真空吸着ステージ・吸着プレート・吸着チャック (標準60種)
フィルム・ウエハ・薄板の反り矯正と固定に。3方式×標準60種から選べる
スルーホール・Vミゾ・多孔質(ポーラス)セラミックの3方式×標準60種類から選べる真空吸着ステージ・吸着プレート。フィルム・ウエハ・ガラス基板など薄板の反り矯正・平坦固定、検査・実装時のワーク固定に。耐熱は標準200℃・特注500℃まで対応し、ウェハチャック・フィルムチャック用途、装置組み込みにも使えます。サイズ・形状のカスタム製作は1台から。
- 企業:株式会社MSAファクトリー 本社、新横浜事業所
- 価格:応相談