センサ×プレシテック・ジャパン株式会社 - 企業1社の製品一覧

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーです。また、グラファイトコーティングの厚み測定にも使用が可能です。　【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは（数um)～厚膜(10mm)までカバー。　■高分解能（サブミクロン Zは最小8nm～）　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■多業界で豊富な実績　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

企業：プレシテック・ジャパン株式会社
価格：応相談

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。　■高分解能（サブミクロン最小1nm）　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対応可能

『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる新色収差共焦点センサー(MPS)です。波長差は一定の厚さに対応。複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。【特長】 ■光学式で非接触 ■消耗品使用無 ■サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無 ■傾斜のあるワークにも測定可能 ■ホットエンド工程にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光学測定器
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非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブをラインナップ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。　　　材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。　■高分解能（サブミクロン最小1nm）　　　「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■多業界で豊富な実績　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。

『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合）　　　距離センサとしては、600um 4mm 10mmの3種類の　　　プローブラインナップ。　■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~）　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■多業界で豊富な実績　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野

企業：プレシテック・ジャパン株式会社
価格：50万円 ~ 100万円

距離関連測定器
試験機器・装置
基板検査装置

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高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可！

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。幅広い測定範囲、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。【アプリケーション】ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサバッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定センサも登場。非接触で透明体だけでなく不透明体の厚みも測定

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わりました。高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルムなどの検査に使用されています。幅広い測定範囲、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 Enovasense社のセンサは、航空関係の部品の塗膜、コーティング厚みでの実績もございます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］から資料にてご覧いただけます。　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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価格：100万円 ~ 500万円

センサ

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厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。

新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um) 　■高分解能（サブミクロン最小1nm）　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。

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価格：100万円 ~ 500万円

その他検査機器・装置
膜厚計

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画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途にも。

『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして色収差共焦点原理を応用した製品です。コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及びインライン検査などが容易に行えます。【特長】 ■フラットでないワークでも鮮明なイメージ ■振動の影響不要 ■全ての材料に対して高いコントラスト ■最大取込データ：100kHz (200MPixel/sec) ■焦点深度：150μm～3mm ■分解能：1～5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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カラーカメラ
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３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。【特長】　■広範囲エリアの非接触３次元形状測定　　　最大8.3mmのライン幅　■広い許容角度　　　反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■多業界で豊富な実績　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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三次元測定器
その他検査機器・装置
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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャンシステムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スキャナ

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの厚み測定・検査などに使用されています。不純物/ドープウエハの測定も可能です。その他の特長は、幅広い測定範囲、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。【アプリケーション】ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。

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色収差共焦点センサー『CHRocodile C』

最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定！全ての表面に対応します

『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。粗面をはじめ、鏡面や色付き材料など全ての表面に対応します。プローブヘッドは200um～10mmまでご用意しております。【特長】 ■コンパクト ■表面依存無 ■最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定 ■形状に依存無 ■プローブヘッドは200um～10mmまで用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光学測定器
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高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70 000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定可能。半導体ウエハ検査用途に。

当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを高精度かつスピーディーに測定可能。センサも幅広く取り揃えており、要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。【FSSの特長】 ■高精度：Z方向分解能最小5nm ■高速スキャン：70 000ポイント/秒 ■インライン測定に好適 ■測定範囲内なら自由に部分測定可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ

非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数

『CHROCODILE CLS2』『CHROCODILE CLS2 PRO』は、最大4800万ポイント/秒(標準は、1680万ポイント/秒)で非接触高速３次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y1um Z 0.025umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時間大幅短縮、ウエハエッジ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト（厚み）、平坦度、ＴＴＶなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしての使用にも適しています。【特長】　■広範囲エリアの３次元形状測定　　　最大20mmのライン幅　■広い許容角度　　　反射面で±53° エッジや急斜面に対応可能　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット　　（DLLなど)も用意　■多業界で豊富な実績　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。

企業：プレシテック・ジャパン株式会社
価格：500万円 ~ 1000万円

三次元測定器

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