハ検査や光学校正工程の測定精度を安定化
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
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基本情報
・仕様・スペック 512 文字 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォーム直径50mm ～ 300mm ・最大負荷容量4170N ・偏心率および平面度<200 nm ・垂直または水平方向に設置可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
価格帯
納期
用途／実績例
・精密光学部品のアライメント調整 ・測定機器における高精度回転ステージとして ・光通信部品の検査工程 ・画像センサーのキャリブレーション装置 ・ウエハーや光学素子の等速回転スキャン ・クリーンルーム内でのナノ精度位置決め ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
