最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
・50 ～ 1800μm のストローク ・無摩擦のない高精度なフレクシャガイドシステム ・PICMA(R)ピエゾアクチュエータによる長寿命 ・X、XY、Z、XYZ の各バージョンがあります ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・干渉計における位相シフト制御 ・共焦点／原子間力顕微鏡のサンプル位置調整 ・ナノスケールでのアライメントおよびスキャン制御 ・フォトニクス素子の精密位置決め・アセンブリ ・半導体パターン検査および品質保証工程 ・光学・バイオ分野のトラッキング／アクティブ安定化ステージ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
