ガスフローセンサー『SFM6000D-5slm』
半導体や分析機器、医療機器、 産業オートメーションの用途に好適!
『SFM6000D-5slm』は、SFC6000マスフローコントローラーのバルブレス 姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供するガスフローセンサーです。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSensMEMS技術を採用する、 センシリオンはクラス最高レベルの性能と応答速度を備えたマスフロー コントローラーを提供。 これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、 サービスの再調整も不要です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量:5slm ■フルスケール流量:5000sccm ■精度:0.2%FS or 2%SP ■最高使用圧力:10bar ■キャリブレーション:Air N2 O2 N2O Ar and CO2 flow ■流体コネクタポート:Push-in 6mm downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:センシリオン株式会社
- 価格:応相談