44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
【特徴】 ・コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ・ストローク～120μm ・分解能～0.2nm ・低コストの機構／電子システム構成 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・フォトニクス／集積光学 ・マイクロ機械加工 ・半導体試験
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
