薄型ピエゾステージ 「ML-20XYL」
XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社メステック
- 価格：10万円 ~ 50万円
ステージ(xy軸) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年08月06日～2025年09月02日
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ステージの製品一覧
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小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
- 企業：神津精機株式会社
- 価格：応相談
PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』
0.1μmの分解能！熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ
『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。 熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、 ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です。 【特長】 ■高い水準の安定性 ■0.1μmの分解能 ■最大135mm×85mmのトラベルレンジ ■倒立顕微鏡に適したタレットの自由回転 ■適合するZサンプルスキャナーあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
顕微鏡用自動XYステージ SCANシリーズ
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
- 企業：フォトニックインストゥルメンツ株式会社
- 価格：100万円 ~ 500万円
手動XYステージ 「MXY-1」
一目で移動量が分かる！回転して使用出来るステージ
ＭＸＹ－１は簡易型ＸＹ手動ステージです、フラット面のステージにＸＹ方向に目盛を付けましたので、移動量が一目で分かるＸＹステージです。 商品を簡易に固定ができるフックを左右に付けましたので、ステージが移動しても商品固定が可能です。又、フックも取り外し可能の為、大きな商品の場合は取ってご使用いただけます。 【特徴】 ○Ｘ・Ｙ軸の移動が一方向から手動で動かせる ○移動量はＸ軸が７０ｍｍ・Ｙ軸が５０ｍｍ移動可能 ○送りネジ精度はＸ・Ｙ軸共に０.１mmの精度 ○取付は丸型リングでφ９４.５・ｔ=８mmの丸型底板が設けてある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社スターマイクロ 本社
- 価格：応相談
XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北野精機株式会社
- 価格：応相談
BIXYステージSTDシステム（OL）A1「B30109A1」
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしました！
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしたため、従来の自動ステージよりさらに使いやすくなりました。 顕微鏡のXYステージを自動で動かすことが可能です。 付属のコントローラと操作部で、マニュアル動作が可能なジョグ移動、設定した一定量を動かすことが可能なステップ移動、設定した任意の座標へ次々と移動可能なティーチング動作、などが可能です。 ホームページにて無償配布しているアプリケーションにて任意の動作を、比較的簡単にプログラム可能です。 ステージがどのくらい移動したか、表示単位を設定して液晶画面にわかりやすく表示し、作業者が把握することが可能です。 【特徴】 ○イメージングソフトに対応 →対応ソフトウェアをお持ちの方は、さらに便利にご使用可能 ○K規格ホルダに標準で対応 →各社インキュベータやサーモプレートも搭載可能 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡、一部正立顕微鏡（ステージ固定式顕微鏡）に搭載可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：中央精機株式会社
- 価格：応相談
アリ溝式ステージ「あおり旋回、回転、薄型XY回転、傾斜ステージ」
最大180°屈折、360°回転、±20°傾斜…位置決め自由自在！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「あおり旋回ステージ」は、ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。 「回転ステージ」は、手動でしっとりなめらかに360°回転するステージです。 「薄型XY回転ステージ」は、従来品の組み合わせより30％近く薄型で、外観が円盤形状のコンパクトな一体型複合機能ステージです。 「傾斜ステージ」は、シーソーのように傾斜し、任意の位置でクランプレバーにより固定できます。 【特長】 [あおり旋回ステージ] ○メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現 [回転ステージ] ○逆さまに取り付けても使用可能 [薄型XY回転ステージ] ○X軸・Y軸・回転摺動が可能 [傾斜ステージ] ○±20°の簡易式 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社ミラック光学
- 価格：応相談
ピエゾステージ 「MI-100シリーズ」
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
- 企業：株式会社メステック
- 価格：応相談
高耐荷重 Zステージ SZ200
レイアウトに合わせたステージの制作が可能！
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 （１０～３０ｋｇ） タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
高性能リニアステージ『τ Linear Stage』
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：CKD日機電装株式会社
- 価格：応相談
![XYθテーブル [マイクロヘッド方式]](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/9ca/2000126345/IPROS6572562354404564434.JPG?w=280&h=280)
XYθテーブル [マイクロヘッド方式]
マイクロメーターによる高精度位置合せでオープンショート検査機をサポート
コンパクト！安価！ 3軸方向の小型微調整用精密ステージで精緻な位置合わせが可能。 オープンショート検査機を強力にサポートします！ 【特長】 ■マイクロメーターによる高精度位置合わせができます。 ■テーブル寸法 60×60［mm］ ■外形寸法 123×120×30［mm］ ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。 ※総合カタログ進呈しております。お気軽にお申し付けください。
- 企業：日東公進株式会社
- 価格：応相談
アリ溝式ステージ「リバーシブルステージ」
2つのリバーシブル設計！前後、左右、裏表 自由自在の新発想ステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「リバーシブルステージ(R)」は、表と裏が異なる形状のステージ面や、目盛板・クランプレバーの前後左右の組み替え、一軸で二方向（XY）摺動など、柔軟性と操作性を併せ持つステージです。 左右対称に並べて、両手両側でXY操作をする用途にも大変便利です。 【特長】 ○2つのリバーシブル設計 ○表裏両面使用可能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社ミラック光学
- 価格：応相談
PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
