【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】チラーPCUシリーズ
アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開!用途に合わせ最適なチラーをお選びいただけます。
【エッチング、スパッタリングの冷却水温調】 基板冷却のプレートや真空チャンバー内の冷却水の温度と流量、吐出圧力を一定に保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1.PCU-NEシリーズ:ノンフロン冷媒を使用し、フロン排出抑制法の対象外 2.PCU-SLシリーズ:厳しい現場環境でも、安心してご使用いただける高い耐久性を実現 3.PCU-Rシリーズ:温度制御領域-10~80℃というワイドレンジと、±0.05℃の超高精度な水温管理を実現 【特長】 ■ドライブレコーダー、タイムカレンダー機能(PCU-NE) ■外部温度センサーを使用した温度制御(PCU-NE/R) ■大口径タンクで給水作業が楽に(PCU-NE) ■安心の冷却性能 ■Ethenetを標準搭載。幅広い通信ニーズに対応!
- 企業:株式会社アピステ
- 価格:応相談