吸着プレート吸着チャック - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

真空吸着ステージ・吸着プレート・吸着チャック （標準60種）

フィルム・ウエハ・薄板の反り矯正と固定に。3方式×標準60種から選べる

スルーホール・Vミゾ・多孔質（ポーラス）セラミックの3方式×標準60種類から選べる真空吸着ステージ・吸着プレート。フィルム・ウエハ・ガラス基板など薄板の反り矯正・平坦固定、検査・実装時のワーク固定に。耐熱は標準200℃・特注500℃まで対応し、ウェハチャック・フィルムチャック用途、装置組み込みにも使えます。サイズ・形状のカスタム製作は1台から。