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半導体製造用装置に用いられる各種精密治工具のジャンルごとの製品情報から個々の製品仕様までご紹介します。
当カタログは、理化電子が取り扱うプローブなどを掲載しています。 半導体パッケージの検査を主目的に設計された「短尺プローブ」をはじめ、 低抵抗コンタクトで短い導通長を実現する「ICソケット」などをラインアップ。 用途に合わせてお選びいただけます。 【掲載製品】 ■ショートプローブ ■ICソケット ■WLCSP用プローブガード ■テストフィクスチャー ■RDKボンディングツール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.15mmピッチ対応！ウェハー検査用ファインピッチプローブのご紹介
『RI-010HA-05-PDH』は、ウェハー検査用のファインピッチプローブです。 0.15mmピッチ対応で垂直型検査に適しています。 プランジャー材質においても複数対応が可能となっております。 この他に、高周波対応用や高温対応用、ケルビン対応用などの 特殊プローブを多数取り扱っています。 【材質】 ■A Plunger：Pd Alloy ■Barrel：Ni / Inner Au ■Spring：SWP / Au-Plated ■B Plunger：SK / Au-Plated ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラウンドコニカルタイプもご用意！41.5GHzの周波数特性を有するプローブ
『RI-028LA-03-A2』は、高周波特性に優れたプローブです。 41.5GHzの周波数特性を持っています。 また、プランジャー材質においても複数対応が可能。 ラウンドコニカルタイプの「RI-028IA-01-A2」もご用意しています。 【材質】 ■A Plunger：BeCu / Au-Plated ■Spring：SWP / Au-Plated ■B Plunger：BeCu / Au-Plated ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.13mmピッチ対応！ウェハー検査用ファインピッチプローブのご紹介
『RI-A90HA-01-PDH』は、ウェハー検査用のファインピッチプローブです。 0.13mmピッチ対応で垂直型検査に適しています。 この他に、高周波対応用や高温対応用、ケルビン対応用などの 特殊プローブを多数取り扱っています。 【材質】 ■A Plunger：Pd Alloy ■Barrel：Ni / Inner Au ■Spring：SWP / Au-Plated ■B Plunger：BeCu / Au-Plated ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ディスプレイポート（DisplayPort）解析プローブ
ロジックアナライザ用 DisplayPort解析プローブ ■ DisplayPortのパケット・データ測定可能！！ ■ X1, X2, X4 DisplayPort対応 ■ Data測定 最大2.7 GT/s対応 ■ ロジックアナライザ用ソフトウェア付属 ■ ディスプレイポートの状態を表示 ■ ディスプレイデータとAUXチャネルを両対応
大電流プローブ(High Current Probes)
最大６００Aまで対応；ファインピッチ対応（ピッチ0.5mmから）。プラグインタイプとねじ式、内バネ式と外バネ式がございます。
ファインピッチプローブ(Fine Pitch Probes)
高密度高集積化が更に進んでいるウェハーや電子部品、基板、パネルディスプレイ等の検査に極小ピッチが必要な治具に最適。0.3mmピッチから対応します。
スプリングコンタクトプローブの総合カタログを無料進呈中！
スプリングコンタクトプローブのカタログを無料進呈中！！ ★ご希望の方は、お問い合わせ下さい★ ★一部のカタログはダウンロードからご覧いただけます★ 【概要】 世界最大のワイヤーハーネス検査用プローブメーカーFEINMETALL社(独)の日本総代理店。 幅広い製品ラインアップによりワンストップソリューションを実現。特注仕様も承ります。大電流・高周波・回転・スイッチ・非磁性・耐熱...プローブのことなら何でもご相談下さい。 【製品例】 ◆外径1.0mmのスイッチプローブ ◆600Aまで対応する大電流プローブ ◆20GHzまで対応する高周波プローブ ◆直径0.20mm・全長3.3mm・バネ圧60g・寿命100万回以上の半導体プローブ
汎用プローブ （Normal Probes）
経済性に優れたシリーズで、プローブ先端の形状、ソケットの色々なものが揃っています
実装基板検査用プローブ
インサーキットテストとファンクションテスト用プローブシリーズです。ロングストローク仕様や、基板面からの高さを調整できるプローブなどを揃えています。
鉛フリー対応プローブ
先端がより鋭角で初期荷重が高く、先端に特殊コーティングを施し、鉛フリーはんだのパッドやフィレットにも、確実にコンタクトできるプローブです
高周波プローブ （Coax Probes）
外部ノイズに対するシールド機能を備え、高周波帯域の測定が出来るコンタクトプローブです。
スイッチプローブ （Switching Probes）
スイッチ機能を組み込んでおり、所定の接点ストローク でON/OFFするコンタクトプローブです。プローブ交換の容易なはんだフリータイプもあります。
頑丈で経済的。環境の良くない現場でも信頼性が高まります。
頑丈で経済的。コンパクトなツールセッティングプローブは、工作機械内での高速折損検知と高精度な工具長測定に対する、非常に経済的な解決策です。 直線移動原理を採用した実証済みのデザインと光学式信号発生方式により、環境の良くない現場でも信頼性が高まります。 【特徴】 ○Z-pico：ミクロン単位加工用（φ50μm工具測定可能） ○Z-Nano：2m/分の送り速度でも測定可能(φ0.1mm工具測定可能） ○オプション：切粉避けとエアノズル ○Z-Nano IR と Z-Nano RC：赤外線通信タイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
精度と長寿命を誇る、実証済みのshark360メカニズムを採用しています。
多様性且つ経済的。ツールセッティングプローブ3Dシリーズは、工作機械内での工具長・径測定、折損検知の多種多様なアプリケーションに使用できます。 このシリーズのほとんどのプローブが、他に類のない精度と長寿命を誇る、実証済みのshark360メカニズムを採用しています。 【特徴】 ○Z3D：ケーブル式 ○Z-MT：shark360メカニズムのケーブル式 ○1個のレシーバで2個の計測器と通信 ○工具長測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高速・高精度なワークの自動芯だし、ワーク寸法計測が可能です。
タッチプローブTC51及びTC61は、Z-方向の押し込み計測に加えて、Z+方向の引き込み方向計測も可能とする世界的にもユニークな計測システムです。高剛性を兼ね備えたこの計測システムは、特に量産設備や高速加工機向けに設計されたもので、高速・高精度なワークの自動芯だし、ワーク寸法計測が可能です。 高精度、且つ実証済の両方向測定原理を使用し、超高速測定速度でも最高の精度を得る事ができます。 【特徴】 ○引き込み計測と押し込み計測のメカニズム →Z+方向の計測が追加 →２方向固定の計測ユニットによるブルーム計測原理 ○光学式信号発生方式 →内部小型光学センサ遮光による磨耗の無い信号発生方式 →プローブの状態が確認できるLEDディスプレイ採用 ○最新のデータ通信技術 →最新の赤外線方式、又はBRC電波技術による信頼性の高いデータ通信 →低消費電力の通信技術による長バッテリ寿命頑丈な設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
複雑なワーク、自由形状面、輪郭の計測時間が極端に短くなります。
デジログ革新。デジログとは、タッチ信号を使った高精度なデジタル計測と、アナログ信号によるサイバー速度のスキャンが出来るという意味です。 タッチプローブ 「TC76-DIGILOG」は、アナログスキャンにより、複雑なワーク、自由形状面、輪郭の計測時間が極端に短くなります。 このタッチプローブは旋盤、マシニングセンター、研削盤に適用できます。測定値にフィルターをかけたり平均値を採用する事により精度は向上します。 【特徴】 ○ギヤ研磨機での加工不良検知 ○デジログ：スキップ信号測定とアナログ信号測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
生産終了されたオリンパス社のOMCLシリーズと同等の品質の代替品をお探しの方へ！最も汎用的なAFMプローブ/カンチレバーです。
当製品は、生産終了されたオリンパス社のOMCL-AC200TSと同等品です。そのため、従来のオリンパス社製のAFMプローブと同様にご使用いただけます。 ＜SPM-AC200S-ASの特徴＞ 1. 幅広い試料の測定に対応 ミドルレンジのカンチレバー機械特性を持った当製品は、シリコン半導体、ガラス材、金属材、プラスチックス材など、柔らかい試料から硬い試料まで幅広い領域試料の測定に対応しています。 最適なカンチレバー機械特性の判断がつかない初めての試料の測定時にも、スクリーニング用としての使用にも適しています。 2. 安定した先端構造 尖鋭化処理および従来のプローブの製造経験による安定した鋭利な探針。テトラヘドラル型の採用により、光学顕微鏡が組み合わさったSPM装置で測定する際に、試料と探針の位置関係を確認できるため、正確な位置調整が容易。
A2LA認定校正！フィールド交換可能バッテリー搭載電界プローブのご紹介！
『MODEL HI-6006』は、高速かつ正確な電磁界測定を可能にする 高機能センサーです。 シングルレンジで読み取るように設計されているので、当製品は、 ダイナミックレンジ全体に渡って、連続的にデータを読み取ることが可能。 様々なリードアウトオプションに対するオプティカルカップリングにより、 幅広いフィールドモニタリングアプリケーションに理想的な対応を もたらします。 【特長】 ■周波数レスポンス 100 kHz to 6 GHz ■ダイナミックレンジ 0.5 to 800 V/m ■各軸及び合成値の電界を提供 ■フィールド交換可能バッテリー ■A2LA認定校正 ■サードパーティ製コントロールソフトウェアで制御可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFMで微小な導電性サンプルの電気的特性評価ができます！
ORCAコンダクティブAFMプローブホルダは、すべてのアサイラムMFP-3D AFM/SPM で、コンダクティブAFMイメージングおよびI-V測定をご利用いただけます。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルもご用意。 このコンダクティブAFMは、サンプルの形状と電流分布のマップを同時に測定できます。 絶縁薄膜、強誘電体膜、ナノチューブ、導電性ポリマー等の広範囲の材料特性において有益な測定を提供します。
あらゆる温湿度計測へ対応する万能型高機能高精度 温湿度センサプローブ！
『HC2A-S』は、高精度な温度計測、湿度計測を実現し、露点演算機能を搭載している 高精度温湿度センサプローブです。 ハイグロクリップ2（HC2）シリーズの標準型温湿度センサプローブである当製品は、 センサ本体一体型のシンプルな構造での使いやすさと、高機能高精度を全て備えています。 ロトロニック温湿度計測機器との組み合わせはもちろんのこと、温湿度センサプローブ自体が 温湿度センサユニットとして必要な機能を全て持ち合わせていることから、装置組み込み用などの OEM用途へも最適です。 【特長】 ■相対湿度・温度に加えセンサプローブ内部での演算処理による露点測定 ■最高クラスの精度と再現性 ■測定データと校正履歴を統合管理 ■センサプローブ内部にアラームの設定が可能 ■より進化して使いやすくなった校正機能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高圧における温湿度計測が可能な高精度温湿度センサプローブ
『HC2-IExxx-M』は、温湿度センサ部の耐圧構造により、高圧における温湿度計測が 可能な耐圧型温湿度センサプローブです。 コンプレッサなどの圧縮空気や工場の高圧ガス配管等の温湿度管理に最適。 高精度な温度計測、湿度計測を実現し、露点演算機能を搭載しています。 【特長】 ■温湿度センサ部が耐圧構造 ■高圧における温湿度計測が可能 ■高精度 ■露点演算機能を搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハンディタイプ温湿度計との組合せに最適！ハンドヘルドタイプのセンサプローブ
『HC2-HK25/40』は、広範囲計測対応が出来る ハンドヘルドタイプの温湿度センサプローブです。 高精度な温度計測、湿度計測を実現し、露点演算機能を搭載。 柄の部分を手で持ちながら高温環境での測定が可能です。 温度範囲と形状から2種類のタイプをご用意しております。 【特長】 ■ハンディタイプ温湿度計との組合せに最適 ■広範囲計測対応が可能 ■ハンドヘルドタイプ ■露点演算機能を搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
信号ピン（LF）、同軸ピン（HF）、電力ピン（HP）をミックスレイアウト可能！
当社が取り扱う、NICOMATIC社の『CMMシリーズ／DMMシリーズ』を ご紹介致します。 「CMMシリーズ」は固定金具選択ができ、ミックスレイアウトが可能。 「320／340タイプ」と「220タイプ」をラインアップしております。 「DMMシリーズ」は最大3列の「クラシックDMMタイプ」をはじめ、 最大4列の「マイDMMタイプ」、ピン数及びハウジングのカスタムが可能な 「エクスクルーシブDMMタイプ」をご用意しております。 【CMMシリーズ 特長】 ■ミックスレイアウト可能 ■固定金具選択可能 ■320／340タイプ：3列 ・LFのみの場合最大120ピン／HFまたはHPのみの場合最大64ピン ■220タイプ：2列 ・LFのみの場合最大60ピン／HFまたはHPのみの場合最大15ピン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
膜厚計の再現性と繰り返し性が向上！大小さまざまな装置で利用できる
『プローブ用治具一式 456』は、小さな部品や複雑な形の部品の塗装面の 測定で高い再現性と精度が必要な場合に適しています。 プローブ用治具を使うと、プローブを毎回素地上の同じ位置に同じ角度で 正確に配置できるため、再現性と繰り返し性の高い測定を行うことが可能。 大小さまざまな装置で利用できるように、プローブ用治具にはスケール1 またはスケール2のElcometer 456ストレート型プローブ用および標準型 F1、F2、F4、F5のElcometer 355プローブ用のスタンドとホルダーが 付属しています。 【ラインアップ】 ■T95012880：プローブ用治具一式 ■T95013028：部品固定用万力 ■T95012888：ケーブル付きリリース装置、遠隔操作に便利 ■T95015961：デュアルFNFプローブ装着用アダプター ■T95016896：ミニプローブ装着用アダプター ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
サーモTDRプローブ
従来技術による土壌中の汚染物質濃度の測定は、一定の土壌水分条件下のみで可能でしたが、本プローブの開発により降雨や蒸発散によって水分量が変化する土壌中における汚染物質濃度の経時変化測定を可能にしました。 技術概要：有機溶媒が含水土壌に混入すると土壌の比誘電率、体積熱容量、電気伝導度が変化することに着目し、比誘電率および体積熱容量から求めた体積含水率とＴＤＲで求めた電気伝導度から土壌中の有機溶媒濃度を推定する技術です。
