超精密測定器具「セラミックス製 超精密XYステージ」
姿勢精度2秒以下の高精度を実現!検査装置の位置決めに好適な超精密XYステージ
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度精度:1μm以下を実現。 ■姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。 ■最長3500stまで可能 ■再現性0.2μm以内可能 ■付属品:検査成績表 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ※XYステージのデモ機を弊社展示スペースにて常設しております。 是非、現物をご確認ください。
- 企業:新東Vセラックス株式会社
- 価格:応相談