精密部品 ピンチャック
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
- 企業:技研精機株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能
「特注チャック」は、様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能です。 MJCはプロービング技術を得意とし成長発展してきました。 常に進化しつづける半導体デバイスやFPDデバイスに、いつでも確実にコンタクトし、変わらない信頼性の高い検査測定を提供する環境を築いてきたのです。 【特徴】 ○様々な測量物に合わせ、レイアウト、材質変更が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
目盛がついているため設定角度に簡単に設定可能 三次元測定機や定盤上での棒状ワークや円筒ワークの保持に最適の測定冶具
●水平方向に360°回転可能 45°垂直方向に傾斜可能 ●バーニア最小目盛:5分
目盛がついているため設定角度に簡単に設定可能 三次元測定機や定盤上での棒状ワークや円筒ワークの保持に最適の測定冶具
●水平方向に360°回転可能 45°垂直方向に傾斜可能 ●バーニア最小目盛:5分
最大荷重150Nの細いサンプルを掴むのに最適な小型軽量治具。
銅箔など細い形状のサンプルをはさむときや、狭いスペースでの測定に適しています。 <特徴> ■歯切りがしてあるため強固なクランプが可能です ■口幅3mm(SC-3) と8 mm(SC-8)の2種類から選択できます。
布、テープ、フィルム等に最適な引張用のチャック!
『CHFシリーズ』は、薄い物をつかむのに特化した形状のフィルム チャックです。 引張り用としての使用を推奨しており、布、テープ、フィルム、紙などの 薄い物に適合します。 他にも当社では、さまざまな測定器および関連製品を多数取り扱って おりますので、お気軽にご相談下さい。 【使用例】 ■引張り荷重の破断試験 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電線や光ファイバー、板状サンプルなどを掴みます。引張試験にご利用いただけます。
電線や光ファイバーなど変形して抜けやすいサンプルをつかむのに最適な引張試験用治具。 【特徴】 ■ワンタッチでサンプルを固定できるため、容易なセッティングが可能 ■クサビ機構により、引張ると自動的に締付け力が高まるため、測定を容易かつ正確に実現 ※焼き入れしたような硬いサンプル、表面が滑るサンプルには不向きです。対応サンプルの詳細はお問合せください。 ※KC-100はAmazon(下記リンク)からもご購入を頂けます。
導電性新素材ガラス状カーボン!発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100%ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性(固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]) ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
フィルム状の薄いサンプルをはさむのに適した、フォースゲージやスタンドに取付けて使用する引張用チャックです。
『FCシリーズ』は、サンプルに合わせてチャック部の 素材・クランプ方法を選択可能なフィルムチャックです。 特定のフォースゲージ、計測スタンド、接続ケーブルと 併用いただくことでJIS Z1711(1994)「ポリエチレンフィルム 製袋”8.4ヒートシール強さ試験”」に一部準拠した試験など 幅広い試験を行うことが可能です。 【特長】 -フィルム等の薄いサンプルをはさむのに適した引張用のチャック ・フィルム以外に、粘着テープ、磁気カードなど薄いサンプルの測定に利用可能 -幅広いラインナップをご用意 ・軽量モデル「FC-21」軽量のため、荷重の低いゲージへの取付けに好適 ・標準モデル「FC-20/40」最大500Nまで対応 ・片ウレタンタイプ「FC-21U/41U」極薄サンプルのチャック部滑りや切れを防止 ・レバー式タイプ「FC-21UQ」ワンタッチ操作が可能な片側ウレタンタイプ -試料幅、厚み、使い方に合わせ特注製作可能 ※詳しくはPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※FC-20、FC-21UQはAmazon(下記リンク)からもご購入を頂けます。
マイクロセントリック社製エアチャックは、超精密加工 特に2次加工のワーク把持具として最高の機能を発揮します。
弊社は40年以上以上の販売を生かし、実績に基づいたノウハウ、幅広い商品バリエーション、機能的な周辺装置を駆使してお客様の高精度加工をお手伝い致します。 NC旋盤や研削加工を始めとして、M/Cなどフライス加工や測定時の各種冶具としての用途など、幅広い範囲でご使用頂けます。 弊社ではお客様仕様の成形爪等のツーリング設計・製作も多数実績御座いますので、是非ご相談ください。 【特長】 1 . 高い精度 2 . 高い信頼性 3 . 幅広いバリエーション 4 . 高い機能性 5 . 着座検知・スルークーラント(エア)等のオプション対応 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。