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内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能！精密な位置コントロールを行います
『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを 採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。 直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。 内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、 精密な位置コントロールを行います。 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、 オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、 最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。 【特徴】 ○1軸および3軸バージョン ○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 （オープンループは～240μm/2.4mrad） ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○センター開口部66 x 66mm ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズ 精密位置決めステージ 充実した機能・高性能なPI社の対物レンズピエゾステージ
30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、 世界中のお客様にご使用されています。 今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。 また扱いやすさも向上させた作りになっております。 【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 ※新デジタルコントローラとの併用でより高精度に！ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。
P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、 クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高ダイナミック、超高安定性を誇るピエゾナノポジショナー。分解能0.05nm、高速応答
P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーは リニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。 【特徴】 ○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ○分解能0.05nm、高速応答 ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○真空対応および非磁性バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50～1800μm
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、 サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
超高ガイド精度を誇る！最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高い
極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、 最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、 直進性が非常に高いことが大きな特徴です。 【特徴】 ○分解能0.1nm、高速応答 ○ストローク～35μm ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
リミットスイッチ内蔵！DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ
『L-505』は、DC/ステッピングモータ選択可能な小型リニアステージです。 リニアステージには、フランジモーターを備えた細長いタイプと、 ベルトドライブ(折り畳み式ドライブトレイン)を備えた幅広くコンパクトな タイプ2つのデザインバリエーションをご用意。 また、インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定が可能です。 【特長】 ■トラベルレンジ：13mmまたは26mm ■ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいはDCサーボモータ選択可能 ■速度：15mm/s ■最大荷重：30N ■リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！
PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重600Nの「V-855型」 高精度＆長作動＆小幅の1軸リニアモーターステージリリースしました。 XY軸構成も可能です。 【特徴】 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅100mm） ・最大速度3 m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・最大600Nの耐荷重 ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！
PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。 【特長】 ・最大1000Nの耐荷重 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm） ・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ・大開口：260mm、厚さ：113mmの薄型タイプ ・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
