5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
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基本情報
・速度 最大200 mm/s ・加速度 最大10 m/s2 ・センサー分解能：5 nm ・薄型 27 mm ・超コンパクトなモーションプラットフォーム：75 mm × 80 mm ・トラベルレンジ10 mm ・耐荷重 3 kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体検査装置での微細位置決め・スキャン制御 ・光学素子やファイバーの高精度アライメント ・フォトニクス分野における微小部品の高速整列 ・クリーンルーム内での非接触ナノポジショニング ・精密計測装置での滑らかな直線移動制御 ・垂直Z軸ステージやXYステージのモジュール構成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
