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最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 繰り返し作業の手間】
【問題点】 ワーク全体の画像を保存する場合「画像保存→隣の視野エリアに移動→画像保存→・・・」と何度も繰り返し、手間と時間がかかっていました。 【改善提案】 キャプチャートリガーの信号によって画像保存するCCDカメラとXYステージを連動させることで、ワーク全体の画像を自動取得できます。 画像取得のためのI/O制御プログラムも簡単に作れます。手間のかかる作業から解放され、生産性を改善します。（CCDカメラには画像保存機能が必要となります。）
現在のマイクロスコープを使って、外観検査システムを作りたい。
【ニーズ】 現在マイクロスコープを使って目視による外観検査をしているが、作業者の作業環境、検査効率を改善するためのシステムを構築したい。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置、良否判定結果の入力を管理できるので、検査効率を改善できます。 コントローラー（ソフトウェア含む）のみを提供することもできるので、他社製または自作XYステージと組み合わせることも可能です。システム設計の自由度が上がり、ソフト開発の手間を省けます。
マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
【問題点】 マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。
パレットに並んだ部品をマーカーやプリンタを使ってマーキングしたい。
【ニーズ】 シーケンサーを使ってマーカー・プリンタとXYステージを連動させるプログラムを組んでいますが、多品種少量生産のため部品の種類が変わると頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 マーカー・プリンタとXYステージを連動させて、各部品にマーキングします。 マーカー・プリンタのマーキング開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
各種測定器とXYステージを連動させてワーク全体の測定を行いたい。
【ニーズ】 分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。 【改善事例】 各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。 （測定データの取得・保存機能は測定器側に必要になります。）
海外メーカーも含め、工作機械全般の位置決め精度検査を承っております
・ヒューレットパッカード株式会社製５５３０Ａレーザー測長システムを用いて超高精度な位置決め精度検査を行います。 ・レニショー株式会社製のＤＢＢを用いて、機械の円運動精度検査と診断を行います。 ・工作機械メーカ及び、名称に限定されない幅広い検査を行います。海外メーカーも行います。 ・ＮＣ制御機器メーカーに限定されない検査を行います。 ・精度検査のみでなく、各種パラメータ補正を行い、高精度に改善します。 ・顧客要求に対応した、柔軟な精度検査を行います。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ウイング車と段差のあるプラットフォームでのデバン作業をスムーズに。仮置き防止で作業効率・安全性を向上
「ドックステージ（DOK-STAGE）」は、ウイング車と段差のあるプラットフォームでの荷積み・荷下ろしを効率化する架台です。プラットフォーム部に設けることで、格納しきれない荷物の仮置きによる搬入出口の占拠や、トラックの荷下ろし待ちを防止。ドライバーの待機時間削減や荷役時間短縮に貢献します。 スロープでは解決しにくい「段差」と「荷物滞留」の両課題を同時に改善。ステージ上では台車やハンドリフトでの作業が可能で、プラットフォーム下からの受け渡しを省略できます。 また、自由設計が可能なオリジナル製品のため、現場環境や作業内容に合わせた最適仕様で製作可能。導入前には3Dシミュレーションでの検討も行えます。 固定設備を増やすことなく、限られたスペースを有効活用し、荷役現場の効率化と安全性を両立します。 【特長】 ■ 段差を解消し、ウイング車での荷役をスムーズに ■ 荷物の仮置きを防ぎ、搬入出口の占拠を抑止 ■ ドライバー待機時間を削減し、作業効率を向上 ■ 現場に合わせた自由設計と3Dシミュレーション対応
信頼と実績であらゆるニーズにお応えいたします
■精密ボールねじ、ころがり直動案内、セラミック製エアガイドなどが自由に選択できるため、用途に応じて高精度な位置決めや真直度、剛性の確保が可能です。 ■ゲージ製造で培った精密測定技術をベースに位置決め精度、ロストモーション、真直度、直角度など、信頼性の高いデーター測定が可能です。 ■設計から製作まで、すべて受注対応により、お客様に合ったソリューションを提案致します。
超高温をその場観察！「今」見たいを叶える高速昇温、高速降温可能な 挙動変化をリアルタイムで観察記録可能なシステムです
顕微鏡用高温観察ステージ「IR-18SP」は、顕微鏡ステージに乗せてサンプルの加熱観察が可能な製品です。 コンパクトな炉体ながら室温～1500℃まで30秒の高速加熱ができ、最高温度1800℃までの超高温加熱を実現しました。 【特長】 ■最大１８００℃までの高温加熱が可能 ■シンプルな構造でメンテナンスが簡単 ■炉自身が気密チャンバー構造で自由な雰囲気での加熱が可能 ■高速なレスポンスにより高精度な温度制御が可能 ■顕微鏡やマイクロスコープ、レーザー顕微鏡での「その場観察」が可能 ■温度とリンクした動画を記録、解析が可能 ■コンパクトで卓上でも使用可能 金属顕微鏡、マイクロスコープ、レーザー顕微鏡等に対応しており、既存顕微鏡を流用したシステムも提案できます。
