更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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均一なコーティングを実現！塗布液の飛散・跳ね返りを抑制
電子部品業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの均一性が非常に重要です。特に、精密な電子部品においては、コーティングのムラや偏りは、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、均一な粒子径で塗布液を噴霧し、精密なコーティングを可能にします。塗布液の無駄を減らし、作業効率を向上させることで、電子部品製造における品質向上とコスト削減に貢献します。 【活用シーン】 ・フラットパネルへの塗布 ・自動車関連部品への塗布 ・電線への液体被膜 【導入の効果】 ・塗布の均一性向上 ・塗布液の無駄を削減 ・作業効率の向上
無加圧で微粒子を噴霧！成膜工程の品質と効率を向上！
半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細なパターン形成においては、塗布液の粒子径や塗布精度が製品の性能を大きく左右します。塗布ムラや異物の混入は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により微粒子を生成し、均一な塗布を実現します。加圧不要で、飛散や液体の跳ね返りを抑制し、塗布液の無駄を削減します。設備投資とランニングコストの削減にも貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・均一な膜厚の実現 ・塗布液の無駄を削減 ・歩留まり向上 ・設備投資とランニングコストの削減
部品駆動部への潤滑油の塗布・モーター部分へのグリース塗布、プレス作業工程での液剤塗布・散布など
■自動車製造分野での塗布・散布作業で活躍！ 潤滑油の粘性は、用途・目的によって様々です。 『アトマックスノズル』なら、低い粘度はもちろん、グリースのような粘性の液剤も塗布噴射が可能。 ディスペンスとは異なる塗布作業ができます。（※性質によりますので、詳細はお問い合わせ下さい。） ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】 ：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】 ：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】 ：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】 ：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。
無加圧で微粒子を噴霧！成膜工程の品質とコストを改善！
半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細な構造を持つ半導体デバイスにおいては、塗布液の粒子径や塗布の均一性が、製品の性能を大きく左右します。従来の塗布方法では、液体の飛散や無駄が多く、歩留まりの低下やコスト増につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・微細な粒子径による均一な成膜 ・薬液の無駄を削減し、コストを低減 ・塗布ムラの抑制による歩留まり向上
無加圧で微粒子を噴霧！塗装の仕上がりとコスト削減に貢献！
自動車業界では、ガスケットなどを挿入させる時に潤滑油を塗布する必要があります。加圧式ノズルですと歩留まりや、無駄に潤滑油を塗布してしますケースがあります。 特に飛散防止は潤滑油料の使用量削減、そして作業環境の改善に不可欠です。ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により潤滑油を微粒子化し、無加圧で噴霧することで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・パーツ挿入（ガスケットの挿入など） 【導入の効果】 ・潤滑油の飛散を抑制し、使用量を削減 ・均一な塗布形成により、塗布品質を向上 ・大掛かりな塗装ブースが不要になり、設備投資とランニングコストを削減
製品廃棄ロス削減！糸ゴムの結び目通過機構を備えたコームヘッド
『コームヘッド 結び目通過仕様(平ゴム用)』は糸ゴムの結び目を検知、方向制御し、結び目を通過させる事でホットメルト接着剤の塗布を継続させる事ができる糸ゴム接着用ノズルです。 糸ゴムの結び目が切れずに通過する為、製品ロスの削減、生産性の向上に貢献します。 また、最小限の塗布量で塗布できる為、さまざまな産業設備に使用されています。 【特長】 ■平ゴム用、2ピース構成、連続/間欠塗布 ■柔らかい風合いを実現、均一に美しくコーティング ■ダウンタイム削減、生産性向上 ■ホットメルトの使用量削減に貢献、環境保全に貢献 ■コスト利益有 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【用途/実績例】 ■おむつ ■ナプキン
精密コーティングを均一に！飛散・跳ね返りを抑制
医療機器業界では、製品の品質と安全性を確保するために、精密なコーティングが不可欠です。特に、微細な部品や複雑な形状の製品においては、コーティングの均一性、膜厚の正確な制御が求められます。不均一なコーティングは、製品の性能低下や耐久性の問題を引き起こす可能性があります。ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、ピエゾの振動を利用して液体を霧化し、均一なコーティングを実現します。無加圧のため、飛散や跳ね返りを抑え、塗布液の無駄を削減します。 【活用シーン】 ・ステントのコーティング ・精密医療機器部品へのコーティング ・薬液の均一塗布 【導入の効果】 ・均一なコーティングによる製品品質の向上 ・塗布液の無駄を削減し、コスト削減 ・作業環境の改善
無加圧で微粒子を噴霧！電子部品のコーティングに最適！
電子部品業界では、製品の品質と信頼性を高めるために、コーティングの均一性と精密さが求められます。特に、小型化が進む電子部品においては、コーティング剤の無駄をなくし、正確に塗布することが重要です。不適切なコーティングは、部品の性能劣化や故障につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、微細な粒子を均一に噴霧することで、高品質なコーティングを実現し、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の表面保護コーティング ・基板への絶縁膜形成 ・コネクタへの防湿・防錆処理 ・小型部品への精密塗布 【導入の効果】 ・塗布量の削減によるコストダウン ・均一なコーティングによる品質向上 ・微細な部品への対応 ・設備投資とランニングコストの削減
少量の液を精密に微粒化噴霧でき、厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲を幅広く対応
■【半導体製造分野：精密コーティング用途でも活躍！】 少量の液を精密に微粒化噴霧できるため、 半導体や電子部品製造工程における「スプレイ塗布による薄膜形成」が可能。 スプレイコーティングは制御が簡単で、機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。 厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】 ：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】 ：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】 ：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】 ：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。
無加圧噴霧で医薬品の品質を保持！微粒子噴霧で無駄を削減！
医薬品業界では、有効成分の均一な分散と、無駄のない塗布が求められます。 特に、高価な薬剤やデリケートな成分を扱う場合、噴霧の精度と効率が製品の品質とコストに大きく影響します。 不均一な噴霧は、効果のばらつきや品質劣化を引き起こす可能性があります。 ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により微細な粒子を生成し、均一な噴霧を実現します。 加圧不要で、飛散や跳ね返りを抑え、薬剤の無駄を削減します。 【活用シーン】 ・医薬品のコーティング ・吸入薬の調合 ・細胞培養 ・試薬の噴霧 【導入の効果】 ・薬剤の均一な分散 ・薬剤使用量の削減 ・品質の向上 ・コスト削減
電子機器の冷却に！均一な液体の散布とジェット圧。
電子機器業界では、製品の性能を維持するために、冷却が重要な課題です。特に、高密度実装が進む中で、熱対策は製品寿命を左右する重要な要素となっています。冷却性能が低いと、部品の故障や性能劣化につながる可能性があります。レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布と強力なジェット圧により、電子機器の効率的な冷却を実現します。 【活用シーン】 ・電子基板の冷却 ・半導体製造工程での冷却 ・各種電子部品の冷却 ・エッチング 【導入の効果】 ・均一な冷却による製品寿命の向上 ・高い冷却効率による性能維持 ・幅広いラインナップによる多様なニーズへの対応
効率良く微粒化をおこない、少量の噴射量で多くの粒子を発生させ、空間の隅々まで液体の効果を到達
■自動車製造分野：帯電防止液剤の塗布作業で活躍！ 『アトマックスノズル』は、効率良く微粒化可能な機構のため、 少量の噴射量で多くの粒子を発生させ、空間の隅々まで液体の効果を到達させることができます。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】 ：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】 ：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】 ：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】 ：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。
食品製造現場の洗浄効率を向上！均一な液体の散布と強力なジェット圧。
食品業界の洗浄工程では、衛生管理が非常に重要です。食品に直接触れる設備や器具の洗浄において、洗浄液を均一に、かつ効率的に散布することが求められます。特に、食品残渣の除去や、殺菌効果を高めるためには、適切な圧力と散布パターンが不可欠です。レヒラーのフラットジェットスプレーノズルは、均一な液体の散布と強力なジェット圧により、これらの課題に対応します。これにより、洗浄時間の短縮、洗浄剤の使用量削減、そして衛生レベルの向上に貢献します。 【活用シーン】 ・食品製造ラインのコンベア洗浄 ・食品加工設備の洗浄 ・タンクや容器の洗浄 ・床面の洗浄 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄剤使用量の削減 ・衛生レベルの向上 ・作業効率の改善
アトマックスノズルは小型形状で固定取付けも容易。省スペースで設置可能！
■【医療機器・製品の製造工程：複雑形状部品へのコーティングでも活躍！】 『アトマックスノズル』は、小型形状で固定取付けも容易な構造のため、狭いスペースでの設置が可能。 塗布対象物が複雑な形状な部品でも、近傍で噴霧作業ができます。 一例として、筒状成型部品等の少量液剤の塗布工程でも採用実績があります。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント ・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。 ・【高性能・高機能】 ：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。 ・【小型・軽量】 ：取り付け場所や用途を選びません。 ・【優れたメンテナンス性】 ：構成部品は2点のみ。フィルターなし。 ・【優れた省エネ性能】 ：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。
標準品としての取扱いが少ない、穴径200μm以下のノズル。先端部はセラミック製なので 溶剤での洗浄にも対応しています。
当社のディスペンサーノズルは、 セラミック製の先端部を搭載した卓上ディスペンサー向け 塗布ノズルです。 【特長】 ■ 卓上ディスペンサー用の標準ノズルとして取り扱いの少ない、 穴径200μm以下のノズル製作が可能です。 （最小穴径 5μmから対応） ■ 標準の金属ホルダは二条ネジ仕様で、 市販のディスペンサー･シリンジに そのまま取付可能です。 ■ ノズル先端はセラミック製なので、 溶剤での洗浄や 熱処理でのクリーニングにも対応。 （洗浄方法に合わせて 材料を選定致します。） ■ ノズル内面はテーパー状の断面となっており、 金型を用いた射出成形で製作するため 平滑性が高く、 流動性・塗布性を向上させます。 ノズル先端の内径･外径は ご指定の寸法で製作可能です。 また、金属ホルダ部の特注仕様も承っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品洗浄の効率化と品質向上に貢献！
食品業界の洗浄工程では、衛生管理と効率的な作業が求められます。食材や製造ラインの洗浄において、ムラのない均一な液体の散布は、洗浄効果を高め、異物混入のリスクを低減するために重要です。レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（低圧タイプ）は、均一なスプレーパターンを実現し、食品の品質保持と安全性の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・食品製造ラインの洗浄 ・食材の予備洗浄 ・設備の洗浄 ・コンベヤーの潤滑水塗布 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗剤使用量の削減 ・衛生レベルの向上
極小流量の微細噴霧が可能で、離型剤塗布に最適なスプレーノズルです
低粘度～高粘度液体まで、空気と混合させることにより微粒化噴霧することが可能なノズルです。 噴霧流量は数ｍL/分～数百ｍL/分まで対応できるラインナップを揃えています。 構造がシンプルで、液通路径を大きく設計しており、詰まり対策にも有効な２流体ノズルです。 非常に安定したスプレーができることから、離型剤の微細噴霧に適しています。 【特長】 ・低粘度～高粘度液体まで、粒化噴霧することが可能です。 ・極微小流量から豊富なラインナップを揃えています。 ・液通路径が大きく、詰まり対策に有効です。 ・シンプルな構造で、分解・メンテナンスも容易に行えます。
スプレードライヤ対応の二流体ノズル「SETOJet」シリーズは、スラリー液を迅速に微粒化させ蒸発・乾燥時間の短縮に貢献します。
気液をノズル外部で効率的に混合する外部混合方式を採用。平均粒子径60μm以下の微霧を生成する充円錐（フルコーン）スプレーノズルです。目詰まりに強い設計により、安定した噴霧性能を維持でき、造粒や噴霧乾燥プロセスにおいて高品質な製品を安定的に生産可能です。 ［特長］ 目詰まりに強い設計：長時間の運転でも安定した性能を維持し、生産効率を向上。 均一な微霧化性能：平均粒子径60μm以下の微霧を生成し、高精度な造粒を可能に。 外部混合方式採用：気液をノズル外部で効率的に混合し、安定した噴霧性能を実現。 ※その他のスプレーノズルも豊富にラインアップ。お見積り、特注対応など、ノズルに関するお悩みはぜひお気軽にお問合せください。電話・オンライン相談も随時受付中。
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました！
概要 目的: 液体を均一かつ精密な帯状（フラット）に分布させるよう設計された工業用スプレーノズルで、洗浄、冷却、加湿、表面処理、薬液塗布など幅広い用途に使われる。 噴霧性能・流体特性 均一なスプレー分布: ノズル内部の流路設計により、放物線やムラの少ない等厚のスプレーパターンを実現し、再現性の高い処理が可能。 • 一定のスプレー角度: 製品によって最大で約60°までのスプレー角があり、強い衝撃力が必要な用途にも対応する。 • 低圧・高圧のバリエーション: 低圧タイプは少流量での均一分布や加湿・軽洗浄に適し、高圧タイプは強力な洗浄や冷却に適する。 選定ポイント • 必要なスプレー角と到達性: 処理対象と設置距離から適切なスプレー角と噴射強度（衝撃力）を決める。 • 流量・圧力条件: 設備の供給圧力と目標流量を照らし合わせ、低圧型か高圧型かを選ぶ。 • 材質と耐薬品性: 使用する液体の化学特性に合わせて材質（SUS316L, POM, PP など）を選ぶ。 • メンテ性と取り付け性: 清掃頻度や交換のしやすさ、取付け角度の調整機能（ボールジョイントや調整機構の有無）も確認する。
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました！
概要 目的: 液体を均一かつ精密な帯状（フラット）に分布させるよう設計された工業用スプレーノズルで、洗浄、冷却、加湿、表面処理、薬液塗布など幅広い用途に使われる。 噴霧性能・流体特性 均一なスプレー分布: ノズル内部の流路設計により、放物線やムラの少ない等厚のスプレーパターンを実現し、再現性の高い処理が可能。 • 一定のスプレー角度: 製品によって最大で約60°までのスプレー角があり、強い衝撃力が必要な用途にも対応する。 • 低圧・高圧のバリエーション: 低圧タイプは少流量での均一分布や加湿・軽洗浄に適し、高圧タイプは強力な洗浄や冷却に適する。 選定ポイント • 必要なスプレー角と到達性: 処理対象と設置距離から適切なスプレー角と噴射強度（衝撃力）を決める。 • 流量・圧力条件: 設備の供給圧力と目標流量を照らし合わせ、低圧型か高圧型かを選ぶ。 • 材質と耐薬品性: 使用する液体の化学特性に合わせて材質（SUS316L, POM, PP など）を選ぶ。 • メンテ性と取り付け性: 清掃頻度や交換のしやすさ、取付け角度の調整機能（ボールジョイントや調整機構の有無）も確認する。
精密洗浄に適した二流体ノズル、ノズル使用数を最適化する一流体ノズル、ムラのないスリットノズルでコストカット・品質向上を実現。
「VVP」シリーズは山形にスプレーする一流体扇形ノズルで、複数配列時に最も均等な流量分布になる設計です。 「INVV」シリーズも同じく山形の扇形ノズルで、ノズルのチップ部をワンタッチで本体から着脱でき、ノズルを取り付けたまま摩耗したチップが交換でき、メンテナンス時間を短縮するノズルです。 「INJJX」シリーズはワンタッチ形の充円錐ノズルで、円形に均等スプレーし単体使用に適しています。 「VVEA」シリーズは平均粒子径20~400μmの霧をスプレーする二流体扇形ノズルです。 強打力かつ薄くシャープな厚みで、対象細部まで浸透し精密洗浄を行います。 「INVVEA」シリーズはそのワンタッチ形ヘッダーで、交換時の時間を短縮します。 「SLNH-H」シリーズは一流体スリットノズルで、液幕は薄く均等分布し節水・薬液コスト削減に寄与します。 「PSN」シリーズは二流体スリットノズルで、高打力でムラなく均一にスプレーします。 ※その他のスプレーノズルも豊富にラインアップ。お見積り、特注対応など、ノズルに関するお悩みはぜひお気軽にお問合せください。電話・オンライン相談も随時受付中。
食品製造における衛生管理を最適化するタンク洗浄ノズルの知識を習得。
食品製造業界では、製品の品質と安全性を確保するために、タンクの徹底的な洗浄が不可欠です。特に、食品残渣や細菌の繁殖を防ぐためには、適切な洗浄方法とノズルの選定が重要となります。不適切な洗浄は、製品の汚染や品質劣化につながる可能性があります。本ウェビナーでは、タンク洗浄ノズルの種類と特徴を理解し、食品製造における衛生管理の課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・食品製造工場のタンク洗浄 ・衛生管理担当者 ・洗浄方法の見直し 【導入の効果】 ・洗浄効率の向上 ・製品の品質と安全性の向上 ・コスト削減
≪Lechler≫スプレー角度が鋭角な強力噴射フラット型スプレーノズル
概要 目的: 液体を均一かつ精密な帯状（フラット）に分布させるよう設計された工業用スプレーノズルで、洗浄、冷却、加湿、表面処理、薬液塗布など幅広い用途に使われる。 噴霧性能・流体特性 均一なスプレー分布: ノズル内部の流路設計により、放物線やムラの少ない等厚のスプレーパターンを実現し、再現性の高い処理が可能。 • 一定のスプレー角度: 製品によって最大で約60°までのスプレー角があり、強い衝撃力が必要な用途にも対応する。 • 低圧・高圧のバリエーション: 低圧タイプは少流量での均一分布や加湿・軽洗浄に適し、高圧タイプは強力な洗浄や冷却に適する。 選定ポイント • 必要なスプレー角と到達性: 処理対象と設置距離から適切なスプレー角と噴射強度（衝撃力）を決める。 • 流量・圧力条件: 設備の供給圧力と目標流量を照らし合わせ、低圧型か高圧型かを選ぶ。 • 材質と耐薬品性: 使用する液体の化学特性に合わせて材質（SUS316L, POM, PP など）を選ぶ。 • メンテ性と取り付け性: 清掃頻度や交換のしやすさ、取付け角度の調整機能（ボールジョイントや調整機構の有無）も確認する。
ベストセラーレヒラー社製エアーノズル FL-600Eの姉妹品 超大型ラウンドタイプ
レヒラー社製マルチチャンネルジェット（エアーノズル） 吹き出すエアーが層流のため、強力な衝撃力のみならず、騒音レベルを抑えることが可能となりました。 また、層流にすることで、使用する空気消費量も抑えることができます。 即ち、省エネにつながる商品です。
「BIM/AE/SETOV」シリーズはバンバリミキサー周辺の防爆や排気の臭気抑制、離型剤塗布後のシート冷却効果向上に寄与します。
ゴム練り（精錬）工程での工場内の防爆や引火防止の加湿システム、夏場に起こるゴムシート冷却不足による不具合解消に向く二流体スプレーノズルです。 「AE」シリーズは加湿システムで、スポットでの加湿に加え、広域の加湿が必要なときに活躍します。 局地的、また限られた場所で加湿が必要なときは「SETOV」シリーズや「BIM」シリーズもおすすめで、コストを抑えつつ加湿することが可能です。 「SETOV」シリーズは特に目詰まりが懸念されるときに向くスプレーノズルです。 「BIMシリーズは、加湿のほか排気口周辺でスプレーすることで、溶剤などによる臭いを抑制し、周辺への環境対策を図ることもできます。 また「BIM」シリーズは、ゴムシートの冷却時にはシートに直接スプレーを当てることで、ゴム表面の温度を約10℃低下させることができます（ご利用環境によります）。微細な霧により、離型剤を過剰に取り除くことなく効率的に冷却できます。 ※その他のスプレーノズルも豊富にラインアップ。お見積り、特注対応など、ノズルに関するお悩みはぜひお気軽にお問合せください。電話・オンライン相談も随時受付中。
食品製造における異物混入リスクを低減。省エネと静音性を両立。
食品業界では、製品の安全性を確保するため、製造工程における異物混入の防止が不可欠です。異物混入は、製品の品質低下や消費者の健康被害につながる可能性があります。特に、食品製造ラインでは、原材料や製造過程で混入する異物を効率的に除去することが求められます。レヒラー社製マルチチャンネルジェット（エアーノズル）FL-600Eは、層流による強力な衝撃力で異物を確実に除去し、食品の安全性を高めます。 【活用シーン】 ・食品製造ラインでの異物除去 ・食品包装前の異物除去 ・食品加工後の異物除去 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減 ・製品の品質向上 ・消費者の信頼獲得
均一な冷却を実現！電子機器の温度管理に貢献。
電子機器業界では製品の性能維持と長寿命化のために効果的なエッチング、冷却など不可欠です 特に高密度実装が進む現代の電子機器においては、局所的な過熱が性能劣化や故障の原因となるため、精密なエッチング、冷却技術が求められます。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは、均一な液体の散布により、電子機器の冷却効率を最適化し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 1. ウェハー洗浄（純水・薬液スプレー） 有機物・金属汚染の洗浄 スプレー角度を最適化して均一洗浄 2. リンス工程（純水置換） 薬液残渣を均一に洗い流す ウェットプロセスの後工程で必須 3. 現像・エッチング工程の薬液スプレー 現像液・エッチング液を均一に供給 過剰現像やエッチングムラを防止 4. 冷却（ウェハー・基板・装置部品） 高密度実装基板やウェハーの冷却 均一な液膜で熱ムラを抑制 5. パーティクル除去（高圧洗浄） フラットノズルで微粒子を除去 ウェハー・FPD・ガラス基板の精密洗浄 【導入の効果】 ・均一な冷却による製品寿命の延長 ・過熱による性能劣化の防止 ・製造プロセスの安定化
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました！
概要 目的: 液体を均一かつ精密な帯状（フラット）に分布させるよう設計された工業用スプレーノズルで、洗浄、冷却、加湿、表面処理、薬液塗布など幅広い用途に使われる。 噴霧性能・流体特性 均一なスプレー分布: ノズル内部の流路設計により、放物線やムラの少ない等厚のスプレーパターンを実現し、再現性の高い処理が可能。 • 一定のスプレー角度: 製品によって最大で約60°までのスプレー角があり、強い衝撃力が必要な用途にも対応する。 • 低圧・高圧のバリエーション: 低圧タイプは少流量での均一分布や加湿・軽洗浄に適し、高圧タイプは強力な洗浄や冷却に適する。 選定ポイント • 必要なスプレー角と到達性: 処理対象と設置距離から適切なスプレー角と噴射強度（衝撃力）を決める。 • 流量・圧力条件: 設備の供給圧力と目標流量を照らし合わせ、低圧型か高圧型かを選ぶ。 • 材質と耐薬品性: 使用する液体の化学特性に合わせて材質（SUS316L, POM, PP など）を選ぶ。 • メンテ性と取り付け性: 清掃頻度や交換のしやすさ、取付け角度の調整機能（ボールジョイントや調整機構の有無）も確認する。
