貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など 極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：φ4"mm ○温度精度：±1.5% ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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納期
用途／実績例
ウエハホットチャック
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企業情報
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