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SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富な横型です！
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。 顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 繰り返し作業の手間】
【問題点】 ワーク全体の画像を保存する場合「画像保存→隣の視野エリアに移動→画像保存→・・・」と何度も繰り返し、手間と時間がかかっていました。 【改善提案】 キャプチャートリガーの信号によって画像保存するCCDカメラとXYステージを連動させることで、ワーク全体の画像を自動取得できます。 画像取得のためのI/O制御プログラムも簡単に作れます。手間のかかる作業から解放され、生産性を改善します。（CCDカメラには画像保存機能が必要となります。）
現在のマイクロスコープを使って、外観検査システムを作りたい。
【ニーズ】 現在マイクロスコープを使って目視による外観検査をしているが、作業者の作業環境、検査効率を改善するためのシステムを構築したい。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置、良否判定結果の入力を管理できるので、検査効率を改善できます。 コントローラー（ソフトウェア含む）のみを提供することもできるので、他社製または自作XYステージと組み合わせることも可能です。システム設計の自由度が上がり、ソフト開発の手間を省けます。
マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
【問題点】 マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。
パレットに並んだ部品をマーカーやプリンタを使ってマーキングしたい。
【ニーズ】 シーケンサーを使ってマーカー・プリンタとXYステージを連動させるプログラムを組んでいますが、多品種少量生産のため部品の種類が変わると頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 マーカー・プリンタとXYステージを連動させて、各部品にマーキングします。 マーカー・プリンタのマーキング開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
各種測定器とXYステージを連動させてワーク全体の測定を行いたい。
【ニーズ】 分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。 【改善事例】 各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。 （測定データの取得・保存機能は測定器側に必要になります。）
海外メーカーも含め、工作機械全般の位置決め精度検査を承っております
・ヒューレットパッカード株式会社製５５３０Ａレーザー測長システムを用いて超高精度な位置決め精度検査を行います。 ・レニショー株式会社製のＤＢＢを用いて、機械の円運動精度検査と診断を行います。 ・工作機械メーカ及び、名称に限定されない幅広い検査を行います。海外メーカーも行います。 ・ＮＣ制御機器メーカーに限定されない検査を行います。 ・精度検査のみでなく、各種パラメータ補正を行い、高精度に改善します。 ・顧客要求に対応した、柔軟な精度検査を行います。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
