静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
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把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を 提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。 ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と 設計技術により、好適な製品仕様を提案。 また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の 高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
半導体製造装置向け静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。導体~絶縁体基板 吸着可能
半導体製造装置内で運用する静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。また 導体~絶縁体基板まで幅広い材質が吸着できます。 ・Si 化合物半導体 サファイヤ 水晶 LT LN 半導体向け基板 導体から絶縁体まで吸着が可能です。 ・接着剤フリーの為 極低温領域-100℃でも運用が可能です。 ・弊社特有技術 ワークと静電チャック接触界面のみで保持力が働くため、裏面側の影響をうけません(裏面帯電等の影響なし）
低コスト、高性能、多用途、カスタマイズ可能な 静電チャックです！
静電チャックに関する開発力を基にしてコストを減らし、合理的な価格で高品質の静電チャックを販売しております。更に、顧客の要請がある場合は静電チャックのカストマイズも行っております。 サムスンディスプレイ、LGディスプレイ、BOE等の世界的な大手企業の工場に納品をした経験があり、今も持続的に取引を行っております。 静電チャックはディスプレイに限らず、色んな産業の工程に適用可能な装備部品です。どうか気軽くご連絡ください。
ファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズ
ファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズは、豊富なバリエーションと低コスト化の実現により、すでに国内外の多くの企業に導入されています。クリエイティブテクノロジーは韓国 ZEUS社の正規代理店として、日本のお客様に対しファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズをご提案してまいります。 初めて自動化・省人化をご検討する企業や工場に向けた、「静電チャックとロボットの一括提案」や、ロボット単体での販売をサポートいたします。 まずはお問い合わせフォームよりお気軽にご相談ください。
静電チャック×協働ロボット「DOBOT」
【無料お見積もり受付中・お試し操作体験が可能！】 弊社は協働ロボットグローバルブランド「DOBOT Robotics」の国内正規代理店です。DOBOTは、教育から産業、商業まで幅広い分野で活用されており、特に使いやすさ・安全性・コストパフォーマンスに優れた協働ロボットとして世界中で注目されています。ロボット単体はもちろん、弊社静電チャックや搬送ツールと組合わせたセットでの販売をおこなっております。株式会社クリエイティブテクノロジーでは、様々なワーク搬送に対して豊富な知識と取り扱い実績がございます。初めて自動化をご検討する場合も、ご要望にあわせたグリッパーのご紹介が可能です。
しわや傷発生がない！多孔質材のような穴開き品吸着も可能な静電吸着ツール
『ティンハンド』は、フィルムや箔材、紙をソフト吸着し、固定、 ハンドリングする自動機向け静電吸着ツールです。 大面積薄物を全面ソフト吸着するため、しわや傷発生がなく、 多孔質材のような穴開き品吸着も可能です。 また、対象物裏面電位は最少に抑えられ裏面へのごみ吸着はありません。 【特長】 ■大面積薄物を全面ソフト吸着 ■しわや傷発生がない ■多孔質材のような穴開き品吸着も可能 ■対象物裏面電位は最少に抑えられ裏面へのごみ吸着がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
