貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101TIN」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：φ4"mm ○温度精度：±1.5% ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格情報
- 詳細はお問い合わせください
納期
用途／実績例
ウエハホットチャック
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
