更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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プレス機械や工作機械の状態監視！
当資料では、ドイツで提案されたセンソリックファスナー技術を用いて 開発したボルト型圧電式荷重センサー「PiezoBolt」を用いた製造設備の モニタリング事例をご紹介しています。 その中で施されたIoT化に向けた取り組みについても掲載しており、 詳しくわかりやすく解説しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■プレス機械の状態監視に向けた取り組み事例 ■工作機械の状態監視に向けた取り組み事例 ■今後の可能性について ■参考文献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
防塵・防滴性に優れ120℃まで耐熱！無線＆小型なので装置組込みにも好適！
『VT-M300』は小型で設置・組込みがしやすく、-40～120℃の耐熱幅で 60点までのリアルタイム計測・集計できるワイヤレス温湿度センサーです。 THPタイプとK2タイプがあり、温度、湿度、気圧、熱電対の計測が可能。 ボタン電池式のため約1ヶ月間の連続使用ができます。 各種環境試験や研究開発等にも便利な製品です。 現在、デモ機を貸出中です！下記よりお申し込みください。※先着順 【特長】 ■60ch（20台：1台あたり最大3ch）までの同時計測 ■専用ソフトでリアルタイムデータを閲覧・集計可能 ■温度・湿度・気圧（THP）、熱電対（K2）の4種を計測 ■無線はLAN接続なので通信が安定 ■真空フィルター（別売り）でセンサー開口部も塵をシャットアウト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで低価格な光量子センサ！農業、研究、植物工場のコントロール用のセンサーに！
コンパクトで高コスパなApogee社 光量子センサです。 太陽光用に波長範囲が設定されています(370~650nm)。農業向け、研究向けの各種モニタリングシステム用にもご使用いただけます。 【特徴】 ■太陽光向け波長範囲 370～650nm ■低価格 ■コンパクト ■デジタル出力(USB, Modbus, SDI-12)
温度センサ送信機
温度センサは、1個の送信機で4か所の温度を同時に監視できる高性能センサです。 離れた場所からの監視に最適で、異常温度検出や配電場、工作機械、冷蔵庫内など、多様な環境に対応します。 センサはソーラーとコイン電池のハイブリッド駆動 送信インターバルは10分に１回 日本国内のみ使用可能です。（周波数928.35MHz 1mW）EnOcean通信は30～100mで、電波が飛び過ぎないため情報漏洩のリスクが少ない。 1mWと低電力なので、大電力通信の制限がある工場環境でも他の機器への影響が少ない。 IAQ（Indoor Air Quality）の向上に適切なセンサです。 HDMI接続のディスプレイ表示用受信機(別売り）でリアルタイムにモニタリング可能。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
空気中の二酸化炭素量（ＣＯ２）を測定します。
・ＮＤＩＲ（非分散型赤外線吸収法）方式によるＣＯ２測定 ・優れた安定性 ・メンテナンスフリー ・測定レンジ２タイプ 低レンジタイプ測定範囲 ４００〜４,０００ｐｐｍ 高レンジタイプ測定範囲 ４００〜２０,０００ｐｐｍ
防水・防塵IP67対応。産業用グレードの計測をワイヤレスで実現。高度なカルマンフィルタによる正確な姿勢出力。
【過酷な環境で高精度計測を実現する、産業用ワイヤレスIMU】 LPMS-IG1Wは、Bluetooth接続に対応した高性能な6軸慣性計測ユニット（IMU）です。加速度・ジャイロ各3軸の計測に加え、高度なアルゴリズムにより動的な環境下でも精密な姿勢角を出力します。 ・現場を選ばない高い堅牢性（IP67規格） 完全防水・防塵のアルミニウム筐体を採用。屋外の建設現場や粉塵の多い工場、水しぶきがかかる船舶や農機、回転体など、過酷な場所での計測を可能にします。 ・独自アルゴリズムによる高精度計測 長年の研究に基づくカルマンフィルタ「Core Fusion Engine」を搭載。建機の激しい振動や磁気干渉をリアルタイムで補正し、ドリフトを抑えた安定的な姿勢角を最大400Hzで出力します。 ・完全ワイヤレスで開発効率を最大化（ROS/ROS2対応） 内蔵バッテリーとBluetoothにより完全ケーブルレスで動作。配線が困難な大型機械や人体計測に最適です。Linux対応に加え、ROS/ROS2ドライバを公式サポートしており、自律走行システムへの統合もスムーズです。
世界最高レベルの高感をもつ光学式酸素センサー
医療、航空、環境モニタリングなどにおいて、酸素濃度のセンシング技術が注目されている。中でも光学式酸素センサーは、有害物質を含まず、非消耗センサーとして有望である。一方、光学式酸素センサーは低酸素濃度下での測定が難しく、感度が低いという課題があった。 本発明は、発光性と非発光性の希土類錯体の混晶を用いた遅延発光システムに基づく酸素センサーである。希土類イオンとしてYb（III）錯体とLu（III）錯体を用いた混晶材料では、酸素濃度0kPaと21.3kPaにおける発光寿命の変化は約630倍であり、発光体を用いた酸素センシング能は世界最高レベルを有する。
危険環境下で働く労働者の健康管理から最適スポーツトレーニング法の立案まで！幅広い用途で使えるウェアラブル生体センサ
『Vitalgram』は、胸に貼り付けるだけで、携帯端末などの外部デバイスへ リアルタイムで生体データを送り、からだの状況や経時的なからだの変化を 解析することができる絆創膏型のワイヤレス生体センサです。 【使用例】 ■長期的な健康管理・病気予防 からだの状況を継続的にモニタリングして、生活習慣病の改善、 体型改善のバラメータを得る事により、改善への励みにすることができます。 ■危険環境下で働く労働者の健康管理 プラントや発電所等の危険環境下で働く労働者の健康状態を守り、 危険を未然に防ぐことができます。 ■最適スポーツトレーニング法の立案 環境による影響やからだのコンディションの測定を行い、 からだに無理のない最適なトレーニング法の立案に役立てることができます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェアラブルビジネス成功のカギはSensylink！
シリコンデバイス株式会社はこの度、Sensylink社製品の取扱開始しました。 Sensylink社が発売した新世代の小型、高精度、低消費電力デジタル温湿度センサー チップ CHT8555 は、ポータブルウェアラブルデバイスを通じて環境および皮膚周囲の温度と湿度を正確に測定および収集することができ、さまざまな機能を提供できます。次世代のスマートウェアラブルデバイス向けの機能開発を行うアプリケーションで、高品質のソリューションを提供します。
IoTシステムの評価/開発！互換性のあるボードで簡単にミックス＆マッチング可能
『XENSIV(TM)PAS CO2 Shield2Goボード』は、ユニークな顧客体験と 評価体験を提供する製品です。 空気環境のモニタリングと省エネのためのデマンドコントロール型 換気の両方に好適。 全ボードにインフィニオン製ICが1個搭載され、すぐに使用できる Arduinoライブラリーが付属しています。 【PAS CO2センサー 主な特長】 ■超小型サイズ ■厳しい空気環境規制と標準を満たすppmレンジと堅牢性 ■表面実装製品(SMD)テープ＆リール ■補正と自己校正のための高度なアルゴリズム ■各種設定オプション、インターフェース搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CO2の自動公正機能により正確な測定値を維持！経済産業省のガイドラインに沿った光音響NDIR方式採用のワイヤレスCO2センサー
『Canary+(カナリープラス)』は、光音響NDIR方式の ワイヤレスCO2センサーです。 電源投入後約1日、以降約7日間隔で自動校正を実施。 ゲートウェイとクラウドを利用して遠隔モニタリングに 利用可能。 約50g、約66mm×68mm×23mmの小型・軽量サイズです。 【特長】 ■経済産業省のガイドライン準拠のCO2測定モジュール搭載 ■CO2濃度の自動校正機能により正確な測定値を維持 ■BLEビーコン発信機能 ■スマートフォンアプリでも表示が可能 ■小型・軽量 ■BLE5.0ロングレンジビーコン対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温湿度CO2濃度センサー内蔵のLoRa無線機器を使用した環境管理システム
温湿度CO2濃度センサー内蔵のLoRa無線機器を使用した環境管理システム。 「工場内の熱中症対策として現状を把握、データ化したい」 「温湿度計を工場に置いているが、定期的に見に行けない」 「換気のタイミングが分からない」 このようなお悩みを解決するツールとしてご活用頂けます。 電池式で稼働する無線機器のため、設置するだけで定期的に温湿度CO2濃度情報を把握できます。
ppmレベルで高い精度と堅牢性を実現！ポストキャリブレーション不要の二酸化炭素(CO2)センサー
『XENSIV PAS CO2センサー』は、光音響分光法(PAS)のコンセプトに 基づいて設計されています。 既存の商用NDIR CO2センサーに比べて75％以上の省スペース化を実現。 ppmを直接読み取ることができ、ハイエンドの性能を備えているため、 室内空気質に関する厳しい規制を満たすことができます。 また、大量の高速ピック＆プレースプロセスに適しており、高速で 自動化された組み立てが可能です。 【特長】 ■きわめて小さい物理的寸法(14 x 13.8 x 7.5 mm3) ■ppmレベルで高い精度と堅牢性を実現(Readの±30ppm ±3%) ■SMDパッケージをテープ＆リールで提供(各300個) ■高度な補正および自己校正アルゴリズム ■各種設定オプション(サンプリングレートなど)および インターフェース(UART、I2C、PWM)を装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
耐熱性能が高く無線通信もできるセンサーのご紹介
『VT-M300』は、温度・湿度・気圧・熱電対による温度を計測可能な小型で 軽量なセンサユニットです。標準で120℃の環境下でも測定が可能です。 60点までの同時計測が可能で、すべてのデータは1本のUSBアンテナにて 回収できます。 温度・湿度・気圧が各1チャンネル測定が可能な「THPタイプ」と、 K型熱電対が2チャンネル測定可能な「K2タイプ」をご用意しています。 【特長】 ■小型で軽量 ■60点までの同時計測が可能 ■電源はボタン電池 ■無線受信によるリアルタイムデータの確認が可能 ■耐熱仕様により120℃の環境下でも装置を設置可能 ■耐熱120℃の樹脂ケース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハイエンドなMEMS加速度センサで、サーボ型センサから小型低価格化を実現します！
2001年にColibrys社として設立され、現在はSafranグループ（仏）の傘下で活動する、ハイエンドMEMS加速度で著名なメーカーです。設計・製造から最終試験まで一貫した自社製造体制で、製品の品質管理を徹底しています。航空宇宙、防衛、防災、資源開発、土木・建築、鉄道などの幅広い分野で使用されています。 MS1000シリーズ 分解能、安定性、リニアリティ、消費電力を向上させた最新型のセンサで、高性能サーボ型加速度計と同等の性能をローコストで実現可能です。 VS1000シリーズ DCから1KHz以上の広帯域をカバーする、低ノイズセンサです。各種振動計測、解析、ヘルスモニタリング等に適しています。 Si1000シリーズ 地震計測、構造物ヘルスモニタリング等に適した高感度MEMS加速度センサです。（Class B） TS1000シリーズ 油田掘削や各種ボーリング用途の為に開発された、高温・耐衝撃環境下で使用可能なセンサです。
電池駆動＆コンパクトサイズで屋内の輻射熱を測定可能
当製品は、工場や倉庫、運動施設、介護施設などの屋内の輻射熱を測定します。 金属製黒球搭載 屋内用輻射熱センサで暑さ指数、温度、湿度を測定可能。 30～100mで通信可能なEnOcean通信 を採用の為、安全に使用可能。 電波が飛び過ぎないため情報漏洩のリスクが少ない。 1mWと低電力なので、大電力通信の制限がある工場環境でも他の機器への影響が少ない。 HDMI接続のディスプレイ表示用受信機(別売り）でリアルタイムにモニタリング可能。 【特長】 ■監視頻度：10分間隔 ■電源：電池駆動 約3年のメンテナンス不要 ■温度：0～＋60℃の温度を計測 ■重量：約200g ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
温度計やサーモカメラでは捉えきれない「熱の流れ」を計測できるセンサー
計測対象に貼り付けて、熱の「流れ」とその向きを計測。 従来の熱流計・熱流センサーと比べ、小型化・薄型化しながらも高い感度を実現。 ISO規格に準拠した構造による、信頼性の高い計測。 断熱性や放熱性の評価、発熱や吸熱の検知など様々な場面で活用できます。 ※計測にはデータロガーへの接続が必要です。
取り付けが簡単な小型形状！統合、設置、通信インターフェースにおいて様々な選択肢を提供
『SACTシリーズ』は、車室内の温度をモニタリングし、その測定値をHVAC システムに伝達して、適切な換気と暖房を可能にする車室内温度センサーです。 センサーの低騒音ファンは、HVACコントローラーの迅速な調整動作を促し、 車両を設定温度に保つために必要なエネルギー量を低減させます。 乗客の健康を向上させる環境に配慮したシステム設計のため、 相対湿度および空気質センサーと統合することもできます。 【特長】 ■正確な温度出力 ■低騒音ファン ■アナログインターフェース ■RoHSおよびREACHに準拠 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
独自のコーティング技術により接着剤不要の圧電機能化が可能に！
独自で開発した樹脂系圧電性溶液をスプレーコーティングすることにより、従来工法に比べ工程短縮が可能となり、圧電性機能付与することが困難であった形状・大物などに対しても付与することが可能になりました！ 【用途】 ■センシング機能 部材の振動やひずみの発生する箇所にコーティングすることにより、ひずみを電圧として読み取ることを可能です。正常・異常を検知するモニタリングに利用できます。 ■発電機能 柔軟なプラスチックに圧電素子をコーティングすることにより、曲げても壊れない発電素子の作製を可能にしました。 それらをエナジーハーベスター、振動発電素子として用いることにより、環境発電や振動発電等、様々な応用展開が可能になります。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
一酸化炭素(CO)、硫化水素(H2S)、完全に認証された可燃性ガスに対応！
当社で取り扱う、小型ガスセンサ『MICROceL/MICROpeL』をご紹介します。 「MICROceL」は携帯アプリケーションに適した堅牢的なセンサ、 「MICROpeL」は ATEX/UL/CSA 認証されており、EN/IEC 60079-0 衝撃テストに耐えることができる製品。 一酸化炭素(CO)、硫化水素(H2S)、完全に認証された 可燃性ガスに対応しております。 【特長】 ■小型設計 ・MICROceL：17.0×17.0×4.2mm ・MICROpeL：16.9×16.9×4.0mm ■対応ガス：CO/H2S/可燃性ガス ■ATEX/UL/CSA 認証(MICROpeL のみ) ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
あぐりログの搭載可能センサに「pFセンサ」を追加！土壌水分管理をサポート
ハウス環境モニタリングサービス”あぐりログ”の 搭載可能センサに、新たに「pFセンサ」を追加しました。 作物の生育には水が不可欠です。 作物を健康に生育するには、土壌にどれだけ水があるのかではなく、 土壌に作物が利用できる水がどれだけあるのかを知る必要があります。 当センサの搭載により、土壌の水分状態もグラフでカンタンに見える化。 植物の生育、養分供給に重要な土壌水分管理をサポートします。 【特長】 ■土壌に設置したpFセンサと連携し、デジタルな数値として pF値をリアルタイムで把握できる ■面倒な初期設定が一切なし ■フォロー・フォロワー機能で温度や湿度と同様にpF値もシェア可能 ■フォローしたハウスの計測値をいつでもどこでもPC・スマホでチェックできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
360度風向微風速温湿度気圧加速度地磁気無線センサー／ 品番 M906LW-7BW
微風速センサは、風向・風速の他に、温度、湿度、気圧を同時に計測することが可能です。 設置方向と設置角度も自己認識するため、どんな環境でも最適なデータ収集を実現します。 上質な室内空気品質（IAQ）管理に最適なセンサです。 ■使用事例 ●塗装工場 塗装工場では、微風速や温度、湿度の管理が塗装 品質に直接影響します これにより塗装のムラを 防ぎ、均一な仕上がりを実現します さらに、ワイヤレス通信機能により、無人で塗装エリア全体のデータを一元管理し、 効率的な工場運営をサポートします ●溶接 溶接時に発生するヒューム（煙霧）は健康リスクと なります 微風速センサで空気の流れを確認する ことで、風上に作業者がいないか、ヒュームの 危険が無いかをチェックし、適切な換気をサポートします 作業環境の安全性を高め、溶接品質の向上に寄与します。 ●体育館 微風速センサを使用して温度や湿度が高い場合で も、適切な換気を行うことで健康的な運動環境を実現します また、卓球やバドミントンなど風が影響を与えるスポーツの会場において、微風速センサは風の流れを精密に測定し、競技に適した環境を提供します
離れた金属片の検出が可能なセンサー！コンベヤチェーンのトラブルを解決した事例をご紹介
『つばき 長距離検出近接センサ』にてコンベヤチェーンの緩みを 24時間監視した事例をご紹介いたします。 輸送物や周辺との環境によりコンベヤにアクセスしづらい、 日常業務が忙しく普段よりコンベヤチェーンの緩みを確認できない等の問題がありました。 つばき 長距離検出近接センサIを提案し、 緩みによるトラブルがなくなり、予防保全に貢献できました。 【事例概要】 ■問題点 ・コンベヤにアクセスしづらい環境 ・コンベヤチェーンの緩みを確認する時間がない ■効果 ・緩みによるトラブルがなくなり予防保全に貢献 ・直接現場に行かなくても、制御盤で確認でき、現場作業の負荷軽減に貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
約10gの超軽量な無線式慣性/運動センサー
“WaveTrack”慣性センサーには、3つのセンサ(加速度度/ジャイロスコープ/地磁気) が搭載されており、それぞれの値のほかダイレクトに角度情報が算出されます。 軽くて頑強なプラスティック素材の筐体で構成され、過酷な環境でも利用でき、 各々のセンサには、ユーザーが視覚的に判りやすいようチャンネル番号とセンサー座標系(方向)が記載されています。 また、無線受信&拡張ユニット「Wave plus EMG」を小型筋電センサー「Mini Wave Infinity」と共有する事で同期計測する事が可能です。 「筋電図」と「運動」をリアルタイムに同期計測/モニタリングする事が可能となります。
EMI／RFI環境下で計測可能！高精度、光ファイバー温度センサー
コンパクトサイズ、直径1.7mm以下で、高い信頼性と正確性を持った、光ファイバー温度センサー(光ファイバー温度計)です。 EMI／RFI環境下で計測可能で、腐食性環境に強く、ガラス（石英）の熱膨張を基に計測しているので、高い精度と安定性で、繰り返し測定を行うことができます。 すべての光ファイバーセンサー（温度、変位、圧力、ひずみ、荷重）は、併用が可能で、コスト的メリット、利便性を備えています。 静的、動的な計測、チャンネル数によって、各種、豊富なコンディショナーをご用意。 様々なアプリケーションに対応いたします。 ●防爆 ●EMI、RFIの影響を受けない ●温度：300℃まで ●高精度 ●小型堅牢 ●すべてのコンディショナーに使用可能 【FOT-Lモデル】 テフロンで被覆され、-40〜250℃の温度レンジを持っています。 【FOT-Hモデル】 高温用（-40〜300℃）で、先端4cmはポリイミドでコーティングされ、ケーブルはブレードファイバーガラスで被覆されています。 ※詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合わせ下さい。
測定は、近くの物体から送信され、反射して戻ってくる超音波に基づいており、高精度な距離測定を提供します。
EM500-UDLは、洪水監視、排水管理、穀物や肥料の充填レベル監視など、過酷な環境下でのさまざまなアプリケーションに対応する高精度な距離測定を提供します。測定は、近くの物体から送信され、反射して戻ってくる超音波に基づいています。 ●距離・レベル測定 ●LoRaWANワイヤレス ●NFCによる簡単なコンフィギュレーション ●10年間の電池寿命
空調ファンなど他の機器との連動も可能！船の揺れや振動がある状況でも安定して出力
船内で陰圧区画内の気圧を計測したいお悩みを解決した事例をご紹介します。 船内に陰圧区画をつくりたいが船舶の揺れや振動があっても安定して 室内気圧を計測できるセンサーがありませんでした。 そこで、船舶の環境でも安定して信号出力ができる気圧センサーが欲しいと いうことになり導入。船の揺れや振動がある状況でも安定して出力できます。 【概要】 ■事例：船内陰圧区画室内圧モニタリング ■お悩み：船内で陰圧区画内の気圧を計測したい ■ご提案製品：高精度気圧センサー ・船の揺れや振動がある状況でも安定して出力 ・システムを組むことで、空調ファンなど他の機器との連動も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度CO2センサーで二酸化炭素濃度を計測、スマホやPCで可視化します。1000ppmを換気の目安に。
室内で変化する二酸化炭素濃度をモニタリングし、換気が必要なタイミングや場所を可視化します。二酸化炭素濃度を適正に保ち、感染拡大を防止。快適な環境で業務を効率化。 ビル衛生管理基準での必要換気量の目安は1000 ppm以下です。 ■特長 ・空間の二酸化炭素濃度、温湿度をスマホでチェック ・高精度な光音響NDIR方式のCO2センサー採用 ・空気質を注意レベルと数値で表示 ・設定レベルを超えるとスマホに通知 ・温湿度から快適ゾーンとリスクを把握 ・計測値はクラウドに保存、CSV出力可能 ・かんたん接続ですぐに計測開始 ・ひとつのアプリに複数センサーの登録が可能 ・壁掛け、横置き両対応 ■コマンド仕様提供可能 独自システムでの制御などプログラムへの組込に必要なコマンド仕様は、法人のお客様と当社との間で機密保持契約(NDA) を締結の上、提供しています。
低消費電力を実現したワイヤレスマルチ環境センサー（温度、湿度、照度、加速度、気圧センサー搭載）
●ローコスト省エネ 低消費電力無線ICを搭載した、設置型マルチセンサーアクティブタグです。 ●長寿命 標準設定でのご使用の場合、バッテリー寿命約10年間動作します。 ●多種多様なセンサを搭載 温度・湿度・照度・加速度・気圧センサを内蔵しており、センサデータを無線発信することが可能です。 ●液晶表示機能 搭載された液晶画面により、リアルタイムにセンサデータを確認できます。 ●振動検知機能 指定した加速度以上を検知すると、ワイヤレスエコセンサーが自動的に発信します。 ●通信距離 内蔵チップアンテナで約50ｍ通信可能です。 ●マイクロSDカード対応 マイクロSDカードを挿入することによって、最大約1000万データを記録できます。 ●壁面設置可能 同梱されている壁面用フックで壁面に設置することが可能です ●電波法工事設計認証
「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの測定チャネルを搭載しております
研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 【特長】 ■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、 過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現 ■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定 ■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
