低温から高温まで対応！電子デバイス、ウエハの温度試験用に最適です
「PJ-101型」は・既存の評価・試験装置にも増設可能、少量品、研究開発に最適なウエハホットチャック(加熱・冷却)です。 加熱源にヒータ、冷却源にペルチェ（空冷）を採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。AC100V電源で、冷却・加熱が可能です。 温度コントローラーは、専用タイプにより1台で冷却・加熱 対応です。チャッキング（吸着）パターンは、ワークに合わせたカスタマイズにも対応します。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：-30～+200℃ ○ワークサイズ：100×100mm ○プレート材質：アルミ（アルマイト、金メッキ） ○デジタル温度コントローラー：PCC-100PE ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
ウエハホットチャック(加熱・冷却)
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企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
