最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○最高温度300℃対応 ○小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート ○ウエハホットチャック・ホットステージ ○前工程、アセンブリ工程、評価・分析プロセスに ○既存ステージなどに増設可能です ○ウエハ（基板）サイズ30~50mm ○温度範囲 、メカインターフェース各種対応いたします ○OEM対応品 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え 【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：30×50mm ○温度精度：±1.5％ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
