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3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ

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CHRocodile CLS 2, CLS2 PRO

最終更新日:2025年03月25日

プレシテック・ジャパン株式会社
プレシテック・ジャパン株式会社
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非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の3次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数

『CHROCODILE CLS2』『CHROCODILE CLS2 PRO』は、最大4800万ポイント/秒(標準は、1680万ポイント/秒)で非接触高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y1um, Z 0.025umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時間大幅短縮、ウエハエッジ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト(厚み)、平坦度、TTVなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしての使用にも適しています。 【特長】  ■広範囲エリアの3次元形状測定    最大20mmのライン幅  ■広い許容角度    反射面で±53° エッジや急斜面に対応可能  ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、    コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット   (DLLなど)も用意  ■多業界で豊富な実績    半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。

    三次元測定器
CHRocodile_CLS2.0_chromatic_line_sensor_product_image.JPG

3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ

CHRocodile_CLS2.0_chromatic_line_sensor_product_image.JPG
CHRocodile_CLS2.0_chromatic_line_sensor_product_image.JPG
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/precitec-group/product/

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基本情報

【アプリケーション】 非接触による3次元形状測定が可能です。 接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。 ■家電(スマートフォン) ・LCDガラス ・OLEDマスク検査 ・表面の細かいスクラッチ等のキズ ・ワイヤボンディング ・ARグラス ■半導体製造プロセス ・ウエハエッジ形状測定 ・ウエハエッジ欠陥検査 ・ウエハダイシング溝外観検査 ・BGA検査 ・ICパッケージや回路検査 ■自動車関係 ・バルブ検査 ・車の内装 ・ガラス検査 ・エアバッグの溶接ビードの検査

価格帯

500万円 ~ 1000万円

納期

詳細はお問い合わせください

用途/実績例

ウエハ加工(研磨など)前後、加工中のウエハ形状測定、エッジ部外観検査、貼あわせウエハのずれ測定、TTV,平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサなど 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 光センサ、非接触センサ、共焦点、高さ、表面粗さ、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元形状、3D形状、ラインセンサ、ラインスキャン、全面測定、高精度、高速、In-Situ、加工中、加工前後、半導体、半導体ウエハ、Siウエハ、 GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、ダイシング溝、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

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色収差共焦点3Dラインセンサの製品とアプリケーションのご紹介

色収差共焦点3Dラインセンサの製品とアプリケーションのご紹介

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測定事例集_半導体での非接触センサの活用_厚み測定_平坦度管理

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半導体パッケージング_ボンドライン厚(BLT)測定 ホワイトペーパー

半導体パッケージング_ボンドライン厚(BLT)測定 ホワイトペーパー

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導入事例集_非接触センサによる半導体ウエハの厚み測定と3次元形状測定

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この製品に関するニュース(4)

光・レーザー技術展 Photonix大阪展

  • セミナー・イベント

2025年5/14(水)~5/16(金)にインテックス大阪にて開催されるPhotonix大阪展に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。   ■出品予定製品  Enovasense社製レーザフォトサーマルセンサ  色収差共焦点方式3Dラインセンサ  ProCutter Prime レーザスポット径可変型 高出力レーザ切断ヘッド  LWM  レーザ溶接モニタリング装置  CoaxPrinter  同軸ワイヤー 金属3Dプリンター用ヘッド(complete package: w/ wire fidding, pyrometer, IDM)  ScanMaster  高速形状認識・パラメータ最適化・OCT・スキャナー溶接  ScanWelder/WM new camera   1軸揺動ヘッド・シームトラッキング用ヘッド、高速画像処理&形状認識

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光・レーザー技術展 Photonix東京2024

  • セミナー・イベント

2024年10/29(火)~10/31(木)に幕張メッセにて開催されるPhotonix東京展に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。   ■出品予定製品  Enovasense社製レーザフォトサーマルセンサ ProCutter2.0 60kW 切断ヘッド WeldMaster YW52 CANUNDA-HP LWM

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Semicon Japan 2024

  • セミナー・イベント

2024年12/11(水)~12/12(金)に東京ビッグサイトにて開催されるSemicon Japan 2024に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。   ■出品予定製品  1. 分光干渉式の光学厚みセンサ CHRocodile 2 DW/ 2IT 2. 12'ウエハ全面厚み・形状測定用エリアスキャナ   Flying Spot Scanner(FSS)  3. 色収差共焦点の光学ラインセンサ CLS2.0  4. 色収差共焦点のラインカメラ CVC  5. 色収差共焦点の光学式シングルポイントセンサ CHRocodile Mini  6. 不透明体の非接触厚み測定センサ Enovasnese  7. 非接触での内部欠陥検知用センサ Field sensor

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第1回九州半導体産業展

  • セミナー・イベント

2024年9/25(水)、9/26(木)にマリンメッセ福岡にて開催される九州半導体産業展に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。   ■出品予定製品 分光干渉式の光学厚みセンサ CHRocodile 2 DW/ 2IT  色収差共焦点の光学ラインセンサ CLS2.0 色収差共焦点の光学式シングルポイントセンサ CHRocodile 2S , C, Mini  *今回は、12'ウエハ厚みマッピング測定用のFSSの   実機展示はありませんが、ご説明が必要な方や   デモ依頼などありましたらブースまでお越しください。   

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プレシテック・ジャパン株式会社

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プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく 顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに 目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が 展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。 これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。 数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視 システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社 高品質製品から直接その利点を得ることができます。 光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。 さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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