更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをアップデート
『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを 標準設定として新規追加したアライメントステージです。 回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。 ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組合せが自由に ■薄形、コンパクト ■省電力、高タクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモーター位置決めステージ
【SSA XYシリーズ リニアモーターステージ】は、 高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。 ・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm 【特長】 ■短納期 ■簡単な取付け ■優れたコストパフォーマンス ■モジュール化した設計により、組立て時間の短縮を実現 ■マルチフィールドバス通信インターフェース ■パルス列/電圧入力インターフェース ■3.2 kHzの速度応答 ■高精度位置制御 ■高精度位置トリガー出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
薄型XY回転ステージを使用。芯出しが短時間で可能になった事例をご紹介
精密機械会社の品質管理課で使用している部品の外周振れ測定治具の 改善事例をご紹介いたします。 ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっていることが課題でした。 そこでX軸Y軸の移動と360°回転ができるステージを採用。従来のようにボルトを 緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しができるようになりました。 【事例概要】 ■課題 ・ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっている ■解決 ・ボルトを緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しが できるようになった ・外周振れ測定も精度よくできるようになった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
一目で移動量が分かる！回転して使用出来るステージ
ＭＸＹ－１は簡易型ＸＹ手動ステージです、フラット面のステージにＸＹ方向に目盛を付けましたので、移動量が一目で分かるＸＹステージです。 商品を簡易に固定ができるフックを左右に付けましたので、ステージが移動しても商品固定が可能です。又、フックも取り外し可能の為、大きな商品の場合は取ってご使用いただけます。 【特徴】 ○Ｘ・Ｙ軸の移動が一方向から手動で動かせる ○移動量はＸ軸が７０ｍｍ・Ｙ軸が５０ｍｍ移動可能 ○送りネジ精度はＸ・Ｙ軸共に０.１mmの精度 ○取付は丸型リングでφ９４.５・ｔ=８mmの丸型底板が設けてある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
最大180°屈折、360°回転、±20°傾斜…位置決め自由自在！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「あおり旋回ステージ」は、ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。 「回転ステージ」は、手動でしっとりなめらかに360°回転するステージです。 「薄型XY回転ステージ」は、従来品の組み合わせより30％近く薄型で、外観が円盤形状のコンパクトな一体型複合機能ステージです。 「傾斜ステージ」は、シーソーのように傾斜し、任意の位置でクランプレバーにより固定できます。 【特長】 [あおり旋回ステージ] ○メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現 [回転ステージ] ○逆さまに取り付けても使用可能 [薄型XY回転ステージ] ○X軸・Y軸・回転摺動が可能 [傾斜ステージ] ○±20°の簡易式 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ラックピニオンステージや粗微動ステージなど、多彩なラインアップをご紹介
当カタログでは、機械要素部品である「ステージ」について 多数掲載しております。 移動ガイドはアリ溝方式を採用した小型X軸ラックピニオンステージの 「TAR-X」をはじめに、粗動・微動ができる回転ステージ「TKSP/TAKS」、 微動送りにねじを使用したXY軸ねじ送りステージ「TAS-XY」など 豊富なラインアップをご用意。 製品選定の際に大変便利な一冊ですので、ぜひご一読ください。 【掲載製品(一部)】 ■ラックピニオンステージ ■粗微動ステージ ■ねじ送りステージ ■ブロックステージ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
60mm角サイズでXYZ構成に対応し、小型検査装置や光学系の微細位置調整を実現
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消！
多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。 従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
レイアウトに合わせたステージの制作が可能！
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 （１０～３０ｋｇ） タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
![XYθテーブル [マイクロヘッド方式]](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/9ca/2000126345/IPROS6572562354404564434.JPG?w=280&h=280)
マイクロメーターによる高精度位置合せでオープンショート検査機をサポート
コンパクト！安価！ 3軸方向の小型微調整用精密ステージで精緻な位置合わせが可能。 オープンショート検査機を強力にサポートします！ 【特長】 ■マイクロメーターによる高精度位置合わせができます。 ■テーブル寸法 60×60［mm］ ■外形寸法 123×120×30［mm］ ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。 ※総合カタログ進呈しております。お気軽にお申し付けください。
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料研究・開発・評価など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
カスタム手動XXYZステージRXY-300はリニアガイド、精密ボールねじを採用した精密手動XYステージです。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。 X 軸（粗動）、X軸（微動）、Y軸（微動）ストロークカスタムにも対応いたします。また治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応可能です。 2軸構成で、最薄100mmです。各軸ともにロック機構を採用しております。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
2つのリバーシブル設計！前後、左右、裏表 自由自在の新発想ステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「リバーシブルステージ(R)」は、表と裏が異なる形状のステージ面や、目盛板・クランプレバーの前後左右の組み替え、一軸で二方向（XY）摺動など、柔軟性と操作性を併せ持つステージです。 左右対称に並べて、両手両側でXY操作をする用途にも大変便利です。 【特長】 ○2つのリバーシブル設計 ○表裏両面使用可能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ～ ※CAD図サンプル有
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性 ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に 対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
0.2nm分解能と120µm動作量により、顕微鏡の高速フォーカス制御を安定化
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■位置決めステージ相談はHIWINへ■クロス型・ガントリー型からエアベアリングなど、単軸～多軸位置決めステージを提供します
単軸ステージを組合せたXY2軸ステージやガントリー型、XYZ直交座標ロボット、さらには高精度エアベアリングステージなど、各種標準型のほか、ニーズに合わせたカスタム提案をいたします。 すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザーの競争力を高めるお手伝いをいたします。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ ■XY直交度1秒角のオプションあり ■真空オプションあり ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高耐荷重、ロングストロークを安価な価格で提供致します。
【特徴】 ○簡易X軸調整ユニット/Xステージです。 ○送りねじを使用した簡易調整ユニットです。 ○安価な価格で、耐荷重タイプを提供致します。 ○取付面への孔加工などカスタム対応可能ですので、設計、使用の自由度が高いです。 ○高耐荷重（１０～３０ｋｇ）タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
