電動スライダ EZSシリーズ クリーンルーム対応タイプ
EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現しました
高精度電動スライダEZSシリーズの機能・性能を維持しつつ、ISO規格 クラス3（FED規格 クラス1相当）のクリーン度に対応した製品です。 本製品は、低発塵のローラー構造に加え、ボールねじ、ガイド、ベアリング等に低発塵クリーングリースを採用することで、発塵量を抑制しています。 ステンレスシートによる気密性の向上も、清浄度クラス3の実現に貢献しています。 内部で発生した発塵は、吸引用継手から外部へ吸引可能であり、少ない吸引量（例：EZSM3で約20?/min以上）でISO規格 クラス3のクリーン度を達成します。 駆動モーターには、バッテリレスアブソリュートセンサ内蔵のαSTEP AZシリーズが採用されています。 AZシリーズ搭載により、位置情報を保持し、外部センサが不要であるため、設計・部品手配・組み立て調整にかかる工数とコストの削減を実現します。 EZSシリーズと同様に、ボールねじ駆動方式を採用し、最大ストローク850mm、最高速度800mm/s、最大可搬質量水平60kg・垂直30kgの性能を有します。 吸引用継手方向は左右両方をラインアップしており、設置場所の制約に対応します。
- 企業：高津伝動精機株式会社
- 価格：応相談
