【半導体製造向け】E2シリーズ
高速化を実現する新世代サーボドライバー
半導体製造業界では、製造プロセスの高速化が常に求められています。特に、ウエハの搬送や位置決めといった工程では、高い精度と速度が生産効率を大きく左右します。従来のサーボドライバーでは、速度応答性や位置決め精度に限界があり、高速化のボトルネックとなることがありました。E2シリーズは、3.2kHzの速度応答とナノ位置決め精度を実現するGTモデルをラインナップし、半導体製造における高速化と高精度な動作を両立します。 【活用シーン】 ・ウエハ搬送 ・高速位置決め ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・生産性の向上 ・歩留まりの改善 ・装置の高性能化
- 企業:ハイウィン株式会社
- 価格:応相談