小型ウエハチャック、高精度制御！！室温-200℃まで！
半導体ウエハの加熱プロセスに。 各種評価用テーブルとして、お手持ちに装置にインターフェースを合わせます。
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基本情報
◎小型ウエハチャック、高精度制御。（±1.0％） 更に高精度タイプについても相談応。 ◎低価格、薄型ウエハホットチャック ◎温度コントローラー（別売り）を使用し、幅広い温度設定が可能（室温―200℃）。 ◎カスタム仕様で各種追加機能。位置決めピン、ウエハサイズ切替レバーなど。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体ウエハの加熱プロセスに。また、各種評価用のテーブルとして、お手持ちの装置にインターフェースを合せます。
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企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
