【電子機器向け】レヒラー社製フラットジェットノズル
均一な冷却を実現！電子機器の温度管理に貢献。
電子機器業界では製品の性能維持と長寿命化のために効果的なエッチング、冷却など不可欠です 特に高密度実装が進む現代の電子機器においては、局所的な過熱が性能劣化や故障の原因となるため、精密なエッチング、冷却技術が求められます。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは、均一な液体の散布により、電子機器の冷却効率を最適化し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 1. ウェハー洗浄（純水・薬液スプレー） 有機物・金属汚染の洗浄 スプレー角度を最適化して均一洗浄 2. リンス工程（純水置換） 薬液残渣を均一に洗い流す ウェットプロセスの後工程で必須 3. 現像・エッチング工程の薬液スプレー 現像液・エッチング液を均一に供給 過剰現像やエッチングムラを防止 4. 冷却（ウェハー・基板・装置部品） 高密度実装基板やウェハーの冷却 均一な液膜で熱ムラを抑制 5. パーティクル除去（高圧洗浄） フラットノズルで微粒子を除去 ウェハー・FPD・ガラス基板の精密洗浄 【導入の効果】 ・均一な冷却による製品寿命の延長 ・過熱による性能劣化の防止 ・製造プロセスの安定化
- 企業：ティックコーポレーション株式会社 本社
- 価格：応相談
