更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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取付、保守管理が簡単！自然の暖かさをお届けする壁掛式電気暖房器
『DP型・DPS型シリーズ』は、輻射と自然対流による壁掛式電気暖房器です。 温度を低くおさえた安心設計で、電装部は電源スイッチ、表示灯、室温調節用 サーモスタット等をコンパクトに内蔵。 壁面に付属の取付金具を設置し、その上に当製品を引掛け電気配線をするだけで、 殆ど保守管理を要しません。 腐食や錆の発生し易い雰囲気でお使いいただく場合は、ステンレス製パネルの製品 「DP-AU型・DPS-AU型」を用意しております。 【特長】 ■安全で清潔 ■経済的 ■長寿命 ■シンプルで機能的デザイン ■取付、保守管理が簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オンリーワンの省エネ液体加熱用小型ヒーターです！
『エコンバスター』は、簡単に液体を加熱できる電気ヒーターの代替として、業務用及び産業用分野の各種用途に対応できる燃焼式小型ヒーターを東京ガス(株)と共同で開発いたしました。 メタルニット製のガスバーナーとそれを覆うステンレス製の筒で構成され、内筒と外筒の間に設置した伝熱フィンを燃焼ガスが通ることで、壁面からの伝熱により周囲の液体を加熱します。 【特徴】 ■圧倒的な高効率：熱効率90%以上 ■快適環境：放熱の大幅低減 ■環境保護：CO2排出量大幅削減 →電気デマンド削減や蒸気レスにより、大幅エネルギーコストカット！ ■コンパクト：自由度の大きい設計 【採用例】 産業用加温槽・食品ライン・洗浄機用温水等各種加温 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
創業当初からの実績と信頼性の高い差し込みヒーター【自社設計をされるお客様向け】
『工業用差し込み式ヒーター』は、発生したすべての熱エネルギーを直接、加熱対象の媒体に伝導するため、効率的に液体を熱することができる製品です。 オプションで、サーモスタット（温度調節式、固定式のいずれか）を取り付けることができます。 油圧式機器の作動液やその他の液体を加熱することで、ゲル化やスラッジの発生を防止できます。 すべての製品はCSA-C/US認証を受けています。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電力全面自由化に伴う融雪用電力契約に対応！無公害で多様な場所に布設可能
益々深刻となる高齢化社会を目の前に雪国では"雪かき"の労働力確保が 難しくなっており、雪捨て場の確保も大きな問題です。 こうした厳しい雪国の生活を快適に過ごすために『3相ロードヒータ』を ご提案。 簡単で施工時間が短く、維持管理が極めて容易となっております。 【特長】 ■維持管理が極めて容易 ■簡単で施工時間が短い ■無公害で多様な場所に布設可能 ■接続部を工場加工するから安心 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
冬のトラブルを未然に防止！高い安全性と省エネ性を実現した排水管凍結防止ヒーター
「排水路ヒーター」は、無落雪屋根の樋やルーフドレーンの排水管凍結を強力に防止するソリューションです。 最大の特徴は「自己温度制御型」であること。周囲の温度に合わせて発熱量を自動調整するため、無駄な電力消費を抑えた省エネ運用が可能です。 また、重ね巻き施工にも対応しており、現場の状況に応じた柔軟な設置が可能です。 さらに、通電状態が一目でわかるサーモスタット（電源・通電ランプ付）を標準装備。視認性が高く、管理の手間を軽減します。 電気用品安全法適合品として、高い信頼性をお約束します。
プロテクトICオートは温度を制御するためのサーモスタットと、ヒーターが一体になった観賞魚用保温器具です。
当社で運営する会員限定の卸売(仕入れ)サイト「Kenko卸.com」では、 「ニッソー プロテクトＩCオート R-300W NHA-108」を取り扱っております。 サーモスタット+ヒーター一体型（温度センサー内蔵） 配線スッキリ！簡単セッティング 高精度（日本製）温度センサー採用 水温コントロール範囲15～35℃（±1℃） アルミカバーの安心設計－溶けたり、有毒ガスを発生させない 適合水量：約150L 適合水槽：幅90cm以下の水槽（90x45x36cm以下）など、幅75cm以下の水槽（75x45x45cm以下）などに -------------- 【関連ワード】 保温器具 --------------
本製品は、人を感知した瞬間に点灯し、快適な暖かさを提供。
工場や施設の生産性向上とエネルギーコスト削減を両立し効率的な運用を実現します。 さらに、軽量設計により設置が簡単で、導入の負担を軽減します。 省エネ性能を備えた頼れるパートナーとして、快適な職場環境の実現に貢献します。
スペースをとらない薄型設計
■特長 ●赤外線と温風のWの暖かさ 赤外線放射熱と温風の効果で遠くまで暖かさを運びます。下方5度から上方90度まで手動で首振りができます。
各種盤内の結露防止用、湿気防止用に！軽く、柔らかくローコストな面状ヒーター
『面状ヒーター』は、シリコンゴムシートの間にニッケル合金抵抗体をパターン化し配した面状発熱体です。 外層はガラスクロスで充填補強されており、機械的強度にすぐれています。 表面からの高効率の遠赤外線が放射され、高分子材料の遠赤外線加熱にも適しています。 従来のセラミックス遠赤外線放射体に比べ、軽く、柔らかくローコストです。 【特長(シリコンラバーヒーター)】 ■用途に応じて形状、パターンを自由に設計、製作 ■曲面、円筒など被加熱面にフィット ■すぐれた熱応答性、すみやかな昇温性を有する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本体圧力、燃料、出力、効率等の違いで様々な製品をラインアップしております
当カタログは、昭和鉄工の取り扱う『ボイラー／温水ヒーター』について まとめてご紹介しています。 潜熱回収で超高効率105％を達成したフラッグシップモデルである 潜熱回収温水ヒーター「リコス(RECOS)」をはじめ、高い耐久性で長寿命を 実現した鋳鉄製真空式温水ヒーター「スリーエス」や、省スペース設計が 特長の「SKSシリーズ」などを各種掲載。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品(一部)】 ■潜熱回収温水ヒーター リコス(RECOS) ■鋼板製真空式温水ヒーター エルゴン(FT) ■鋼板製無圧式温水ヒーター ネオス(NEOS) ■鋼板製無圧式温水ヒーター ラウンドネオス(NEOS-R) ■鋼板製無圧式温水ヒーター 蓄熱ネオス(NEOS-V) など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
無圧式の新たな高効率スタンダード！多様な燃料で効率91～93％を達成する温水ヒーター
『エトナ』は、効率＆環境性能に加えて、設置スペースも大幅削減する 無圧式ラウンドタイプの温水ヒーターです。 新開発の多機能コントローラーをビルトインした新しいフロントスタイル。 ガス焚タイプは新開発メタルニットバーナーによって低NOx化・低騒音化を 実現しています。 全サイズ3位置制御又は比例制御採用で部分負荷の効率が向上しているほか、 無圧式のため資格や検査の必要がなく、誰でも簡単・安全に運転が可能です。 【特長】 ■設置スペースの大幅削減を実現する新たなラウンド缶体設計 ■全サイズ3位置制御又は比例制御採用で部分負荷の効率向上 ■無圧式でINVによる出湯温度制御が可能（オプション） ■低騒音化を実現するバーナーカバー（油焚オプション） ■資格や検査の必要がなく、誰でも簡単・安全に運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「ヨシオカ」のカートリッジヒーターは、高品質・高い絶縁性・長寿命が最大の特長です。サイズと在庫を豊富に取り揃え、即納できます。
●高温空焚耐久テストで、表面温度800℃において長時間の連続使用に耐えるよう設計されたカートリッジヒーターです。 ●高温時にも高い絶縁性を発揮するカートリッジヒーターです。 ●発熱線が外巻方式のため、放熱性に優れ、しかも長寿命で安心して使用できるカートリッジヒーターです。 ●「ヨシオカのヒーターは長持ちする」とのユーザー様からのお声をよく頂戴します。 ●常に基本に忠実であること、研究を怠らないことが、私たちの手がける工業用ヒーターへの姿勢です。 ●工業用ヒーター専門、優れた耐久性と高い熱伝導性・電気的絶縁性の高品質性能がヨシオカヒーターのヒーティング・テクノロジー。
容器にセットするだけで、冷水が温水に！30〜100℃まで自由に設定可能で、IC制御で空焚きの心配も不要なヒーター。
『SCH-900SC/900C』は、強靭で腐食に強いチタン/ステンレスカートリッジ ヒーターを使用しているICコントロールヒーターです。 空焚き記憶回路により、一定時間の空焚きでヒーターへの通電を止め、 万一の空焚きによる火災などを未然に防止。 また、簡単なリセット操作で機能が復帰します。 【よく使われている用途】 ・接着剤や塗料を温めて柔らかくする ・清掃業の洗剤を温める その他、液体を簡単に温める作業にピッタリの製品です。 【特長】 ■腐食に強いチタン(SCH-900C)/ステンレス(SCH-900SC) カートリッジヒーター使用 ■「復帰型2重安全空焚き防止機能」付 ■安全回路付ICオートヒーター、正確に温度コントロール ■ヒーターパイプが直接容器に当たらない保護ラバー付 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
LiDAR、ミリ波レーダー、カメラ、インフラ設備の着雪、着霜、防曇対策に！透明かつ大判の面状発熱体(フィルムヒーター)も開発中
当社の粘着シート化技術と、極細線を面状に配線する技術を融合させることで、新たな面状発熱体を開発しました。 本技術は各種フィルムやテキスタイル、不織布など基材として選択可能です。粘着性を付与しているため、さまざまな場所や部位に簡単にヒーター機能を付与することができます。 車載センサー向けの製品は、LiDARの950 nmや1550 nmの波長域に対応し、ミリ波レーダーの79GHz帯でも減衰しないヒーターを提案可能です。 【特徴】 ■低抵抗値と高透過率の両立が可能 ■曲面追従性に優れ、真空成形が可能 ■破壊時に電界集中が発生しにくい ■自由度の高いヒーター設計が可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
被加熱物の形状に合わせ、様々な形状が製作可能。 1枚からでも製作致します！
・ヒーター厚はわずか1.5mmなので、熱応答性に優れています。 ※シートを積層する事により厚みの調整も可能です。 ・シリコーンラバーの柔軟性をいかし、被加熱物のどんな形状にも完全に フィット可能です。 ・低温度から200℃まで使用可能。 ・低電圧から100V・200V・240Vなど、各種電圧設計に対応可能。 ・シリコーンラバーヒーターの材料はUL規格ファイルNo.E54153を使用。 ・標準タイプはUL-94HB対応品ですが、より難燃グレードの高い UL-94-V0対応品もご用意しております。
プラグヒーター、シーズヒーターなど各種ヒーターを展開。関連データ付き資料を進呈中
当社は、電熱技術のスペシャリストとしてプラグヒーターやシーズヒーター、 アルミ鋳込みヒーターなど設計・製造を手掛けております。 幅広いラインアップの中から、液体・気体・固体など 被加熱物に適したヒーターの選択が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎プラグヒーター ■直接液体の中に投入して使用でき、水加熱、薬液加熱、油加熱等が容易 ■タンクに取り付けたネジ部分に差し込むだけで使用可能 ◎シーズヒーター ■液体や気体などの被加熱物に直接触れる構造で加熱が可能 ■ヒーター長：6000mm（エレメントストレート時の最大長） ◎フランジヒーター ■被加熱物が流れる管の中に直接、有効発熱部が挿入できる構造 ■タンクやパイプ内の圧力や規格の範囲で大容量の電気容量を確保可能 ◎サーキュレーションヒーター ■配管の途中に設置して効率よく安全に加熱できる構造 ■使用する用途によっては圧力容器規格に該当するものも製作可能 ★現在、ヒーターに関連したデータ付き資料を配布中。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
複数のマットを1電源で連結して施工することも可能！後付けなので施工しやすい！。
『ソーヒーター オンルーフ』は、屋根や笠木に直接敷設する 開放型ルーフヒーターです。 複数のマットを1電源で連結して施工することも可能。ゴムと発熱体を 一体高圧プレス成型してますので絶縁安全性に優れています。 また、耐候性良好なゴムですので、直射日光に当たる屋根・屋上でも 耐久性に優れています。 【特長】 ■耐候性・耐熱性・耐薬品性 ■絶縁安全性に優れる ■後付けなので施工しやすい ■直射日光に当る屋根・屋上でも耐久性に優れている ■複数のマットを1電源で連結して施工することも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安定した熱伝導が可能！金型・熱板加熱用途などに使用する棒状のヒーターをご紹介
『標準型カートリッジヒーター』は、スパイラル形状の発熱体をセラミック内に 挿入し、シースパイプ内にマグネシア粉末を充填後、口元を専用セラミックで 封着した棒状のヒーターです。 表面研磨することで対象穴内に安定して熱伝導を行うとともに、マグネシアによる 高い絶縁性能と耐久性を誇ります。 またステンレスシースパイプの使用により、高耐久・耐腐食性に優れ、追加で フランジを取り付けることで、抜け止め・固定が可能となります。 【特長】 ■精度の良い表面研磨により、安定した熱伝導が可能 ■内部にマグネシア粉末を充填・封入することで、高い絶縁能力を有する ■用途に応じて、ヒーター長さ・ヒーター容量（ワット）の任意設計が可能 ■ステンレスシースパイプの使用により、高耐久・耐腐食性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
外にいながらも心地良い暖かさを実現。シンプルなデザインで、空間を邪魔せずその存在を主張しません。10点超の施工事例写真集も進呈中
HEATSCOPEは遠赤外線電気ヒーターの開発・設計・製造をすべてドイツで行い、品質とデザイン性を追求しています。 本体のフェイス面に取り付けられた強化ガラスは、シンプルで洗練されたデザインを誇り、多くのデザイン賞を受賞しています。 『HEATSCOPE VISION 2200』は、業務用にも適した高性能な電気ヒーターで、強化ガラスを前面に施したシンプルで美しいデザインが特徴です。 付属リモコンやスマートフォンアプリによるコードレス操作が可能で、便利かつ柔軟に使用できます。 また、最適な暖房効果を実現するため、設置場所のご提案から取り付け工事まで当社が一貫してサポートいたします。 ★10点超の施工事例写真集も進呈中です★ 【屋内外対応の業務用電気ヒーター『HEATSCOPE VISION 2200』の特長】 ■圧倒的な暖かさ ■効率的で環境に優しい暖房効果 ■速暖能力 ※さらに詳細をご希望の方は、PDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
手持できます
1.選べる焦点距離 集光鏡は焦点距離5mm・10mm・15mm・20mmの4種類をラインアップ。用途に応じて最適な焦点距離を選択できます。 2.コンパクト設計 ヒーター本体の直径はφ18mm。狭いスペースにも設置でき、装置への組み込みにも適しています。 3.高密度局所加熱 焦点距離5mmの集光鏡では、赤外線を約φ2mmに集光し、最高約890℃の高密度局所加熱を実現します。 4.高速昇温 焦点距離5mmの集光鏡では、加熱開始から約5秒で約800℃まで昇温し、高い加熱応答性を実現します。 5.可動部への搭載に対応 点灯方向の制限がないため、可動部への搭載や移動しながらの加熱にも対応できます。 ※可動部に搭載する場合は、停止時などの衝撃によりヒーターが破損するおそれがあります。必ず防振・衝撃緩和対策を施してください。 6.真空環境での加熱に対応 非接触の赤外線加熱方式のため、真空環境での加熱にも対応できます。初回使用時は、無機接着剤から微量のガスが放出されるため、あらかじめ真空処理を行ってください。
読むだけで遠赤外線ヒーターの知識が身に付く小冊子！業界40年のプロが優しく解説！遠赤外線加熱の特徴や効果などをたっぷり掲載
遠赤外線ヒーターの設計・製造を手がける当社では、 解説や知識を凝縮した小冊子『遠赤外線の豆知識』を無料プレゼント中！ 「遠赤外線とは？」という基礎知識から、 遠赤外線加熱の特徴や効果、効率よく加熱できるコツなどをたっぷり掲載。 たった３分程度読むだけで、遠赤外線ヒーターに関する “今さら人には聞けない”知識まで身に付きます！ 遠赤外線ヒーターに関して初心者の方もベテランの方も必見の内容です！ 【掲載内容（抜粋）】 ■赤外線の発見と遠赤外線 ■電磁波の発見と遠赤外線 ■加熱方式（電気）と遠赤外線加熱 ★「PDFダウンロード」からすぐにご覧いただけます
1100℃の熱風・高温ガス生成が可能になる電気式エアヒーター！特許取得済みのユニークなヒーター構造を採用で効率的な熱交換を実現！
『Kanthal Flow Heater』は、1100℃の熱風・高温ガス生成が可能なエアヒーターです。より太いカンタル線で、特殊構造を採用することにより、熱交換率が向上。さらに1／2の表面負荷で同じ性能を実現しました。◎900℃以上の高温ガスが欲しい…◎コンパクトで長寿命なエアーヒーターが欲しい…などのお悩みを解決します！ 【特長】 ■1100℃の熱風・高温ガス生成が可能 ■高温使用、材料安定に優れるカンタル線を使用 ■高い熱交換性 【用途例】 ■燃料電池(SOFC)の評価装置 ■自動車のエンジン燃焼試験装置、EGR試験装置 ■電子部品、半導体などのプロセスガス加熱 ■ガスによる熱収縮パッケージ ■溶接前の予熱処理 ■金型予熱 ■熱風乾燥炉 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
高効率・高速昇温！消費電力を約15％低減させた省エネタイプのヒーター
『マイクロケーブルエアーヒーター』は、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに最適です。 この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。 発熱体にシースヒーターを使用した特殊構造設計により、気体の加熱効率が大幅にアップしました。 消費電力を約15％低減させた省エネタイプのヒーターです。 【特長】 ○高効率・高速昇温 ○本体表面温度の低減 ○省エネタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
日中とは異なる、夜の空間に最適化
・やさしく包み込む暖かさ ムラのない自然な暖かさで、快適な眠りをサポート。 ・眠りを妨げない静かさ 電子音OFF&操作パネルOFFで、眠りを妨げません。 ・賢く使って電力セーブ 暖房出力を細かく、滑らかに調整。
反射板を赤熱筒の背面に配置した前面集中加温タイプ。 スピード着火ですぐに暖房可能。 静音・省エネでもワンクラス上の暖かさ。
反射板を赤熱筒の背面に配置し前面に放熱を集中 表面積が増加し放熱効果が高い新型赤熱筒 省エネでもワンクラス上の暖房 静音のため卒業式などの式典中でも燃焼させたまま進行可能 スピード着火、すぐに暖房可能 コンパクト設計、高さ87cm、設置スペース50cm角 事故を未然に防止するチャイルドロック機能 省エネ・エコ運転モード搭載、灯油代を節約可能 移動が容易なキャスター付 熱出力：18.2～9.1kW(3段階燃焼、サーキュレーター有) 暖房のめやす：木造24坪、コンクリート32坪 運転音(50/60Hz)：48/50dB タンク容量：22L
赤熱筒の周りに反射板がない全周囲加温タイプ。 スピード着火ですぐに暖房可能。 静音のため燃焼中でも音が気になりません。
赤熱筒の周りに反射板がなく全方向の暖房が可能 表面積が増加し放熱効果が高い新型赤熱筒 静音のため卒業式などの式典中でも燃焼させたまま進行可能 スピード着火、すぐに暖房可能 コンパクト設計、高さ87cm・設置スペース50cm角 事故を未然に防止するチャイルドロック機能 省エネ・エコ運転モード搭載、灯油代を節約可能 移動が容易なキャスター付 熱出力：18.2～9.1kW(3段階燃焼、サーキュレーター有) 暖房のめやす：木造24坪、コンクリート32坪 運転音(50/60Hz)：48/50dB タンク容量：22L
フッ素樹脂がヒーターに密着加工されている為、熱伝導率が良好！金属イオンの混入が起こりません
フッ素樹脂ヒーターは熱伝導を如何にして効率良く設計するかで 寿命がきまります。カートリッジヒーターは、スエージング加工を施し、 ニクロム線の断線を無くし耐電圧・絶縁抵抗も完璧でなければいけません。 当製品は、こうして作られたヒーターに密着性の優れたフッ素樹脂 （PFA樹脂）熱収縮チューブを被覆したカートリッジヒーターです。 又、端末部は溶着加工を施し液の侵入は有りません。 【特長】 ■金属イオンの混入が起こらない ■当社規格、耐電圧3000V検査に合格した製品 ■フッ素樹脂がヒーターに密着加工されている為、熱伝導率が良好 ■耐薬品性・耐熱性・非粘着性の特性を充分生かしたヒーター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
加熱・高温保持についてお困りの方必見！「カスタマイズ対応」加熱装置をご紹介※デモ機貸出・昇温、制御カスタマイズ事例集進呈！
こんなご要望はありませんか？ 「金型の焼きバメ作業に使いたい」「～600℃で高温加熱したい」 「溶接用途で、徐冷もできる高温ヒーターを探している」 「加熱ヘッドの形状、素材をカスタマイズして欲しい」 「制御仕様をカスタマイズして欲しい」「パトライトを付けたい」 「専用台車も作りたい」など。 当製品は、昇温速度が速く、火を使わないので安全・安心です。 小型機であれば、数分で600度に到達します。 また頑丈ですので、現場向きです。 【特長】 ■低温から高温まで、おまかせ加熱 ■好適温度に加熱保持 ■ご指定の箇所（金型の形状部など）で温調も可 ■タイマーセットで快適作業 ■丈夫で長持ち ■制御・加熱ヘッド形状のカスタマイズ対応可 ■台車とセットでの設計ご提供も可能 デモ機で試用頂いての仕様決めが可能のため、確実安心です。 ※デモ機は小型200X350mm～大型650X800mmまで取り揃えております。 まずはご連絡下さい。 ※セラミックのボディなど特殊仕様も御相談承ります。
商品価値を高める提案力。戦略を完結させる一貫プロデュース体制
株式会社エフシーシーは 奈良県生駒市に1500坪超の敷地に工場を構え、 産業用電気ヒーターの製造販売及び組立、 板金加工及び塗装を加工している会社でございます。 ISO9001、ISO14001を認証取得して10年以上継続しております。 様々な製品をヒーター製造の設備、板金加工設備、塗装設備及び 3DCAD及び熱流体解析ソフトなど多彩な設備と 約50名の従業員の多彩なスキル、 約300社の協力会社でダイナミックに一貫してプロデュース致します 。 一貫プロデュースだから、ファイナルまで貫かれる所期の設計思想、 一括発注により納期短縮を実現。 最適な生産管理でコストパフォーマンスに優れた製品をご提供いたします。 【事業内容】 ■シーズヒーター・カートリッジヒーターをはじめ各種電熱ヒーターの製造、及び販売 ■精密板金加工、及び販売 ■板金の焼付塗装（粉体・溶剤）サンドブラスト・メタリコン加工、及び販売 ■電熱ヒーターを組み込んだ各種ユニット・製品の組立加工、及び販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイカヒーターの採用でレンジ0.2℃以内の温度均一性を実現！
洗浄装置、塗布・現像装置、熱処理装置、その他半導体製造前工程の 補助的・特殊処理装置を取り扱う半導体製造装置メーカー様の ホットプレートユニットに「マイカヒーター」を導入した事例を ご紹介いたします。 同社ではホットプレート上のウエハにおける温度差を極限まで抑える ことを求められていました。従来の加熱方式では、微小な温度ムラが 製品の歩留まり低下の原因となることがあり、さらなる均熱性の向上が 課題でした。 導入後は150℃の動作環境において、ウエハ上の温度分布はレンジ0.2℃以下 を達成。これは業界でも極めて高いレベルの均熱性であり、製作工程における 安定性と再現性を大きく向上させる結果につながりました。 【事例概要】 ■背景：温度ムラ解消のために、均熱性に優れた加熱ソリューションが 求められていた ■解決方法：均熱性と耐熱性に優れたマイカヒーターを採用し、 パターン設計から最適化を図った ■効果：温度分布レンジ0.2℃以下を達成し、プロセスの安全性と 装置全体の信頼性が向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
