更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ ■XY直交度1秒角のオプションあり ■真空オプションあり ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高耐荷重、ロングストロークを安価な価格で提供致します。
【特徴】 ○簡易X軸調整ユニット/Xステージです。 ○送りねじを使用した簡易調整ユニットです。 ○安価な価格で、耐荷重タイプを提供致します。 ○取付面への孔加工などカスタム対応可能ですので、設計、使用の自由度が高いです。 ○高耐荷重（１０～３０ｋｇ）タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました
『KXSシリーズ』は、スライドガイドを採用し低価格を実現した 自動ステージです。 スライドガイドの採用で、ロングストロークを実現しています。 精密加工技術を生かした内製のボールねじ、スライドガイドを採用しました。 機構部品内製化により高品質で、センサを本体内部に配置することにより、 ステージ側面の突出もなくコンパクトな構造です。 【特長】 ■ロングストローク ■低価格 ■高品質 ■コンパクト ■カバータイプ ・ 異物落下防止 ・ グリース飛散予防 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラベアリングを採用！極めて低い断面高さを実現しています
『SA…DE/T』は、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプは、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインアップした 無限回転タイプ(当製品)は、360度を超える動作角や、連続回転動作に対応します。 また、高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージを フルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組み合わせが自由に ■薄形、コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
3次元解析や欠陥マップ表示などが可能！目的に応じた専用測定プログラムを設計開発
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ■RS-232C ・PCによる制御で専用機 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多軸ステージユニットやアクセサリを豊富なラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージのユニットやアクセサリをご紹介しています。 手動ステージの組み合わせ選定の手間を省いた「多軸ステージユニット」を はじめ、手動ステージ用アクセサリ「マイクロメータヘッド(保守部品)」や 「送りねじ」を掲載しています。 【掲載内容】 ■多軸ステージユニット ■マイクロメータヘッド（保守部品） ■送りねじ ■Z軸ブラケット ■アダプタプレート ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
産学連携で実現！ステッピングモーターを用いた高精度なX-Yステージ製作
✅ご依頼内容 茨城大学様から外国製のポイントカウンター（X方向のみに稼働）の修理のご依頼をいただいたことをきっかけに、Ｘ-Ｙ方向に移動するステージを作成しました。 ✅工夫ポイント ステッピングモーターを使用することで、22mm×22ｍｍの試料可動範囲で0.1ｍｍ刻みのステップを可能としました。 また、顕微鏡観察研究において、気泡や砕屑粒子などの量比を高精度に計測するためのシステムとして、パソコンと連動したポイントカウンタープログラムを一緒に開発しました。これにより、作業の手を止めることなく、研究ができるようになりました。 ✅成果 ・高精度な位置決め ステッピングモーターにより、センサーを使用せずに高精度な位置決めが可能 ・薄型設計 偏光顕微鏡の回転ステージに装着しても操作を妨げない薄型設計
超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
最大2,200mmのロングストロークへ！大型・重量物にも対応します
『PA180S シリーズ (カバー付)』は、リニアスライドガイドを用いた 高精度・高剛性・高耐荷重タイプのステッピングモータステージです。 精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・高速移動が可能。 最大2,200mmのロングストロークを備えるなど、現場のニーズに幅広くお応えします。 【特長】 ■高精度位置決め ■高剛性・高耐荷重 ■ユーザビリティ ■異物侵入防止・安全性向上 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ
動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度：80mm/s ・最小動作量：0.3µm～、再現性：2µm～ ・耐荷重：150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ（オプション） ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに好適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
職人の微細な手作業から生まれるなめらかな摺動と高耐久性！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「熟練の技ステージ(R)」は、熟練の技によるアリ溝の摺り合わせ技術で高品質・低価格を実現、なめらかな摺動と、高耐久性が特長です。 また、クランプレバーの採用により固定保持力もアップし、レバーの位置方向セットも自在です。 ボルトネジ固定部は、粘弾性材塗布により震動や衝撃を吸収・減衰させて、ネジの緩みを防止します。 【特長】 ○強化クランプレバー ○防震対策 ○自在な取付方向 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
顕微鏡・半導体等の検査に使用するメカニカルステージの開発・製造もお任せ！
当社では、顕微鏡のステージに取り付けて、プレパラートスライドを XY軸に微動させる装置「メカニカルステージ」の制作・販売しております。 お客様のご希望サイズやロットに応じて制作いたします。 ご要望の際はお気軽にご連絡ください。 【製品一覧】 ■メカニカルステージ 反射タイプ ■メカニカルステージ 透過タイプ ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
ドライバー&コントローラー内蔵、コンピューター制御 「Simple, Clean, Smart」
一般的なリニアステージには、外部コントローラやモーター駆動回路、フィードバック回路、リミットスイッチ、および軸ごとに複数のケーブルが必要です。 Dover社製Smart Stage ポジショナーには、高性能コントローラとすべてのハードウェアが組み込まれています。
超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインアップ！
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージ モンブランシリーズ ■真空対応ステージ ■制御装置 ■アクセサリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸 1～6軸 ○電流値 10-800mA ○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「セミオーダーステージ(R)」は、ハンドル・予圧調整ネジ・目盛・ストッパー・ベース・Z 軸ブラケットなどがお好みで自由に選択できるユーザー仕様のステージです。 薄型・軽量でラック＆ピニオン式と送りねじ式があり、熟練の技ステージ(R)とは異なるサイズ展開で差別化を図ると共に、使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。 【基本ステージ特長】 ○自由な組み合わせ ○優れた操作性 ○固定力の強化 ○リバーシブル設計 ○便利な機能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
13mmストロークのコンパクト高精度Zステージ
L-306は、小型設計ながら高精度な位置決めを実現するZステージです。ベルトギアを用いた折り返し駆動構造によりコンパクトサイズを実現（設置面積が63×63mm）。XYステージと組むことが容易です。 駆動方式には2相ステッピングモータまたはクローズドループDCモータを採用し、用途や制御システムに応じた構成が可能です。また、クロスローラーガイドを採用しており、高い剛性、低い予圧による摩擦の低減、滑らかな動作を実現。さらに、高い案内精度と耐荷重性能を備えています。 強制保持式ローリングエレメントケージによりケージクリープを防止します。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
