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チャック(測定) - 企業1社の製品一覧

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精密部品 ピンチャック

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。

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