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センサ×プレシテック・ジャパン株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

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センサの製品一覧

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小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーです。また、グラファイトコーティングの厚み測定にも使用が可能です。　 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは（数um)～厚膜(10mm)までカバー。 　■高分解能（サブミクロン Zは最小8nm～） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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プレシテック・ジャパン株式会社　会社案内

プレシテック・ジャパン株式会社　会社案内

レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリスト！

プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 当社は、単なるシステムおよびコンポネントのサプライヤーではなく、 お客様の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 基礎段階からご相談に応じ、お客様と共にお客様の要望ならびに目的を 的確にコンサルトします。 これによって、お客様の用途に適切なソリューションを提供することができます。 【事業内容】 ■レーザーマテリアル加工 ■光学測定技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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CHRocodile 2IT DW1000

CHRocodile 2IT DW1000

アナログI出力付！CHRocodile 2IT DW1000をご紹介します。

プレシテック・ジャパン株式会社が取り扱う 『CHRocodile 2IT DW1000』をご紹介します。 光源は、NIR SLD。 測定レンジは、80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7)です。 また、5軸エンコーダーが付いています。 【製品スペック】 ■光源：NIR SLD ■測定レンジ：80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7) ■外部トリガー、同期IO ■5軸エンコーダー付 ■Ethernet, RS422 ■アナログI出力付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対応可能

『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ■光学式で非接触 ■消耗品使用無 ■サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無 ■傾斜のあるワークにも測定可能 ■ホットエンド工程にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

当資料は、CHRocodileシリーズをご紹介しています。 「CHRocodileの測定原理」をはじめ、「干渉センサー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブをラインナップ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。 　　　材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　　　「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。

『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 　　　距離センサとしては、600um, 4mm, 10mmの3種類の 　　　プローブラインナップ。 　■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野

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蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検査、セパレーター厚みやコーティング厚みの測定等の実績豊富！

当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 シングルポイントセンサでは、低価格向けの製品（CHRcodile C, CHRocodile Mini)も２種類用意しています 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 　　各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ 　　シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 　　PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可！

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、 平坦度の測定・検査などに使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に 対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも 使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても 利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定 ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状 マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定センサも登場。非接触で透明体だけでなく不透明体の厚みも測定

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わりました。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルムなどの検査に使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 Enovasense社のセンサは、航空関係の部品の塗膜、コーティング厚みでの実績もございます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］から資料にてご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。

新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um) 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • その他検査機器・装置
  • 膜厚計

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画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途にも。

『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして 色収差共焦点原理を応用した製品です。 コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。 ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及び インライン検査などが容易に行えます。 【特長】 ■フラットでないワークでも鮮明なイメージ ■振動の影響不要 ■全ての材料に対して高いコントラスト ■最大取込データ：100kHz (200MPixel/sec) ■焦点深度：150μm～3mm ■分解能：1～5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 　■広範囲エリアの非接触３次元形状測定 　　　最大8.3mmのライン幅 　■広い許容角度 　　　反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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  • 三次元測定器
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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • その他計測・記録・測定器
  • スキャナ

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