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3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

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最終更新日:2022年04月11日

プレシテック・ジャパン株式会社
プレシテック・ジャパン株式会社
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サブミクロン精度で高速・広範囲を3次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】  ■広範囲エリアの非接触3次元形状測定    最大8.3mmのライン幅  ■広い許容角度    反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能  ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、    コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意  ■多業界で豊富な実績    半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

    三次元測定器その他計測・記録・測定器その他検査機器・装置
CLS-min_pxsize.png

3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

CLS-min_pxsize.png
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基本情報

【アプリケーション】 非接触による3次元形状測定が可能です。 接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。 ■家電(スマートフォン) ・LCDガラス ・OLEDマスク検査 ・表面の細かいスクラッチ等のキズ ・ワイヤボンディング ・ARグラス ■半導体製造プロセス ・欠陥検査 ・BGA検査 ・ICパッケージや回路検査 ■自動車関係 ・バルブ検査 ・車の内装 ・ガラス検査 ・エアバッグの溶接ビードの検査

価格帯

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用途/実績例

ウエハ加工(研磨など)前後、加工中のウエハ形状測定、エッジ部外観検査、貼あわせウエハのずれ測定、TTV,平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサなど 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 光センサ、非接触センサ、共焦点、高さ、表面粗さ、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元形状、3D形状、ラインセンサ、ラインスキャン、全面測定、高精度、高速、In-Situ、加工中、加工前後、半導体、半導体ウエハ、Siウエハ、 GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、ダイシング溝、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

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ラインスキャンセンサ『CHRocodile CLS』

ラインスキャンセンサ『CHRocodile CLS』

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プレシテックセンサ_バッテリー向け使用例

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厚み測定アプリケーション

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非接触3次元形状測定用ラインセンサCLSのアプリケーション紹介 - 非接触で高速な光センサ

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測定事例集_半導体での非接触センサの活用_厚み測定_平坦度管理

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導入事例集_非接触センサによる半導体ウエハの厚み測定と3次元形状測定

導入事例集_非接触センサによる半導体ウエハの厚み測定と3次元形状測定

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表面粗さ測定 接触式測定結果との比較レポート -CHRocodile CHRocodile 色収差共焦点センサ

表面粗さ測定 接触式測定結果との比較レポート -CHRocodile CHRocodile 色収差共焦点センサ

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半導体向けプレシテック製品のソリューション_20220628

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プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく 顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに 目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が 展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。 これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。 数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視 システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社 高品質製品から直接その利点を得ることができます。 光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。 さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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