フィルム・ウエハ・薄板の反り矯正と固定に。3方式×標準60種から選べる
スルーホール・Vミゾ・多孔質（ポーラス）セラミックの3方式×標準60種類から選べる真空吸着ステージ・吸着プレート。フィルム・ウエハ・ガラス基板など薄板の反り矯正・平坦固定、検査・実装時のワーク固定に。耐熱は標準200℃・特注500℃まで対応し、ウェハチャック・フィルムチャック用途、装置組み込みにも使えます。サイズ・形状のカスタム製作は1台から。
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企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
