更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました
『KXSシリーズ』は、スライドガイドを採用し低価格を実現した 自動ステージです。 スライドガイドの採用で、ロングストロークを実現しています。 精密加工技術を生かした内製のボールねじ、スライドガイドを採用しました。 機構部品内製化により高品質で、センサを本体内部に配置することにより、 ステージ側面の突出もなくコンパクトな構造です。 【特長】 ■ロングストローク ■低価格 ■高品質 ■コンパクト ■カバータイプ ・ 異物落下防止 ・ グリース飛散予防 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
Ｚ軸ステージを活用した部品重なり検査治具
ワークが１枚ずつ搬送されているか検査しています。 ワークの厚みが変わるたびに、センサーの高さ設定が必要ですが、ボルト４本で固定されているため高さ設定変更作業に時間がかかります。 特に、センサーの下側にあるボルト２本は、センサー本体に近く回しづらい状況です。 さらに、ボルトを締めることで設定高さがずれてしまい、やり直しをしなければならない事があります。 【特徴】 ○熟練の技によるアリ溝の摺り合わせ技術で 滑らかな摺動と高品質 ・ 低価格を実現 ○ステージ面 ： 40mm × 90mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Ｚ軸ステージを搭載したＵＶ接着治具
カメラモジュールの筐体と基板をＵＶ接着しています。 生産するカメラモジュールの機種が変わるたびにＵＶ接着器のヘッド高さと位置の変更が必要です。 このカメラモジュールの場合は、接着部とヘッドの距離が15mmになるように設定しています。 ヘッド高さの変更は、ボルトを緩めてヘッドを取付けたベースを長穴に沿ってスライドさせた後、ボルトを締めて固定します。 ボルトを緩めたり締めたりしなければならずとても面倒な作業です。 【特徴】 ○長いストロークを規則的なピッチでなめらかに摺動し、 狭い空間でも大変便利 ○ステージ面 ： 25mm×40mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラベアリングを採用！極めて低い断面高さを実現しています
『SA…DE/T』は、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプは、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインアップした 無限回転タイプ(当製品)は、360度を超える動作角や、連続回転動作に対応します。 また、高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージを フルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組み合わせが自由に ■薄形、コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
3次元解析や欠陥マップ表示などが可能！目的に応じた専用測定プログラムを設計開発
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ■RS-232C ・PCによる制御で専用機 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多軸ステージユニットやアクセサリを豊富なラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージのユニットやアクセサリをご紹介しています。 手動ステージの組み合わせ選定の手間を省いた「多軸ステージユニット」を はじめ、手動ステージ用アクセサリ「マイクロメータヘッド(保守部品)」や 「送りねじ」を掲載しています。 【掲載内容】 ■多軸ステージユニット ■マイクロメータヘッド（保守部品） ■送りねじ ■Z軸ブラケット ■アダプタプレート ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
３軸( Ｘ、Ｙ、Ｚ )ステージを使用したＬＥＤ発熱検査治具の改善。
サーモグラフィを使用してＬＥＤの発熱を検査しています。マグネットスタンドに装着されたサーモグラフィをワーク（ＬＥＤ基板）の真上に設定しなければなりません。 設定方法は、片手でサーモグラフィを支えて、もう片方の手でつまみを緩めて位置を決めます。 その後、つまみを少しずつゆっくり締めて完了です。 つまみをゆっくり締めるのは、設定位置がずれないようにするためです。 両手で慎重に作業しなければならないのでとても面倒で時間がかかります。 【特徴】 ○熟練の技によるアリ溝の 摺り合わせ技術で高品質・低価格を実現 ○滑らかな摺動と高耐久性 ○クランプレバーの採用により固定保持力もアップし、 レバーの位置方向セットも自在 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
産学連携で実現！ステッピングモーターを用いた高精度なX-Yステージ製作
✅ご依頼内容 茨城大学様から外国製のポイントカウンター（X方向のみに稼働）の修理のご依頼をいただいたことをきっかけに、Ｘ-Ｙ方向に移動するステージを作成しました。 ✅工夫ポイント ステッピングモーターを使用することで、22mm×22ｍｍの試料可動範囲で0.1ｍｍ刻みのステップを可能としました。 また、顕微鏡観察研究において、気泡や砕屑粒子などの量比を高精度に計測するためのシステムとして、パソコンと連動したポイントカウンタープログラムを一緒に開発しました。これにより、作業の手を止めることなく、研究ができるようになりました。 ✅成果 ・高精度な位置決め ステッピングモーターにより、センサーを使用せずに高精度な位置決めが可能 ・薄型設計 偏光顕微鏡の回転ステージに装着しても操作を妨げない薄型設計
250kg対応と±0.2µm再現性により、大型光学系や試験設備の高精度6軸補正を実現
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
最大2,200mmのロングストロークへ！大型・重量物にも対応します
『PA180S シリーズ (カバー付)』は、リニアスライドガイドを用いた 高精度・高剛性・高耐荷重タイプのステッピングモータステージです。 精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・高速移動が可能。 最大2,200mmのロングストロークを備えるなど、現場のニーズに幅広くお応えします。 【特長】 ■高精度位置決め ■高剛性・高耐荷重 ■ユーザビリティ ■異物侵入防止・安全性向上 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
職人の微細な手作業から生まれるなめらかな摺動と高耐久性！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「熟練の技ステージ(R)」は、熟練の技によるアリ溝の摺り合わせ技術で高品質・低価格を実現、なめらかな摺動と、高耐久性が特長です。 また、クランプレバーの採用により固定保持力もアップし、レバーの位置方向セットも自在です。 ボルトネジ固定部は、粘弾性材塗布により震動や衝撃を吸収・減衰させて、ネジの緩みを防止します。 【特長】 ○強化クランプレバー ○防震対策 ○自在な取付方向 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
顕微鏡・半導体等の検査に使用するメカニカルステージの開発・製造もお任せ！
当社では、顕微鏡のステージに取り付けて、プレパラートスライドを XY軸に微動させる装置「メカニカルステージ」の制作・販売しております。 お客様のご希望サイズやロットに応じて制作いたします。 ご要望の際はお気軽にご連絡ください。 【製品一覧】 ■メカニカルステージ 反射タイプ ■メカニカルステージ 透過タイプ ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
ドライバー&コントローラー内蔵、コンピューター制御 「Simple, Clean, Smart」
一般的なリニアステージには、外部コントローラやモーター駆動回路、フィードバック回路、リミットスイッチ、および軸ごとに複数のケーブルが必要です。 Dover社製Smart Stage ポジショナーには、高性能コントローラとすべてのハードウェアが組み込まれています。
最大200mmストロークと0.1µm再現性により、光学アセンブリや検査工程の高精度搬送に対応
動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度：80mm/s ・最小動作量：0.3µm～、再現性：2µm～ ・耐荷重：150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ（オプション） ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに好適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインアップ！
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージ モンブランシリーズ ■真空対応ステージ ■制御装置 ■アクセサリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸 1～6軸 ○電流値 10-800mA ○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
±0.06µmの高再現性により、光ファイバーやフォトニクス部品の6自由度調整を安定化
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「セミオーダーステージ(R)」は、ハンドル・予圧調整ネジ・目盛・ストッパー・ベース・Z 軸ブラケットなどがお好みで自由に選択できるユーザー仕様のステージです。 薄型・軽量でラック＆ピニオン式と送りねじ式があり、熟練の技ステージ(R)とは異なるサイズ展開で差別化を図ると共に、使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。 【基本ステージ特長】 ○自由な組み合わせ ○優れた操作性 ○固定力の強化 ○リバーシブル設計 ○便利な機能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
63mm角の省スペース設計で、フォトニクスや半導体装置の高精度Z制御に対応
L-306は、小型設計ながら高精度な位置決めを実現するZステージです。ベルトギアを用いた折り返し駆動構造によりコンパクトサイズを実現（設置面積が63×63mm）。XYステージと組むことが容易です。 駆動方式には2相ステッピングモータまたはクローズドループDCモータを採用し、用途や制御システムに応じた構成が可能です。また、クロスローラーガイドを採用しており、高い剛性、低い予圧による摩擦の低減、滑らかな動作を実現。さらに、高い案内精度と耐荷重性能を備えています。 強制保持式ローリングエレメントケージによりケージクリープを防止します。
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動アクチュエータ “ミリオンアクチュエータ” を採用することで高精度送りを実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特徴】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能です！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
