コイルステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

高速動作時の微細位置ズレを抑えるボイスコイルステージ

5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化

A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。