ピンチャック(測定) - 企業1社の製品一覧

精密部品　ピンチャック

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。

ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01～0.03mmと、非常に高い精度が求められています。

• 企業：技研精機株式会社
• 価格：応相談

• 加工受託