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センサ×プレシテック・ジャパン株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

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センサの製品一覧

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。

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  • その他計測・記録・測定器
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色収差共焦点センサー『CHRocodile C』

色収差共焦点センサー『CHRocodile C』

最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定！全ての表面に対応します

『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um～10mmまでご用意しております。 【特長】 ■コンパクト ■表面依存無 ■最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定 ■形状に依存無 ■プローブヘッドは200um～10mmまで用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 光学測定器
  • センサ

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CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点：色収差共焦点原理による使用 ■利点：分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご紹介しています

当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA ■FLYING SPOT SCANNER ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介

バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介

各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介！

当資料では、プレシテック・ジャパン株式会社で取り扱う、さまざまな コンポーネント検査向けセンサーの性能についてをご紹介しております。 「色収差共焦点シングルポイントセンサー」や「光学ポイントセンサー」 などの各センサーの測定原理や対応センサー、使いやすさなどを掲載。 当社では、レーザー材料加工や光学測定技術のためのインテリジェントで 信頼性の高いソリューションを提供しております。 【掲載概要】 ■色収差共焦点シングルポイントセンサーでの測定 ■色収差ラインセンサーでの形状及び厚み測定検査 ■溶接の品質管理 ■指定エリアの厚み、平坦度、形状のエリアスキャン測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • センサ
  • 溶接機械

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【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品

【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品

コンシューマー向け！色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲載しています

当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。 光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、 厚み測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と 部品配置の測定などについてご紹介しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン） 　・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定 　・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状 　・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査 　・色収差ラインスキャンカメラによるキズ・欠陥寸法検査 　・溶接の品質管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器
  • センサ

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高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定可能。半導体ウエハ検査用途に。

当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える 超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、 専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。 平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを 高精度かつスピーディーに測定可能。 センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■高精度：Z方向分解能最小5nm ■高速スキャン：70,000ポイント/秒 ■インライン測定に好適 ■測定範囲内なら自由に部分測定可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • センサ
  • その他検査機器・装置

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3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ

3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ

非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数

『CHROCODILE CLS2』『CHROCODILE CLS2 PRO』は、最大4800万ポイント/秒(標準は、1680万ポイント/秒)で非接触高速３次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y1um, Z 0.025umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時間大幅短縮、ウエハエッジ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト（厚み）、平坦度、ＴＴＶなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしての使用にも適しています。 【特長】 　■広範囲エリアの３次元形状測定 　　　最大20mmのライン幅 　■広い許容角度 　　　反射面で±53° エッジや急斜面に対応可能 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット 　　（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • 三次元測定器

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プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可！

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、 ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。 幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、コーティング厚み測定、 ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状、 マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、 バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • センサ

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【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定

【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定

CHROMATIC LINE SENSOR （CLS）は、ラインに沿った色収差共焦点測定が可能です

本資料は、当社の光学式シングルポイントセンサによる表面粗さ測定 評価結果について記載しています。 使用した標準粗さ片、測定結果と結論や、校正成績書付きの 表面粗さサンプルなどを紹介。 様々なアプリケーションに対応した交換可能なプローブを備え 一体型セットアップとなった「CHROMATIC LINE SENSOR（CLS）」の特長や スペックなども掲載しております。 【掲載内容（抜粋）】 ■概要 ■使用した標準粗さ片 ■測定結果と結論 ■校正成績書付きの表面粗さサンプル-ドイツ本社での測定 ■参考：ラインセンサCHROCODILE CLS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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不透明体の非接触厚み測定 レーザフォトサーマルセンサ　導入事例有

不透明体の非接触厚み測定 レーザフォトサーマルセンサ　導入事例有

不透明体の厚み高精度測定なら、Enovasenseの レーザフォトサーマルセンサ。材料に依らず、最小10nmから厚み測定可能。

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 ■特長 　・非接触で、不透明体の厚み測定が可能。 　　破壊試験が不要に。 　・最小10nm～最大1mmまでの広範囲な測定範囲。 　・0.5~3%以下の高精度測定が可能。 　　精度が不足している方にお勧め。 　・母材に依らず様々な材料の組み合わせで測定可能。 ■アプリケーション 　自動車業界、航空業界、日用品、産業品、医療業界、半導体など多岐にわたる分野にて、 　コーティング厚み、金属メッキ厚み、塗装膜など様々なアプリケーションで使用されています。 ＊現在、Enovasense社は、ドイツの光学センサメーカーのPrecitecのグループ会社となっています。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 膜厚計

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CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高速サンプリング。加工中のモニタリング用途に最適。

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。 新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用できます。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。特に、ウエハグラインディング中に厚みモニタリングしたい場合には、Siウエハで200um~0.5umまで測定ができます。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、 厚みは、光学長で薄膜（数2um)～厚膜(1000um) 　　　　　　　Siで0.5~200umまで対応。 　■高分解能（サブミクロン 最小3nm @ 光学長） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • 膜厚計

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非接触小型光学式距離センサ【CHRocodile C/Mini】

非接触小型光学式距離センサ【CHRocodile C/Mini】

フィルムやコーティング、非接触の厚み測定を安価な距離センサーで。斜面にも強く、距離方向分解能20nmを実現！

当社プレシテック・ジャパンの光学式距離センサ/厚みセンサ『CHRocodile C / CHRocodile Mini』は、 測定レンジの範囲が広い非接触コンパクトセンサーです。 斜面にも強く、距離方向20nm～の高分解能でありながら、安価な約100万円～（税別）からご購入可能です。 【活躍シーン例】 ●装置内での製造品の高さ・距離測定による全数検査 ●ガラスやフィルム、グラファイトコーティングの厚みの管理による品質向上 ⇒製造装置メーカーや検査装置メーカー、インテグレータ様にてご採用いただいています。 【特徴】 ・高分解能と購入ハードルを抑えた価格帯を両立 ・フィルム、コーティングの厚みを非接触で測定 ・角度許容度最大+-45度で斜面にも強い ・距離方向分解能20nm～ ・提供するソフトウェア開発キットで自由にソフト作成可能 ・装置組み込みも可能 ・表面や形状に依存せず、粗面及び鏡面にも対応 ※製品詳細は［PDFダウンロード］から資料にてご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 距離関連測定器

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バイアル測定 アプリケーション資料

バイアル測定 アプリケーション資料

バイアルの形状、厚みの自動検査用途に最適 - 高速・高精度光センサ

色収差共焦点センサによるバイアル測定のアプリケーション資料です。 高速・高精度が特長のプレシテックの光センサで、厚み・形状検査の自動化を実現します。 シングルポイント、デュアルポイント、ラインセンサなどのラインナップがあります。 数nmからのZ分解能、最大70kHzの高速測定が可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 距離関連測定器

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色収差共焦点方式の光学シングルポイントセンサ

色収差共焦点方式の光学シングルポイントセンサ

厚み・形状測定の高精度・高速測定の組み込み光センサ

高精度、高速測定が特長のプレシテックの光学センサで、色収差共焦点方式のシングルポイントセンサです。 厚み・形状測定の時間短縮、全数検査での実績多数あり。 色収差共焦点方式のため、角度許容度の大きいプローブの使用も可能です。 廉価版センサラインナップもあり、約80万円～ご紹介可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 距離関連測定器

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