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フィルム・ウエハ・薄板の反り矯正と固定に。3方式×標準60種から選べる
スルーホール・Vミゾ・多孔質（ポーラス）セラミックの3方式×標準60種類から選べる真空吸着ステージ・吸着プレート。フィルム・ウエハ・ガラス基板など薄板の反り矯正・平坦固定、検査・実装時のワーク固定に。耐熱は標準200℃・特注500℃まで対応し、ウェハチャック・フィルムチャック用途、装置組み込みにも使えます。サイズ・形状のカスタム製作は1台から。
高い技術力ですべての課題をクリア、新たな挑戦に向けて！導入事例のご紹介です
C社様は、従来の真空チャック製品では吸着面のエアー抜きの穴にフィルム 素材が引き込まれ、たわみが生じるため品質上の問題となっていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 “たわみのない部分吸着”“大面積対応可能”“発塵がない”“静電気が発生しない” “コストパフォーマンスが高い”すべての項目で高評価でした。 【事例概要】 ■導入先：C社様 ■用途：吸着 ■活用：ディスプレイ（OLED）のフィルム固定台として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。
マシニング・フライス・研磨機において非磁性材(アルミ・ステン・プラスチック等)薄物加工にご使用ください。
工場内のコンプレッサーからの圧縮空気を利用出来ますので、真空ポンプが不要です。 サブプレート使用により穴あけ加工が出来ます。 底面にキー溝が付いており、並行度・直角度が正確に出ます。 上下面研磨仕上げに便利です。
